光学组件量测装置的制作方法

文档序号:6145220阅读:230来源:国知局
专利名称:光学组件量测装置的制作方法
技术领域
本发明涉及一种光学组件量测装置,特别是一测量反射率的光学组件量测装置。
背景技术
光电产业近年来成为热门的新兴产业之一,不论是工业上的应用或是学术上的研究都有很大的进展。
在光学组件中,高反射镜(High Reflection Mirror)的应用极广,大部分的高反射镜是在一基板上镀一光学薄膜所制成。在高反射镜的制造过程中,需要经过光学仪器检测其反射率,并经由讯号处理转换成可供比对的数据,借以控制高反射镜的良率。
如图1所示,在量测一光学组件8的反射率时,由一光源区5发射一光束进入设置有光学组件8的一量测装置6中。接着,经由光学组件8所反射出的光束再射入一积分球7中,经由讯号处理得到所需的数据。其中,量测装置6由四个反射组件61、62、63以及64固定于一基座65上所组成,该等反射组件61、62、63以及64之间的相对位置皆需精准对位,以确保所量测的反射角度的精确度以及再现性。
于上述的量测装置中,一种量测装置只能测量一固定角度的反射率,并无法随需要而任意调整。即,当测量不同的反射角度时,即需更换另一量测装置,造成使用上的不便,同时增加制造成本。而且,量测装置上反射组件之间的相对位置必须非常精准,若其中一个发生位移,即无法准确量测到光学组件的反射率,造成所量测的再现性差。同时,光源、量测装置以及积分球必须位于同一直线上,使得整个仪器的体积过大,造成仪器面积上缩小的限制,进而减少每单位面积的产能。

发明内容
为了克服现有技术的不足之处,本发明的目的在于提供一种能够量测多种反射角度、突破装置面积限制,以及提高精确度的光学组件量测装置。
然而,本发明是利用同心轴旋转原理提供一种光学组件量测装置,能够量测光学组件的各种反射角角度的反射率。
为达上述目的,本发明提供一种光学组件量测装置,包含一基座、一转盘、一积分球单元组以及一支架。其中,基座的圆周面上设有一参考点;转盘轴设于基座上,且转盘的圆周面上设有一定位刻度;积分球单元于转盘的半径方向自转盘而向外侧延设;支架轴设于转盘上,用以挟持一光学组件,基座、转盘与支架位于同心轴上,支架设有一用以供支架定位的参考组件。另外,本发明亦提供一种光学组件量测装置,其包含一基座、一积分球单元以及一支架。其中,基座的圆周面上设有一定位刻度;积分球单元枢接于基座上,且积分球单元设有一第一参考组件;支架轴设于积分球单元上,用以挟持一光学组件,基座、积分球单元与支架位于同心轴上,支架设有一用以供支架定位的第二参考组件。
本发明所提供的一种光学组件量测装置,是利用同心轴旋转原理来量测光学组件的各种反射角度的反射率。与公知技术相比,本发明将基座、积分球单元以及支架设置于同心轴上,以基座当作参考坐标,即能快速并精确地调整积分球单元与支架的角度,进而能够量测光学组件的各种反射角度的反射率,缩短了量测上的时间。同时,由于量测不同反射角度时不需更换另一量测装置,更进一步节省了成本。再者,由于光源与积分球单元不须位于同一直线上,减少整个仪器所占的面积,进而增加每单位面积的产能。另外,本发明中量测装置的组件是固定于同心轴上,不易位移且减少发生量测上的误差,所以测量到结果的准确性以及重复性皆高。


图1是公知的光学组件量测装置的示意图。
图2A与图2B系本发明实施例一的光学组件量测装置的立体图。
图3A、图3B与图3C系为本发明实施例一具体实施的一系列立体示意图。
图4系本发明实施例二的光学组件量测装置的立体图。
图5A、图5B与图5C为本发明实施例二具体实施的一系列立体示意图。
组件符号说明1光学组件量测装置,11基座,111圆周面,12转盘,121圆周面,13积分球单元,131积分球,132外壳体,133臂部,14支架,141参考组件,15微调单元,2光学组件,3光学组件量测装置,31基座,311圆周面,32积分球单元,321积分球,322外壳体,323臂部,324第一参考组件,33支架,331第二参考组件,4光学组件,5光源区,6量测装置,61、62、63、64反射组件,65基座,7积分球,8光学组件。
具体实施例方式
以下将参照相关附图,说明依据本发明实施例的一种光学组件量测装置。
如图2A及图2B所示,本发明的实施例一提供一种光学组件量测装置1,其包含一基座11、一转盘12、一积分球单元13以及一支架14。其中,基座11的圆周面111上设有一参考点;转盘12轴设于基座11上,且转盘12的圆周面121上设有一定位刻度;积分球单元13于转盘12的半径方向自转盘12而向外侧延设;支架14轴设于转盘12上,用以挟持一光学组件2(显示于图3A),基座11、转盘12与支架14位于同心轴上,支架14设有一用以供支架14定位的参考组件141。
如图2A及图2B所示,本实施例的基座11将光学组件量测装置1固定于光学仪器的测量槽(未显示)中,以防止光学组件量测装置1在测量人员置换光学组件2时造成位移。在此,基板11的特点包括重心低、平稳而不易产生摇晃。另外,基座11的圆周面111上设有一参考点,以供转盘12以及支架14定位之用。
请参考图2A及图2B,转盘12轴设于基座11之上,且转盘12的圆周面121上设有一定位刻度。
再请参考图2A及图2B,积分球单元13于转盘12的半径方向自转盘12而向外侧延设。在此,积分球单元13包含一积分球131、一外壳体132以及一臂部133,积分球131设置于外壳体132内,且外壳体132借由臂部133而固定于转盘12上。其中,积分球131用以收集反射的光束,并侦测其光通量,再经由讯号处理而得可供比较的数据。
于本实施例中,转盘12的功能在调整积分球单元13的旋转角度,当转盘12转动时,积分球单元13随的转动,并依据基座11的参考点的位置来调整积分球单元13的旋转角度。
另外,如图2A及图2B所示,本实施例中支架14轴设于转盘12上,用以挟持一光学组件2(显示于图3A),基座11、转盘12与支架14位于同心轴上,且支架14上设有一用以供支架14定位的参考组件141。在此,支架14依据参考组件141与转盘12的定位刻度的相对位置来调整支架14的旋转角度。亦即,支架14依据所需,调整入射光线射入光学组件2的入射角度,借以改变光线自光学组件2射出的方向,使得自光学组件2射出的光线能够射入积分球单元13。
另外,本发明的光学组件量测装置1还可以包含一微调单元15,此微调单元15设置于基座11内,用以精密调整转盘12的旋转角度,如图2A及图2B所示。
于本发明中,是利用基座11、转盘12与支架14位于同心轴上的原理来进行作动。当光源射入光学组件2的入射角增加θ度时,其反射角会相对增加θ度,故光线经过光学组件2的路径的角度会增加2θ度;同理,当光源射入光学组件2的入射角减少θ度时,其反射角会相对减少θ度,故光线经过光学组件2的路径的角度亦减少2θ度。
图3A、图3B以及图3C系为本实施例具体实施之一系列示意图。在利用光学仪器(未显示)进行光学组件2的反射率测量时,一开始必须将基座11锁在光学仪器的测量槽(未显示)中,并将光学组件2放置于支架14上,如图3A所示。当欲量测的反射角度为70度时,先将转盘12上定位刻度140度(即欲量测的反射角度的2倍)对准基座11的参考点(0度)的位置,借以调整积分球单元13的旋转角度,如图3B所示。接着,再将支架14的参考组件141对准转盘12上定位刻度70度(即欲量测的反射角度),借以调整支架14的旋转角度,如图3C所示。最后,光源发射一光束于光学组件2中,接着反射光束进入积分球131中,经由讯号处理将反射光的光通量转换成可供比对的数据。
需注意者,在本发明的光学组件量测装置中,转盘12是以基座11的参考点为基准而转动,支架14则以转盘12为基准而转动,因此,转盘12与支架14皆能够以基座11的参考点为基准而定位。本领域技术人员应当了解,如图3A、图3B以及图3C所示的光学组件量测装置1的积分球131是固定于转盘12上,而支架14轴设于转盘12上,以便使得积分球131及支架14能够以基座11的参考点为基准而定位;反之,亦可以将支架固定于转盘上,而将积分球轴设于转盘上,同样能够使得积分球及支架以基座的参考点为基准而定位。
接着,如图4所示,本发明的实施例二亦提供一种光学组件量测装置3,其包含一基座31、一积分球单元32以及一支架33。
其中,基座31的圆周面311上设有一定位刻度;积分球单元32枢接于基座31上,且积分球单元32设有第一参考组件324;支架33轴设于基座31上,用以挟持一光学组件4(显示于图5A)。在此,基座31、积分球单元32与支架33位于同心轴上,支架33设有一用以供支架33定位的第二参考组件331。
请参考图4,积分球单元32系包含一积分球321、一外壳体322、一臂部323以及第一参考组件324。其中,积分球321设置于外壳体322内,且外壳体322借由臂部323枢接于基座31上,且臂部323系设有第一参考组件324,其以基座31为间隔与积分球321相对而设。在此,积分球单元32依据基座31的定位刻度以第一参考组件324调整积分球单元32的旋转角度。
再请参考图4,支架33轴设于基座31上,用以挟持一光学组件4(显示于图5A)。其中,支架33设有一用以供支架33定位的第二参考组件331,且支架33依据基座31的定位刻度以第二参考组件331调整支架33的旋转角度。
相同地,于本实施例中,基座31、积分球单元32与支架33亦位于同心轴上。需注意者,在本发明中,支架33的轴承与臂部323的枢轴系为一同心轴结构,而支架33的轴承为内轴,臂部323的枢轴为外轴(如图4所示);另外,本领域技术人员亦可以采用支架33的轴承为外轴、臂部323的枢轴为内轴的设计。
本实施例所依据的原理与实施例一相同,但操作上因组件的调整而有些许的差异。
接着,图5A、图5B以及图5C为本实施例具体实施之一列示意图。当欲量测70度反射角的反射率时,将支架33的第二参考组件331旋至基座31的定位刻度20度的位置,即反射角70度的余角,如图5B所示。接着,再将积分球单元32的第一参考组件324旋至基座31上定位刻度40度的位置,即反射角70度的余角的2倍,如图5C所示。最后,光源自刻度0度处发射一光束于光学组件4中,接着反射光束进入积分球321中,经由讯号处理将反射光的光通量转换成可供比对的数据。
上述仅为举例性,而非为限制性者。任何未脱离本发明的精神与范畴,而对其进行的等效修改或变更,均应包扩在本申请专利保护范围中。
权利要求
1.一种光学组件量测装置,其特征在于包含一基座,该基座的圆周面上设有一参考点;一转盘,轴设于该基座上,且该转盘的圆周面上设有一定位刻度;一积分球单元,于该转盘的半径方向自转盘而向外侧延设;以及一支架,轴设于该转盘上,用以挟持一光学组件,该基座、该转盘与该支架位于同心轴上,该支架设有一用以供该支架定位的参考组件。
2.如权利要求1所述的光学组件量测装置,其特征在于还包含一微调单元,设置于该基座上,且用以精密调整该转盘的旋转角度。
3.如权利要求1所述的光学组件量测装置,其特征在于,该积分球单元包含一积分球、一外壳体以及一臂部,该积分球设置于该外壳体内,且该外壳体借由该臂部而固定于该转盘上。
4.如权利要求1所述的光学组件量测装置,其特征在于该转盘转动时该积分球单元随的转动,并依据该基座的参考点的位置调整该积分球单元的旋转角度。
5.如权利要求1所述的光学组件量测装置,其特征在于,该支架依据该参考组件与该转盘的定位刻度的相对位置调整该支架的旋转角度。
6.如权利要求1所述的光学组件量测装置,其特征在于,量测时先依据该基座的参考点以该转盘调整该积分球单元的旋转角度,接着依据该转盘的定位刻度以该支架的参考组件调整该支架的旋转角度。
7.一种光学组件量测装置,其特征在于包含一基座,该基座的圆周面上设有一定位刻度;一积分球单元,枢接于该基座上,且该积分球单元设有一第一参考组件;以及一支架,轴设于该基座上,用以挟持一光学组件,该基座、该积分球单元与该支架位于同心轴上,该支架设有一用以供该支架定位的第二参考组件。
8.如权利要求7所述的光学组件量测装置,其特征在于该积分球单元包含一积分球、一外壳体以及一臂部,该积分球设置于该外壳体内,该外壳体借由该臂部而枢接于该基座上,且该第一参考组件系设置于该臂部上。
9.如权利要求8所述的光学组件量测装置,其特征在于该第一参考组件及该基分球系分别位于该基座的相对两侧。
10.如权利要求7所述的光学组件量测装置,其特征在于该积分球单元依据该基座的定位刻度以该第一参考组件调整该积分球单元的旋转角度。
11.如权利要求7所述的光学组件量测装置,其特征在于该支架依据该基座的定位刻度以该第二参考组件调整该支架的旋转角度。
全文摘要
一种光学组件量测装置,包含一基座、一转盘、一积分球单元以及一支架。其中,基座的圆周面上设有一参考点;转盘轴设于基座上,且转盘的圆周面上设有一定位刻度;积分球单元于转盘的半径方向自转盘而向外侧延设;支架轴设于转盘上,用以挟持一光学组件,基座、转盘与支架系位于同心轴上,支架设有一用以供支架定位的参考组件。另外,本发明亦提供一种光学组件量测装置,其包含一基座、一积分球单元以及一支架。
文档编号G01M11/02GK1510414SQ0215931
公开日2004年7月7日 申请日期2002年12月26日 优先权日2002年12月26日
发明者张智能, 徐振源 申请人:精碟科技股份有限公司
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