专利名称：保持弹簧探针的方法和设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种在自动测试设备(ATE)中使用的弹簧探针块组件，尤其涉及一种用于高带宽应用的弹簧探针块组件。
背景技术：
弹簧探针块用于在集成电路或者其它电子设备以及对集成电路或者其它电子设备进行必要测试的自动测试设备测试头之间提供暂时性的弹性接触界面。在自动测试设备中使用的弹簧探针块组件很容易获得，并且通常采用类似的设计。弹簧探针块外壳通常由金属棒料按照成本昂贵的工艺加工而成，该工艺确保了用于接受压配合的同轴探针和接地插口的孔的精确位置和直径。固体金属制造也用于将所有的电路元件共同接地，就信号完整性而言，迄今为止这一点仍然被认为是理想的。也可以由模制聚合物代替加工的金属来制造某些弹簧探针块外壳。
利用金属和聚合物探针块外壳，同轴探针连接器在其一端分别终接于同轴线缆，另一端终接于弹簧探针。一般来说，为每个信号线设置一个弹簧探针，并且为每个信号线设置一个或多个弹簧探针作为参考(接地)。在聚合物弹簧探针外壳的情况下，利用聚合物外壳的绝缘材料，将与每个信号线相关的同轴屏蔽管和接地弹簧探针与它们的邻近元件电隔离。为了获得高带宽，每个(由信号线加上它相关的接地返回回路构成的)通道的隔离是必须的。在高带宽下工作的能力是重要的，因为新一代自动测试设备将不仅用于测试更快的集成电路，而且也用于更快地测试集成电路。
很多目前可以得到的弹簧探针块组件不适用于高带宽应用，因为它们的设计中存在一个或者多个缺点。尤其是，很多现有技术的弹簧探针块组件(特别是那些用金属外壳制造的)为所有的接地探针提供公共接地。如上所述，公共接地不适合于高带宽应用。对于高带宽应用，需要使信号探针以及其相关的接地探针与其它的同轴信号和接地探针电隔离。
许多现有技术的设计(那些使用金属和聚合物外壳的)也不适合于高带宽应用，因为存在着过大的接地返回回路。
图1A表示采用聚合物外壳12的现有技术的弹簧探针块组件10。接地探针14和信号探针16插入到聚合物外壳12前面的孔18中，接地探针14由盒触点20所容纳。盒触点20焊接至同轴连接器22，该连接器终接于同轴线缆23并接收信号探针16。
如图1B所示，过长的接地回路(虚线30所示)因为电感的增加而限制了带宽。接地回路30从信号探针16的尖端开始，经接地探针14进入盒触点20，沿着盒触点20的梁32，经过焊缝34，然后沿着同轴连接器22的导电屏蔽36延伸。由于存在着信号探针16和接地探针14所必须经过的聚合物外壳12的厚度，因此接地回路的长度变得更不好。
已经知道，在高速下，给定返回电流通路的电感比起其电阻来说更显著。实际上，高速返回电流遵循着最小电感的路径，而不是最小电阻的路径。另外，已经知道，最低电感返回路径直接位于信号导体之下。这意味着使输出的和返回的电流路径之间的总接地回路面积最小化，会导致可能获得的最低电感。在图1B中，虚线38显示了理想接地回路。(见High Speed Digital DesignA Handbook of Black Magic byHoward Johson and Martin Graham).
除了上述缺点之外，许多可以得到的弹簧探针块组件的设计都需要额外的元件或者制造步骤以将接地弹簧探针保持在组件中。在一些情况下，采用用于接受和保持接地弹簧探针的管状插口。例如图2所示，在金属弹簧探针块外壳40中，在外壳40内加工了孔42之后，将管状金属插口44压配合在孔42中，然后将接地弹簧探针46插入到因为压配合而保持在原处的插口44中。插口44用于增加对系统的依从性，并避免对接地弹簧探针46的损坏，因为接地弹簧探针46自身具有很小的依从性。但是采用探针插口44增加了额外装配步骤和额外部件库存这种不好的需要。在不使用管状插口的另一种情况下，将接地弹簧探针制造成为所谓的“香蕉弯”。该香蕉弯使得接地弹簧探针可以插入到过大的孔中，并因为摩擦配合而保持在该孔中。但是制造具有香蕉弯的弹簧探针是困难而且昂贵的，对于信号线和接地线需要不同类型的弹簧探针。很明显，这增加了制造的难度和成本，同时增加了库存量，这是不理想的。在上述两种情况中，更换一个损坏的接地弹簧探针而不损坏组件的其它元件是非常困难的。
很清楚，需要如下的弹簧探针块组件，它能够提供一种有成本效率的方法，用于在同轴连接器和它们的接地探针之间提供电稳定的低电感路径。优选的是，这种弹簧探针块组件不需要接地探针插口(以及相关的成本、组装劳动以及更长的阻抗路径)。另外，当不使用接地探针插口时，弹簧探针块组件不需要使用具有香蕉弯的接地弹簧探针。优选的是，该弹簧探针块组件容易更换块组件中的弹簧探针和同轴连接器，而不需要很多的再加工甚至报废整个弹簧探针块组件。另外，弹簧探针块组件优选能抵抗高的线缆拉出力，该力会在自动测试设备的动作过程在无意之中移动同轴连接器。
附图的简要说明图1A是现有技术的弹簧探针块组件的截面图；图1B是图1A的弹簧探针块组件的探针连接器和接地探针组件的放大透视图；图2是另一种现有技术的弹簧探针块组件的透视图；图3A是此处描述的本发明弹簧探针块组件的一个实施方案的透视图；图3B是图3A的弹簧探针块组件的前面的正视图；图3C是图3A的弹簧探针块组件的前面的部分放大视图；图4A是沿着图3B的4-4线的截面图；图4B和4C分别是图4A的接地板、探针连接器和接地探针的分解图和组装图；图5A-5C是替换的弹簧探针保持结构的截面图；图6A是具有任选的真空密封的弹簧探针块组件的截面图；图6B是用于提供任选的真空密封的模制插入物的透视图；图7A是此处描述的本发明弹簧探针块组件的另一实施方案的前面的正视图；图7B是图7A的导电保持元件的放大视图；图8A和8B是此处描述的弹簧探针块组件的导电保持元件的替换实施方案透视图；图8C是图8A和8B的导电保持元件的放大视图；图9A和9B是表示在图7A、8A和8B中的实施方案中使用的保持件的透视图。
发明概述本发明是一种用于高带宽应用的弹簧探针块组件。此处所描述的弹簧探针块组件将信号探针和其相关的接地探针与其它的同轴信号及接地探针电隔离，并为信号提供低电感返回路径。弹簧探针块组件也不需要接地插口或采用香蕉弯的弹簧探针。
在优选实施方案中，该弹簧探针块组件包括在外壳的前表面具有空腔的绝缘外壳。导电保持件靠近外壳的前表面位于空腔内。导电保持件具有用于接受探针连接器和接地探针的通道。导电保持件将接地探针与信号探针连接器的导电壳电连接，以为相关的信号提供低电感接地返回路径。优选的是，弹簧探针块组件的外壳由具有抗静电或者静电耗散性质的介电绝缘材料制成。
在一个实施方案中，在接地探针插入在保持件中时产生的法向力将接地探针保在导电保持件中。该法向力是接地探针因为外壳内的倾斜侧壁而偏转时产生的。当接地探针因为倾斜的侧壁而偏转时，该接地探针受摩擦力而保持在组件中。在另一个实施方案中，接地探针在保持件中的插入导致在探针连接器主体上产生夹紧力，由此将探针连接器、保持件和接地探针保持为固定的关系。
本发明的另一个方面是用于将接地探针与信号探针连接器的线缆屏蔽电连接的接地元件，其中接地探针因为接地元件而弹性变形，以在接地元件和接地探针之间保持弹簧力。可以例如因为提供一个其中插入接地探针的具有非线性轴线的孔而产生接地元件的弹性变形。当接地探针插入到具有非线性轴线的孔中时，接地探针的弹性变形导致产生弹簧力，由此将接地探针保持在适当位置。
本发明的另一个方面是一种将弹簧探针保持在外壳中的方法。该方法包括在外壳中形成具有非线性轴线的孔，然后将线性弹簧探针插入在孔中。通过将线性弹簧探针插入在非线性孔中，该弹簧探针弹性变形，并在外壳和弹簧探针之间保持弹簧力，由此将该弹簧探针保持在其位置中。
优选实施方案的详细说明本发明提供一种成本经济的方法，用于在弹簧探针块组件中使用时能够在同轴连接器和其接地探针之间产生电稳定的低电感路径。此处描述的弹簧探针块组件很容易更换该弹簧探针块组件中的元件，而不需要过多的再加工或者报废部件。另外，该设计使得同轴连接器在使用过程中受到高线缆拉出力的时候能抵抗无意之中的移动。
图3A表示此处描述的弹簧探针块组件的一个优选实施方案的透视图。如图3A所示，弹簧探针块组件50包括外壳52，它是例如由玻璃纤维增强的聚邻苯二酰胺(PPA)等适当的绝缘聚合物材料通过注塑的方法制成的。在该探针块组件的一些应用中，优选使用具有抗静电性能的聚合物，例如碳纤维增强的聚邻苯二酰胺。外壳52在其前面53中包括空腔54，该空腔的形状用于以滑动配合或者压配合的方式接收接地板56。该接地板56设计为接收和保持接地弹簧探针58和探针连接器60。从图3B和3C中可以看得更清楚，探针连接器60包括信号弹簧探针61，它由介电绝缘件62、然后是导电屏蔽64所环绕。因此信号探针61与地绝缘。探针连接器60的导电屏蔽64与接地板56密切接触。接地弹簧探针58可滑动的容纳在接地板56的开口66中，并按照下面所述的方式与接地板56相接触。从图中可以看出，介电材料外壳52环绕着接地元件(接地板56和接地弹簧探针58)和其相关的信号线，并将它们与其它所有的接地和信号线对相隔离。组件中所有的接地都与相邻的其它探针块组件相绝缘，并与自动测试设备的机壳接地相绝缘。
图4A表示弹簧探针块组件50的放大截面图，带有信号同轴探针连接器60以及其相关的信号探针61和接地探针58。为了更加清楚，图4B和4C分别表示接地板56、接地弹簧探针58和探针连接器60的分解图和装配图。如图4A所示，空腔54延伸到外壳52中，并与组装好的一套接地元件的整体包络面相一致，该空腔54的尺寸能够约束装配好的探针连接器60、接地板56和弹簧探针58，61的轴向和横向移动。尤其是，接地板56分别具有一个其尺寸能够容纳探针连接器60的导电屏蔽64并将其通过压配合来保持的开口68，其中探针连接器60和接地板56中的开口58之间的相互作用优选能导致接地板56的弹性变形。接地板56能够弹性变形是优选的，因为探针连接器60具有非常小的依从性，而使接地板56能够有效的依从将使得依从性元件的数量从一变为二这样加倍。这样允许在元件中采用较小的严格容差，因此提高了探针块组件50的可制造性。
如上所述，在高带宽应用中，希望在探针组件中提供低电感的接地返回路径。因此，优选将接地板56在外壳52中向前尽可能远的来设置，从而使得接地返回路径缩短，并保持与信号路径的近距离关系。因此在一个优选实施方案中，接地板56位于外壳52中，使得接地板56的前表面69与外壳52的前表面53齐平。或者接地板56的前表面69可以比外壳52的前表面53略微向前伸出。接地板56的安装深度可以通过空腔54内的肩部71的位置来控制。
接地板56优选是对称的，从而它们不需要特别的取向就可以插入到外壳52的空腔54内。另外，当接地弹簧探针主体74因为与外壳52的倾斜侧壁72相接触而变形时，接地板56的厚度优选足以防止接地弹簧探针主体74在弹簧探针柱塞移动的区域内发生明显的弯曲。在一个优选的设计中，接地板56设有开口管道80，它平分接地弹簧探针通孔66以增强在制造过程中镀覆加工流体通过该孔66的流动。接地弹簧探针通孔66优选间隔开，以补偿接地弹簧探针主体在插入到组件中时因为顶着外壳52的倾斜侧壁72弯曲产生位移的时候接地弹簧探针尖端59的角位移。另外，接地弹簧探针尖端59优选相对于信号探针连接器60的轴线有角度的设置，该角度为3度或者更小，以使得接地弹簧探针58内的内部接触阻抗最小，并避免在组件长时间循环工作的时候增加磨损。
如上所述，接地板56具有至少一个通孔66，其尺寸允许接地弹簧探针58滑动配合的通过。接地弹簧探针58设置成顶着外壳52内空腔54的端壁70。优选的是，外壳52内的空腔54包括倾斜侧壁72，在接地弹簧探针主体74插入的过程中，该倾斜侧壁72逐渐与该接地弹簧探针主体74相互作用，从而接地弹簧探针主体74和倾斜侧壁72之间的相互作用使得接地弹簧探针主体74弹性变形，如图4A所示。接地弹簧探针主体74和倾斜侧壁72之间的相互作用在接地弹簧探针主体74和接地板56之间在两个点76处保持法向力。通过提高倾斜侧壁72的斜率以强迫接地弹簧探针主体74的端部顶着信号探针连接器主体屏蔽64，可以获得任选的第三触点76’。
通过如上所述与倾斜侧壁72的接触之外的方式，接地弹簧探针主体74可以偏转并保持在接地板56中。具体的说，接地板56可以设有孔几何结构，用于保持朝着接地弹簧探针58的法向力，而不需要使用外壳52内的倾斜侧壁72。如图5A所示，接地板56可以具有从前表面200延伸的第一孔80，和从后表面201延伸的第二孔82，其中第一孔80和第二孔82彼此略微错开。当接地弹簧探针主体74从前表面200插入到第一孔80并且然后插入到第二孔82时，接地弹簧探针主体74偏斜，导致接地弹簧探针主体朝着接地板56施加法向力，由此因为摩擦配合而保持在原位。如图5B所示，或者接地板56可以具有从前表面200延伸的第一孔80’，以及从后表面201延伸的第二孔82’，其中第二孔82’与第一孔80’成一角度。如上所述，当接地弹簧探针主体74从前表面200插入到第一孔80’并且然后插入到第二孔82’时，接地弹簧探针主体74偏斜，产生法向力，由此将接地弹簧探针主体74通过摩擦配合而保持。如图5C所示，接地板56可以任选的由前部86和后部88形成，其中第一孔80”从前表面200延伸穿过前部86，第二孔82”从后表面201延伸穿过后部88。当在外壳52内装配时，接地板56的前部86和后部88对准，使得第一孔80”和第二孔82”彼此略微错开。同样，当接地弹簧探针主体74从前表面200插入到第一孔80”并且然后插入到第二孔82”时，接地弹簧探针主体74偏斜，产生法向力，由此将接地弹簧探针主体74通过摩擦配合而保持。
可以认识到，图5A-5C中所示的设计可以用于具有金属外壳并且不使用如上所述的接地板或者保持件的探针组件中。具体的说，图5A-5C中的弹簧探针保持方法可以用于金属外壳，以将接地探针固定在外壳中，而不使用插口或者需要在接地探针中预先形成“香蕉弯”。本领域的技术人员可以理解，不需要插口或者预先形成香蕉弯将简化产品的制造，并且降低探针组件的成本，因此是非常理想的。
可以给弹簧探针块组件提供另外的元件。例如，外壳52可以设有出入孔90，它与接地探针主体底座70相通，以允许工具(未显示)接触接地弹簧探针主体74的背面。这种工具的进出将方便在例如当弹簧柱塞在使用过程中破裂的时候将接地弹簧探针除去。当用于需要真空密封设备的时候，可以密封该任选的出入孔90。通过设置一个可以除去的塞子来充满出入孔90，可以实现真空密封。
如果需要对设备进行真空密封，在空腔54的孔104中可以设有任选的密封能力，例如图6A和6B所示。密封能力优选由易弯曲的聚合物的单个模制插入物100来提供，该插入物具有设计用于在外壳52的后表面处在空腔的孔104中配合的轴环102。如图6A所示，当探针连接器60插入到外壳52中时，探针连接器60会将依从的插入物100的轴环102压在孔104的壁上，由此提供可靠的密封。除了图6A和6B所示的单个模制插入物100之外，也可以在空腔52的每个孔104中提供单独的轴环或者O环，用于提供密封。但是，使用单独的O环会极大的增加设备的装配时间，并且在探针连接器60的插入过程中更容易移动。
在此处描述的弹簧探针块组件50中，外壳52的前表面53与外壳52内的接地弹簧探针触点76之间的距离被最小化，并且接近于0。也就是，接地弹簧探针主体74尽可能的靠近外壳的前表面53而接触接地板56，由此形成了电感非常低的接地路径。如上所述，低电感接地路径是非常理想的，并且实际上也为许多高带宽应用所需要。现有技术的弹簧探针块组件采用更长的电路径，因此具有更高的自感，使得它们不适于高速测试能力。
上述弹簧探针块组件也具有容易装配、再加工和修理的优点。因为此处描述的聚合物外壳采用了依从部件，以将弹簧探针主体保持在原位，并彼此电接触，所以容易装配弹簧探针块组件，或者当磨损或者破裂时可以替换那些部件。因此，此处描述的弹簧探针块组件不仅取消了在装配过程中损坏时必须抛弃的部件，而且也可以更换较廉价的部件，而不是需要抛弃整个组件。
在弹簧探针块组件必须对真空密封的应用中，本发明可以通过将上述密封环围绕着每个探针连接器60定位在每个外壳空腔内而进行有效的密封。密封压力由元件之间的空间关系来保持。不需要围绕着接地探针58的密封，因为外壳52允许真空密封位于接地探针58的位置的后面。
替换实施方案图7A中显示了弹簧探针块组件150的替换实施方案。该弹簧探针块组件150包括绝缘外壳152，信号探针触点161和接地探针触点158，以及探针连接器保持件156。如第一实施方案一样，外壳152由介电材料模制而成，其中该介电材料环绕着接地元件和相关的信号线，并将其于所有其它的信号线和接地对相隔离，还将该组件中的所有接地与其它相邻的探针块组件以及自动测试设备机壳接地相隔离。如上所述，在外壳152两端中的带芯的空腔与组装好的一套接地元件的整体包络面相一致，当弹簧探针安装在其中时，该空腔的尺寸能够约束装配好的探针连接器和接地夹的轴向和横向移动。
如图7A和7B所示，探针保持件156包括一对冲压的电接地夹180，它们彼此啮合，以形成夹紧设备，来容纳信号探针连接器160和接地探针158。接地夹180具有轴向对准的居中位置的环182以及分别从两端延伸出来的一对弹簧臂184。接地夹分组件优选是对称的，从而它不需特别的取向就可以插入到外壳152的空腔内，由此提高了装配的容易程度。接地夹180的环182其尺寸能够容纳信号弹簧探针连接器160，该连接器160以低的插入力(小于71bs)可滑动的啮合。当接地弹簧探针158插入到弹簧臂184中时，臂184向外移动，并且产生顶着信号弹簧探针连接器主体60的法向力，由此将组装好的元件保持在原位。优选的是，接地夹180的其中一个环182位于信号探针连接器160的压力环183的后面，由此改善了该设备的耐拉出性。
在图7A和7B的实施方案中，接地夹180的弹簧臂184按照剪刀状的方式向外成一角度，从而将接地探针158插入到其中时，夹紧力将接地探针158压在外壳152的轴向沟槽190上，由此在外壳152内建立了接地探针158的适当对准。弹簧臂184所限定的内角θ优选大于22度。另外，外壳内空腔的侧壁优选按照预加载的条件支撑接地夹180的弹簧臂184，从而弹簧臂184上的预载荷提高了弹簧臂184之间的打开区域，由此便于插入接地探针158。这种预载荷也会提高弹簧臂引入端斜切面192之间的进入角，由此减少了所需要的插入力。
在图8A和8B所示的替换实施方案中，接地夹180’的弹簧臂184’朝着彼此向后弯曲，从而在接地探针158插入到接地夹180’中时该弹簧臂基本环绕着接地探针158。当接地探针158插入到接地夹180’的接地探针接收部分中时，夹紧力关于信号探针连接器160主体紧固接地夹180’。如果需要，单个的接地夹180’可以形成有任选的连接板，它允许接地夹180’简单的折叠，以获得元件的最终取向。将接地夹固定在一起的任选的连接板可以是易碎的，或者如果需要，可以具有延展性。
为了提高线缆拉出力，优选设置保持件200，它按照搭扣配合的结构固定于外壳152的后表面184，如图9A和9B所示。保持件200优选具有闩锁臂202，以与外壳152的相应闩锁部件204啮合。为了便于组装，保持件200优选形成为两个部件，这两个部件具有匹配的舌片204和沟槽206，它们将这两个保持件部件200互锁在一起。另外，外壳152优选在外壳的后端相对于容纳探针连接器的空腔图案而言具有偏离的腔，由此允许使用一样的保持件部件。这会降低制造成本，并提高设备的装配容易程度。优选的是，外壳152会包括朝着保持件200的闩锁臂202打开的通道208，从而保持件200可以从外壳152的外侧脱开，以对设备再加工。
对于此处描述的弹簧探针块组件50和150，本领域的技术人员会认识到，可以在不脱离本发明的精神和范围的前提下进行增加和改进。例如组件的外壳52和152优选设有安装孔210，从而弹簧探针块组件50和150可以安装在自动测试设备头中。保持件元件(接地板56和接地夹180，180’)的形状可以与此处所描述的不同，或者，例如，可以用于金属探针组件外壳中，这样仍然可以实现本发明的功能和精神。
权利要求
1.一种弹簧探针块组件，包括外壳，可以容纳直的弹簧探针；设置在外壳内的直的弹簧探针；其中该弹簧探针因为外壳而弹性偏转，以在弹簧探针和外壳之间产生法向力，由此将弹簧探针保持在外壳内。
2.一种接地元件，用于将接地探针与信号探针连接器的线缆屏蔽电连接，其中接地探针因为接地元件而弹性变形，以在接地元件和接地探针之间保持弹簧力。
3.如权利要求2的接地元件，其中接地元件包括用于接收接地探针的孔。
4.如权利要求3的接地元件，其中该孔包括从接地元件的前表面沿着第一轴线延伸的第一孔，以及沿着与该第一轴线平行并且与该第一轴线偏离的第二轴线和第一孔相交的第二孔。
5.如权利要求3的接地元件，其中该孔包括从接地元件的前表面沿着第一轴线延伸的第一孔，以及沿着与该第一轴线不平行的第二轴线和第一孔相交的第二孔。
6.如权利要求3的接地元件，其中接地元件包括前部，具有延伸穿过该前部的第一孔；后部，具有延伸穿过该后部的第二孔；其中前部和后部装配在一起，从而第一和第二孔相交并且没有轴向对准。
7.如权利要求2的接地元件，其中还包括多个接地元件，这多个接地元件中的每一个将相关的接地探针和信号探针连接器的相关线缆屏蔽电连接，其中每个接地元件将其相关的接地探针弹性变形，以在接地元件和相关的接地探针之间保持弹簧力。
8.如权利要求7的接地元件，其中多个接地元件中的每一个电连接起来。
9.如权利要求7的接地元件，其中多个接地元件中的每一个电隔离。
10.如权利要求7的接地元件，其中还包括第二接地探针，其中第二接地探针因为接地元件而弹性变形，以在接地元件和第二接地探针之间保持弹簧力。
11.一种将弹簧探针保持在外壳内的方法，该方法包括在外壳内形成具有非线性轴线的孔，将弹簧探针插入到该孔中，其中该弹簧探针因为接地元件而弹性变形，以在外壳和弹簧探针之间保持弹簧力。
12.一种将弹簧探针保持在外壳内的方法，该方法包括提供导电接地元件；在接地元件内形成具有非线性轴线的孔，将弹簧探针插入到该孔中，其中该弹簧探针因为接地元件而弹性变形，以在接地元件和弹簧探针之间保持弹簧力。
13.如权利要求12的方法，其中该孔包括从接地元件的前表面沿着第一轴线延伸的第一孔，以及沿着与该第一轴线平行并且与该第一轴线偏离的第二轴线和第一孔相交的第二孔。
14.如权利要求12的方法，其中该孔包括从接地元件的前表面沿着第一轴线延伸的第一孔，以及沿着与该第一轴线不平行的第二轴线和第一孔相交的第二孔。
15.如权利要求12的接地元件，其中接地元件包括前部，具有延伸穿过该前部的第一孔；后部，具有延伸穿过该后部的第二孔；其中前部和后部装配在一起，从而第一和第二孔相交并且没有轴向对准。
全文摘要
一种弹簧探针块组件，包括绝缘外壳(52)。具有信号探针、绝缘层和导电壳的探针连接器(60)设置在外壳中。在外壳内也设置至少一个接地探针(58)。该接地探针和探针连接器的导电壳通过接地部分(56)电连接。接地部分被构成为可以将接地探针弹性变形，从而在接地探针中产生弹簧能量。该弹簧能量在接地探针和接地部分之间产生法向力，将接地探针保持在其位置上。而且，提供了一种通过将弹簧探针弹性变形以在弹簧探针和外壳之间保持弹簧力来将弹簧探针保持在外壳内的方法。
文档编号G01R1/067GK1555489SQ01823026
公开日2004年12月15日 申请日期2001年12月11日 优先权日2001年3月13日
发明者史蒂文·费尔德曼, 史蒂文 费尔德曼 申请人:3M创新有限公司