专利名称：半导体器件光学检测装置及检测方法
技术领域：
本发明涉及半导体器件的检测技术，更具体地说，涉及半导体器件的
光学^r测技术。
背景技术：
在半导体器件的检测技术中，需要对器件进行宏观的检测(macro inspection)，宏观检测通常都是采用光学检测。光学检测的基本原理是由 光源产生光并照射到待检测的半导体器件上，然后使用光学显微镜对半导 体器件进行检测。通常，检测半导体器件上不同的部分需要采用不同颜色 的光。比如检测器件的整体状况时需要使用白光，而检测LCOS时需要使 用绿光。并且，不同的光对于光学检测灵敏度也不同，因此，对于不同检 测要求的光学检测，或者使用不同的光学显微镜，就需要使用不同颜色的 光。
在现有技术中，所采用的光源都是单色光源，因此，对于需要不同颜 色的情况，需要进行光源的更换或者使用不同的检测装置进行检测。这在 检测的速度和成本上都带来了缺点，于是，就需要一种能够提供多色光的 光学检测装置。
发明内容
本发明的目的是提供一种新型的半导体器件光学检测技术，能够在一 个光学检测装置中提供多种颜色的光，同时满足对于不同颜色光的需求。 根据本发明的一方面，提供一种半导体器件光学检测装置，包括 光学显微镜，对半导体器件进行光学检测；
光源，照射所述待检测的半导体器件，其中，光源产生不同颜色的光， 用于宏观检测不同的半导体器件。根据本发明的一实施例，所述光源包括
光生成装置，产生一合成光；
光分解装置，将合成光分解成各色的单色光；
光选择装置，选择所需要的单色光并输出照射待测的半导体器件。
其中，光分解系统包括滤光器件，将合成光分解成各色的单色光，且 单色光在空间上分散分布。并且，光选择装置为空间选择装置，从在空间 上分散分布的单色光中选择所需要的单色光。
根据一实施例，光合成装置产生的合成光为白光。
根据本发明的第二方面，提供一种半导体器件光学检测方法，包括 提供一产生不同颜色的光的光源，并照射半导体器件，其中，不同颜 色的光用于宏观检测不同的半导体器件；
用光学显微镜对半导体器件进行光学检测。
根据本发明的一实施例，提供一产生不同颜色的光的光源并照射半导 体器件包括
产生一合成光；
将所述合成光分解成各色的单色光； 选择所需要的单色光并输出照射所述待测的半导体器件。
其中，将合成光分解成在空间上分散分布的各色的单色光。并且，从 在空间上分散分布的单色光中选择所需要的单色光。 根据一实施例，该合成光为白光。
采用本发明的技术方案，能够在一个光学检测装置中提供多种颜色的 光，以满足不同的应用需求，本发明的技术方案在各色光之间的切换十分 方便迅速，并且只需要采用一个光学检测装置，成本较低。
本发明的上述的以及其他的特征、性质和优势将通过下面结合附图对 实施例的描述而变得更加明显，在附图中，相同的附图标记始终表示相同 的特征，其中
图1是根据本发明的一实施例的半导体器件光学检测装置的结构图；图2是根据本发明的一实施例的半导体器件光学检测方法的流程图。
具体实施例方式
下面结合附图和实施例进一步说明本发明的技术方案。 根据本发明，提供一种半导体器件光学检测装置，参考图1，该装置
100包括
光学显微镜102，对半导体器件104进行光学检测。 光源106，照射待检测的半导体器件104，其中，光源106产生不同 颜色的光，用于宏观检测不同的半导体器件104。 根据图1所示的实施例，该光源106包括
光生成装置160,产生一合成光。 一般而言，该合成光可以为白光。 光分解装置162，将合成光分解成各色的单色光。根据图1所示的实 施例，该光分解装置162包括滤光器件，将合成光分解成各色的单色光， 且单色光在空间上分散分布。该光分解装置162的滤光器件可以采用诸如 偏振片、棱镜等的元件实现，将合成光分解成相互平行分布的、或者是散 射的单色光。
光选择装置164,选择所需要的单色光并输出照射待测的半导体器件 104。根据图1所示的实施例，光选择装置164为空间选择装置，从在空 间上分散分布的单色光中选择所需要的单色光。比如，该空间选择装置可 以设计为能在各色光的分布方向上移动，通过移动到所需要的颜色的光所 处的空间位置来进行光的选择。需要注意的是，如果单色光是散射分布， 该空间选择装置会被布置在距离光分解装置162足够远的地方，以使得各 色的光能够被充分的分离。参考图1所示的实施例，该光选择装置164还 进一步包括一远程的控制装置164a。
本发明还提供一种半导体器件光学检测方法，参考图2所示，该方法 200包括
202.提供一产生不同颜色的光的光源，并照射半导体器件，其中， 不同颜色的光用于宏观检测不同的半导体器件；
204.用光学显微镜对半导体器件进行光学检测。根据图2所示的实施例，上述的步骤202，提供一产生不同颜色的光 的光源并照射半导体器件进一步包括
222.产生一合成光。 一般而言，该合成光可以为白光。
224.将合成光分解成各色的单色光。根据图2所示的实施例，该步 骤224将合成光分解成各色的单色光，且单色光在空间上分散分布。该步 骤224可采用诸如偏振片、棱镜等的元件实现，将合成光分解成相互平行 分布的、或者是散射的单色光。
226.选择所需要的单色光并输出照射待测的半导体器件。根据图2 所示的实施例，该步骤226从在空间上分散分布的单色光中选择所需要的 单色光。比如，可通过提供一空间选择装置，并设计为能在各色光的分布 方向上移动，通过移动到所需要的颜色的光所处的空间位置来进行光的选 择。需要注意的是，如果单色光是散射分布，该空间选择装置会被布置在 距离光分解装置足够远的地方，以使得各色的光能够被充分的分离。
采用本发明的技术方案，能够在一个光学检测装置中提供多种颜色的 光，以满足不同的应用需求，本发明的技术方案在各色光之间的切换十分 方便迅速，并且只需要采用一个光学检测装置，成本较低。
上述实施例是提供给熟悉本领域内的人员来实现或使用本发明的，熟 悉本领域的人员可在不脱离本发明的发明思想的情况下，对上述实施例做 出种种修改或变化，因而本发明的保护范围并不被上述实施例所限，而应 该是符合权利要求书提到的创新性特征的最大范围。
权利要求
1.一种半导体器件光学检测装置，其特征在于，包括光学显微镜，对半导体器件进行光学检测；光源，照射所述待检测的半导体器件，其中，所述光源产生不同颜色的光，用于宏观检测不同的半导体器件。
2. 如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述光源包括 光生成装置，产生一合成光；光分解装置，将所述合成光分解成各色的单色光；光选择装置，选择所需要的单色光并输出照射所述待测的半导体器件。
3. 如权利要求2所述的装置，其特征在于，所述光分解系统包括滤光器件，将合成光分解成各色的单色光，且所 述单色光在空间上分散分布。
4. 如权利要求3所述的装置，其特征在于，所述光选择装置为空间选择装置，从在空间上分散分布的单色光中选 择所需要的单色光。
5. 如权利要求4所述的装置，其特征在于， 所述光合成装置产生的合成光为白光。
6. —种半导体器件光学检测方法，其特征在于，包括 提供一产生不同颜色的光的光源，并照射半导体器件，其中，所述不同颜色的光用于宏观检测不同的半导体器件； 用光学显微镜对半导体器件进行光学检测。
7. 如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述提供一产生不同颜色的光的光源并照射半导体器件包括 产生一合成光；将所述合成光分解成各色的单色光； 选择所需要的单色光并输出照射所述待测的半导体器件。
8. 如权利要求7所述的方法，其特征在于， 将合成光分解成在空间上分散分布的各色的单色光。
9. 如权利要求8所述的方法，其特征在于， 从在空间上分散分布的单色光中选择所需要的单色光。
10. 如权利要求9所述的方法，其特征在于， 所述合成光为白光。
全文摘要
本发明揭示了一种半导体器件光学检测装置，包括光学显微镜，对半导体器件进行光学检测；光源，照射待检测的半导体器件，其中，光源产生不同颜色的光，用于宏观检测不同的半导体器件。本发明还提供一种半导体器件光学检测方法，包括提供一产生不同颜色的光的光源，并照射半导体器件，其中，不同颜色的光用于检测半导体器件的不同部分；用光学显微镜对半导体器件进行光学检测。采用本发明的技术方案，能够在一个光学检测装置中提供多种颜色的光，以满足不同的应用需求，本发明的技术方案在各色光之间的切换十分方便迅速，并且只需要采用一个光学检测装置，成本较低。
文档编号G01M11/00GK101294864SQ200710040298
公开日2008年10月29日 申请日期2007年4月29日 优先权日2007年4月29日
发明者梁金刚, 俊 许, 亮 陈 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司