专利名称：用于阵列测试装置的光卡盘的制作方法
技术领域：
下面的描述涉及一种用于阵列测试装置(array tester)的光卡 盘(optic chuck),该阵列测试装置用于4企测形成在平面显示器 (FPD)基纟反上的电才及的电击失陷。
背景技术：
通常，阵列测试装置是用于在制造显示面板时检测形成在基板 上的电极的缺陷的装置。显示面^反包括诸如液晶显示器(LCD)、 等离子显示面4反(PDP)、有4几发光二极管(OLED)等的平面显示 器。例如，阵列测试装置^r测形成在LCD面板的薄膜晶体管(TFT ) 基板上的电极的任何缺陷。通常的TFT LCD基板包括TFT基板、 上面形成有滤色片和共用电极并且与TFT基板相对的彩色基板 (color substrate )、注入到TFT基才反和彩色基玲反之间的液晶、以及 背光。
传统的阵列测试装置包括光卡盘、光源、调制器、传感器等。 其上"i殳置有待测试基寿反的光卡盘中可以具有多个气孔，以将基寿反吸 附于其上或者与基板分离。光源是用于照射光的装置。从光源照出的光用于检测基板电极的任何缺陷。相对于光卡盘，调制器与光源 布置在同一侧，或者与光源相对。从光源照出的光穿过调制器的出 射面。传感器根据从调制器出射面射出的光的量来检测基板电极的 任何缺陷。
具体地，当调制器和光源相对于光卡盘而言相对时，光卡盘可 以由能够传输光的诸如光学玻璃的透明材料制成。这种传输型阵列 测试装置包括用于测试基板的测试单元、以及形成在测试单元的边 缘附近的光卡盘上的多个气孔。从气孔中垂直排出的空气使基板浮 起。当基板由空气浮起时，基板被传送到测试单元。已测试的基板 以相同的方式浮起，之后^皮传送。
然而，如上面所描述的，由于包4舌在传统阵列测试装置中的光 卡盘具有以,见则间隔排列的多个气孔，并且乂人气孔中排出的空气部 分地支撑基板，基板不与空气接触的部分由于自身的重量可能向下
偏斜。这种基板偏斜会在基板上造成刮痕，这会导致制造FPD时的缺陷。
发明内容
下面的描述涉及用于阵列测试装置的光卡盘，该光卡盘防止了 基板偏斜，因此不会在基板上造成刮痕。
根据一个方面，提供了一种用于阵列测试装置的光卡盘，包括 测试单元，待测试的基板^没置于该测试单元上；引导槽，沿与传送 基4反的方向垂直的方向形成在测i式单元的前部或后部附近；至少一 个气孔，形成在引导槽中，并排出空气以将基板浮起；以及空气引 导件，布置在气孔上方，其中从所述至少一个气孔排出的空气与空 气引导件碰撞并被引导到引导槽。
5沿传送基板的方向形成有另外的引导槽。
根据另一个方面，提供了一种用于阵列测试装置的光卡盘，包
括测试单元，待测试的基板设置于该测试单元上；引导槽，沿传 送基板的方向形成在测试单元的前部或后部附近；至少一个气孔， 形成在引导槽中，并排出空气以将基板浮起；以及空气引导件，布 置在气孔上方，其中从气孔排出的空气与空气引导件碰撞并被引导 到引导孔。
在空气引导件中形成有多个细孔。
空气引导件被结合于引导槽。
本发明的其他方面将在下面的描述中阐述，并且部分从描述中 显而易见，或者可以由本发明的实践4寻知。
可以理解，上面的总体描述和下面的详细描述都是示例性和i兌 明性的，并且是为了提供对所要求保护的本发明的进一步解释。
附图被包括进来以提供对本发明的进一步理解，附图被结合到 i兌明书中并构成i兌明书的一部分，附图示出了本发明的示例性实施 例，并与i兌明书一起用于解释本发明的各方面。
图1是^4居实施例的阵列测试装置的透^L图2是才艮据实施例的光卡盘的局部i文大透^L图3是根据实施例的引导槽的截面图，其中垂直于引导槽延伸 方向切开该引导才曹；图4是根据实施例的引导槽的截面图，其中沿引导槽延伸方向 切开该引导槽；
图5是根据另 一个实施例的光卡盘的局部放大透视图6是根据再一个实施例的光卡盘的局部放大透视图；以及
图7是根据另一个实施例的引导槽的截面图，其中沿引导槽延 伸方向切开该引导槽。
具体实施例方式
这里将参照附图更详细地描述本发明，附图中示出了本发明的 示例性实施例。然而，本发明可以以多种不同的形式实现，而不应 该限于这里所描述的示例性实施例来构造。相反，4是供这些示例性 实施例是为了使本公开更透彻，并向本领域技术人员全面传达本发 明的范围。在附图中，为了清楚起见，层和区i或的尺寸和相对尺寸 可能被放大。图中相同的参考标号表示相同的元件。
图1是根据一个实施例的阵列测试装置200的透碎见图。
如图1所示，阵列测试装置200包括光卡盘100、光源110和 调制器120。
待测试的基板设置在光卡盘100上。光源110照射光。从光源 110照出的光可以是氙、钠、石英卣素、激光等。
调制器120根据从光源110照出并传输通过调制器120的光的 量来检测基板的电极是否存在缺陷。调制器120邻近待测试基板而 布置，并且当施加与基板电极是否缺陷相对应的电信号时，调制器 120的具体物理性质改变。例如，当待测试基板的电极阵列没有缺
7陷时，在调制器120中形成电场并且由于电场分子排列朝向相同的 方向，从而光传输通过调制器120。然而，如果基板的电极阵列有 缺陷，则在调制器120中没有电场形成，因此分子排列不会改变， 从而没有光可以传输通过调制器120。
在调制器120上布置有传感器130。调制器120根据由传感器 130测得的具体物理性质来检测基板电极的缺陷。
同时，光源IIO相对于光卡盘IOO与调制器120相对。光卡盘 100由透明材料制成。因此，从光源110照出的光经光卡盘100传 输通过调制器120。
图2是根据一个实施例的光卡盘100的局部放大透视图，以及 图3是#4居一个实施例的引导槽20的截面图，其中，垂直于引导 槽20延伸方向切开该引导槽。
如图1、图2和图3所示，光卡盘100包括测试单元10、引导 槽20、至少一个气孔30以及至少一个空气引导件40。
待测试的基板设置在测试单元10上。在测试单元10的下方布 置光源110，并且在测试单元10的上方布置调制器120。 4寺测试基 板被传送到测试单元10的正上方，并进行阵列测试。基板力文置在 调制器120和测试单元10之间。
在测试单元10的前部和后部的至少一个上形成有引导槽20。 引导槽20垂直于传送基才反的方向而形成。
在引导槽20中形成有气孔30。气孔30排出空气以将基板浮起。 自下到上垂直地喷射气孔30中的空气。可以在引导槽20中以规则 间隔形成多个气孔30。在气孔30的上方布置有空气引导件40。可以将空气引导件40 i殳置并固定在形成于引导槽20中的阶梯形卡爪(stepjaw) 27上。 而且，可以以能够将空气引导件40稳固地固定在引导槽20上的多 种方式将空气引导件40固定在引导槽20上。
空气引导件40布置在气孔30的正上方，并将从气孔30排出 的空气分散。即，从气孔30排出的空气与空气引导件40的下部碰 撞并被引导到引导槽20。因此，从气孔30排出的空气由空气引导 件40分散并^皮排出到外部。
因此，分散的空气在多个位置支撑基板的同时将放置在气孔30 上方的基板浮起。结果，通过分散的空气稳定地支撑基板，因此能 够防止基板偏斜。这种基板偏斜(基板不接触空气的部分向下偏斜) 可能造成基板表面上的刮痕，导致制造缺陷。
为了解决这个问题，提供了一种增加气孔30的数量的方法。 即，可以通过形成更多的气孔并在更多位置分散空气来更加稳定地 支撑基板。增加气孔数量的方法可以在更多位置支撑基板，并且对 效率没有太大的影响。
因此，本发明通过提供用于分散从气孔30排出的空气的空气 引导件40来解决这个问题。即，沿引导槽20均匀地分散从气孔30 排出的空气，而并不是集中在基板的一个点上，从而能够防止基板偏斜。
而且，光卡盘100可以包括用于吸附基^反的多个吸附气槽 (suction air groove ) 90 。
图4是才艮据一个实施例的引导槽20的截面图，其中沿引导槽 20延伸方向切开该引导槽。如图4所示，从下面的气孔30供应的空气被向上引导，如箭 头所示，之后与空气引导件40碰撞。因此，空气沿左右方向扩散 到引导槽20上方并被排出到外部。
图5是才艮据另 一个实施例的用于阵列测试装置的光卡盘100的 局部》文大透一见图。
如图5所示，还可以沿传送基板的方向形成多个引导槽20b。 即，光卡盘100可以具有沿与传送基斧反的方向垂直的方向形成的引 导槽20a、以及沿传送基板的方向形成的多个引导槽20b。
图6是才艮据再一个实施例的用于阵列测试装置的光卡盘100的 局部力文大透—见图。
如图6所示，光卡盘100可以具有4又沿传送基才反的方向形成的 多个引导槽20b。
在这种情况下，如上所述，在每个引导槽20b中形成气孔，并 且在气孔上方安装空气引导件40。
而且，光卡盘100可以包括用于将基板吸附于其上的多个吸附 气槽卯。
图7是#4居另一个实施例的引导槽20的截面图，其中沿引导 槽20延伸方向切开该引导槽。
如图7所示，空气引导件40包括多个细孔41。将从下面的气 孔30向上4非出的空气的一部分通过多个细孔41 4非出到外部，而其 余的大部分空气与空气引导件40碰撞并沿左右方向扩散到引导槽 20上方，并#^非出到夕卜部。
10因此，可以防止》文置在空气引导件40上方的基4反的一部分由 于没有空气喷射到该基板部分而偏斜。而且，细孔41排出由气孔 30供应的部分空气，因此分散了从气孔30排出的高压空气。
而且，空气引导件40结合并固定于引导槽20。在这种情况下， 可以在引导槽20中形成用于将空气引导件40固定于引导槽20的 单独的槽。空气引导件40稳固地固定于引导槽20，使得空气引导 件40能够充分承受从气孔30排出的高压空气。
对本领域技术人员^艮显然，在不背离本发明的精神或范围的情 况下可以对本发明进4亍多种1奮改和变化。因此，本发明覆盖了在所 附权利要求及其等同物范围内的所提供的本发明的修改和改变。
权利要求
1.一种用于阵列测试装置的光卡盘，包括测试单元，待测试的基板设置于所述测试单元上；引导槽，沿与传送所述基板的方向垂直的方向形成在所述测试单元的前部或后部附近；至少一个气孔，形成在所述引导槽中，并排出空气以将所述基板浮起；以及空气引导件，布置在所述气孔上方，其中，从所述至少一个气孔排出的空气与所述空气引导件碰撞并被引导至所述引导槽。
2. 根据权利要求1所述的光卡盘，其中，沿传送所述基板的方向 形成有另外的引导槽。
3. —种用于阵列测试装置的光卡盘，包括测试单元，待测试的基板设置于所述测试单元上；引导槽，沿传送所述基板的方向形成在所述测试单元的 前部或后部附近；至少一个气孔，形成在所述引导槽中，并排出空气以将 所述基板浮起；以及空气引导件，布置在所述气孔上方，其中，从所述气孔 排出的空气与所述空气引导件碰撞并被引导至所述引导槽。
4. 根据权利要求l、 2和3中任意一项所述的光卡盘，其中，在 所述空气引导件中形成有多个细孔。
5. 根据权利要求l、 2和3中任意一项所述的光卡盘，其中，所述空气引导件结合于所述引导槽。
全文摘要
本发明提供了用于阵列测试装置的光卡盘，该光卡盘防止了基板偏斜并因此不会在基板上造成刮痕。该光卡盘包括测试单元，待测试的基板设置于该测试单元上；引导槽，沿与传送基板的方向垂直的方向形成在测试单元的前部或后部附近；至少一个气孔，形成在引导槽中，并排出空气以将基板浮起；以及空气引导件，布置在气孔上方，其中，从所述至少一个气孔排出的空气与空气引导件碰撞并被引导至引导槽。
文档编号G01R31/00GK101655528SQ20081018178
公开日2010年2月24日 申请日期2008年12月8日 优先权日2008年8月18日
发明者张文柱 申请人:塔工程有限公司