专利名称：玻璃基板检查装置及玻璃基板检查方法
技术领域：
本发明涉及检查玻璃基板中是否含有缺陷的玻璃基板检查装置及玻璃基板检查 方法。
背景技术：
众所周知，将在熔融炉中熔融了的熔融玻璃成形为带状的玻璃带，在使该玻璃带 充分冷却后，切割成规定尺寸，由此来制作以液晶显示器、等离子显示器、电致发光显示器、 场致发射显示器等平板显示器(FPD)用的玻璃基板为首的各种玻璃板。在此，在玻璃带的 成形中，除浮法之外，通常利用溢流下拉法(熔融法)或狭缝下拉法等下拉法等。然后，通常将经过此种过程制作的玻璃基板(小玻璃基板包含进行了倒角的样品 玻璃基板)向检查工序传送，检查是否存在微小损伤或异物等缺陷。作为在此种检查工序中使用的装置，例如下述专利文献1中公开所示，在传送辊 上水平载置玻璃基板，通过传送辊使玻璃基板以水平姿态移动，同时，通过光源和CCD传感 器等的相机，对玻璃基板的缺陷进行检测。然而，此种结构的情况下，以近年来的大型且薄板的玻璃基板为检查对象时，在传 送辊之间，会产生玻璃基板由于自重而向下方弯曲较大的情况。在玻璃基板的检查时，通常 利用相机，若玻璃基板如此产生弯曲，则会产生相机的焦点位置偏离而无法正确地检测出 缺陷的问题。尤其是，在FPD用的玻璃基板的情况下，为了确保高品质，作为缺陷，需要检测 出例如几十P m左右非常小的损伤等，因此玻璃基板的弯曲所引起的检测精度的下降就成 为更大的问题。因此，在下述专利文献2中，公开有如下装置通过夹紧机构把持铅垂姿态的玻璃 基板的全部四边，并且以使玻璃基板沿上下方向及左右方向延伸的方式通过各夹紧机构以 拉伸的状态将玻璃基板固定在定位置，相对于该固定的玻璃基板，使照明装置与相机一体 移动，检查玻璃基板是否存在缺陷。专利文献1 日本特开2006-266933号公报专利文献2 日本特开2005-172782号公报然而，玻璃基板的端部即四边是容易受损的部位，因此尽量抑制把持的边的个数 很重要。然而，在上述专利文献2所公开的方法中，通过夹紧机构把持玻璃基板的全部四 边。而且，玻璃基板在被把持全部四边的状态下，不仅上下方向，而且左右方向也被拉伸，因 此在通过夹紧机构把持的部位上容易产生过度的应力集中，从而玻璃基板可能以端部为起 点而导致破损。另外，如上述专利文献1中记载所示，在玻璃基板的检查中，多存在使玻璃基板移 动并同时进行缺陷检查的要求。然而，在上述专利文献2所公开的方法中，玻璃基板被固定 在定位置，仅使照明装置和相机移动，因此无法满足所述要求。而且，假设为了满足要求而 在把持玻璃基板的全部四边的状态下使玻璃基板沿宽度方向移动时，由于夹紧机构也位于 移动方向上，因此用于实现玻璃基板移动的装置复杂且大型化，不实用。
发明内容
本发明鉴于上述情况，其技术性课题在于，以简单的装置结构满足使玻璃基板移 动并进行缺陷检查的要求，同时，不使玻璃基板的边上产生过度的应力集中，矫正玻璃基板 的弯曲，提高缺陷的检测精度。为了解决上述课题而提出的本发明涉及一种玻璃基板检查装置，通过使纵姿态的 玻璃基板相对于缺陷检测机构进行相对移动，而使所述缺陷检测机构对所述玻璃基板进行 扫描，来检查所述玻璃基板是否含有缺陷，所述玻璃基板检查装置的特征在于，具备把持所 述玻璃基板的上边的上部把持机构和把持所述玻璃基板的下边的下部把持机构，仅通过所 述上部把持机构和所述下部把持机构所进行的把持来保持所述玻璃基板，并且使所述上部 把持机构与所述下部把持机构背离，对所述玻璃基板沿上下方向施加张力，在此状态下，使 所述玻璃基板朝向所述缺陷检测机构沿宽度方向移动。根据此种结构，通过上部把持机构和下部把持机构在玻璃基板的四边中仅把持上 边和下边。因此，即使在该状态下使上部把持机构与下部把持机构背离而沿上下方向对玻 璃基板施加张力，也不会在玻璃基板的宽度方向的两侧边上产生过度的应力集中。再者，由 于在玻璃基板的移动方向即宽度方向上不存在把持机构，因此能够以简单的装置结构实现 玻璃基板的移动。在上述的结构中，优选构成为，所述玻璃基板与所述缺陷检测机构中，仅使所述玻 璃基板移动。如此，不必使具备带有重量的相机等的缺陷检测机构移动，因此与使缺陷检测机 构移动的情况相比，维修的频率减少。因此，能够长时间以稳定的状态使用缺陷检测机构， 在经济方面非常有利。为了解决上述课题而提出的本发明涉及一种玻璃基板检查方法，通过使纵姿态的 玻璃基板相对于缺陷检测机构沿所述玻璃基板的宽度方向进行相对移动，而使所述缺陷检 测机构对所述玻璃基板进行扫描，来检查所述玻璃基板是否含有缺陷，所述玻璃基板检查 方法的特征在于，在仅把持所述玻璃基板的上边和下边而沿上下方向施加张力的状态下， 使所述玻璃基板朝向所述缺陷检测机构沿宽度方向移动。根据此种方法，能够同样地具有本页第一段落所述的作用效果。在上述的方法中，优选，将所述缺陷检测机构固定在定位置，仅使所述玻璃基板移 动。如此，能够同样地具有本页第三段落所述的作用效果。发明效果如此，根据本发明，能够可靠地满足使玻璃基板移动并进行缺陷检查的要求，同 时，不使玻璃基板的边上产生过度的应力集中，矫正玻璃基板的弯曲，提高缺陷的检测精度。
图1是示出本发明的一实施方式的玻璃基板检查装置的立体图。符号说明
1玻璃基板检查装置
2移动机构
3缺陷检测机构
4上部把持机构
4a把持部
4b基部
5下部把持机构
5a把持部
5b气缸
5c基部
6上部导轨
7下部导轨
8光源
9线路传感器
9a相机
具体实施例方式以下，参照附图，说明本发明的一实施方式。图1是示出本实施方式的玻璃基板检查装置的整体结构的侧视图。如该图所示， 该玻璃基板检查装置1具备以纵姿态(图例中大致铅垂姿态)的状态使玻璃基板G移动 的移动机构2 ；配置在通过该移动机构2进行移动的玻璃基板G的移动路径上，检测玻璃基 板G的缺陷的缺陷检测机构3。此外，作为玻璃基板G，列举有例如厚度为0. 05 1. 8mm、一 边的尺寸为Im以上的液晶显示器用的玻璃基板。上述移动机构2具备把持玻璃基板G的上边的上部把持机构4 ；把持玻璃基板G 的下边的下部把持机构5 ；将上部把持机构4沿玻璃基板G的宽度方向(图中的箭头A方 向)引导的上部导轨6;将下部把持机构5沿玻璃基板G的宽度方向(图中的箭头A方向) 引导的下部导轨7。分别地，上部导轨6配置在玻璃基板G的上边的上方位置，下部导轨7配置在玻璃 基板G的下边的下方位置，两导轨6、7沿玻璃基板G的宽度方向平行延伸。上部把持机构4具备把持玻璃基板G的上边的中央部和其两侧的三个把持部 4a ；安装有这三个把持部4a的基部4b，其中，该基部4b在上部导轨6上安装成滑动自如。 此外，上部把持机构4的把持部4a的个数并未特别限定，可以根据玻璃基板G的尺寸或厚 度适当调整，也可以通过一个把持部4a把持玻璃基板G的上边整体。下部把持机构5具备把持玻璃基板G的下边的中央部和其两侧的三个把持部 5a ；安装有这三个把持部5a且在上下方向(图中的箭头B方向)伸缩自如的气缸5b ；安装 有该气缸5b的基部5c，其中，该基部5c在上述下部导轨7上安装成沿该下部导轨7滑动自 如。此外，下部把持机构5的把持部5a的个数并未特别限定，可以根据玻璃基板G的尺寸 或厚度适当调整，也可以通过一个把持部5a把持玻璃基板G的下边整体。上述缺陷检测机构3具有沿上下方向射出长的线性光的光源8和沿上下方向排列有多个相机9a的线路传感器9，在玻璃基板G的相反侧通过线路传感器9接受从光源8朝 向玻璃基板G照射的光，基于该接受的光量的变化，检测有无缺陷。此外，在本实施方式中，缺陷检测机构3固定在玻璃基板G的移动路径上的定位置 上，通过上部把持机构4和下部把持机构5使玻璃基板G朝向缺陷检测机构3沿宽度方向 移动，由此，使缺陷检测机构3的相机9a对玻璃基板G整体进行扫描。接下来，说明如上所述构成的玻璃基板检查装置1的动作。首先，通过上部把持机构4的把持部4a把持从玻璃基板检查装置1的上游侧依次 传送来的玻璃基板G的上边，悬吊支承玻璃基板G。接下来，通过气缸5b使下部把持机构5 朝向玻璃基板G的下边上升，利用下部把持机构5的把持部5a把持玻璃基板G的下边。然 后，从该状态开始，再次通过气缸5b使下部把持机构5下降，通过安装在气缸5b上的把持 部5a将玻璃基板G的下边向下方拉伸。即，下部把持机构5的把持部5a相对于上部把持 机构4的把持部4a向下方背离，因此对玻璃基板G沿上下方向施加张力。因此，在该沿上 下方向施加的张力的作用下，能够矫正玻璃基板G的弯曲。而且，此时，玻璃基板G的宽度 方向的两侧边未从外部被支承而成为自由状态，因此难以产生由于沿上下方向施加的张力 而在两侧边产生应力集中的情况。并且，如此，在把持玻璃基板G的上下边而沿上下方向施加张力的阶段，上部把持 机构4的基部4b与下部把持机构5的基部5c同步并同时沿导轨6、7向下游侧移动，玻璃 基板G通过缺陷检测机构3的光源8与线路传感器9之间。此时，通过缺陷检测机构3的光源8与线路传感器9之间的玻璃基板G成为由上 部把持机构4和下部把持机构5沿上下方向施加张力的状态，从而玻璃基板G的弯曲被矫 正。因此，能够可靠地减少由于玻璃基板G的弯曲而线路传感器9的相机9a的焦点位置偏 离且缺陷的检测精度降低这一情况。此外，由于在玻璃基板G的移动方向即宽度方向上不 存在把持机构，因此能够以简单的装置结构使玻璃基板G移动。此外，在玻璃基板G的整体通过缺陷检测机构3的光源8与线路传感器9之间的 阶段，玻璃基板G的上边由未图示的其它的把持机构把持。在该状态下，上部把持机构4和 下部把持机构5分别离开玻璃基板G的上下边，沿导轨6、7向上游侧移动而复位到原来的 位置。另一方面，在未检测到缺陷时，将结束了检查的玻璃基板G向后续的加工工序传送， 在检测到缺陷时，将其作为不良品废弃或从没有缺陷的正常的部分中采用新的玻璃基板G。根据以上本实施方式的玻璃基板检查装置1，即使在使玻璃基板G移动并同时进 行缺陷检查的要求下，也能够以简单的装置结构进行对应，而且，在玻璃基板G的边上不产 生过度的应力集中，能够可靠地矫正玻璃基板G的弯曲，提高缺陷的检测精度。此外，本发明并不局限于上述实施方式，而能够以各种方式实施。例如，在上述实 施方式中，说明了通过气缸5b拉伸而对玻璃基板G施加张力的情况，但是也可以利用下部 把持机构5的把持部5a的重量对玻璃基板G施加张力。而且，这种情况下，优选，在下部 把持机构5的把持部5a的重量过重时，通过气缸5b将把持部5a向上方抬起，在把持部5a 的重量过轻时，通过气缸5b将把持部5a向下方拉伸，由此来调整作用在玻璃基板G上的张 力。
权利要求
一种玻璃基板检查装置，通过使纵姿态的玻璃基板相对于缺陷检测机构沿所述玻璃基板的宽度方向进行相对移动，而使所述缺陷检测机构对所述玻璃基板进行扫描，来检查所述玻璃基板是否含有缺陷，所述玻璃基板检查装置的特征在于，具备把持所述玻璃基板的上边的上部把持机构和把持所述玻璃基板的下边的下部把持机构，仅通过所述上部把持机构和所述下部把持机构所进行的把持来保持所述玻璃基板，并且使所述上部把持机构与所述下部把持机构背离，对所述玻璃基板沿上下方向施加张力，在此状态下，使所述玻璃基板朝向所述缺陷检测机构沿宽度方向移动。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板检查装置，其特征在于，所述玻璃基板与所述缺陷检测机构中，仅使所述玻璃基板移动。
3.一种玻璃基板检查方法，通过使纵姿态的玻璃基板相对于缺陷检测机构沿所述玻璃 基板的宽度方向进行相对移动，而使所述缺陷检测机构对所述玻璃基板进行扫描，来检查 所述玻璃基板是否含有缺陷，所述玻璃基板检查方法的特征在于，在仅把持所述玻璃基板的上边和下边而沿上下方向施加张力的状态下，使所述玻璃基 板朝向所述缺陷检测机构沿宽度方向移动。
4.根据权利要求3所述的玻璃基板检查方法，其特征在于，所述玻璃基板与所述缺陷检测机构中，仅使所述玻璃基板移动。
全文摘要
以简单的装置结构满足使玻璃基板移动并进行缺陷检查的要求，同时，不使玻璃基板的边上产生过度的应力集中，矫正玻璃基板的弯曲，提高缺陷的检测精度。一种玻璃基板检查装置(1)，通过使纵姿态的玻璃基板(G)相对于缺陷检测机构(3)沿玻璃基板(G)的宽度方向进行相对移动，而使缺陷检测机构(3)对玻璃基板(G)进行扫描，来检查玻璃基板(G)是否含有缺陷，其中，具备把持玻璃基板(G)的上边的上部把持机构(4)和把持玻璃基板(G)的下边的下部把持机构(5)，仅通过上部把持机构(4)和下部把持机构(5)所进行的把持来保持玻璃基板(G)，并且使上部把持机构(4)与下部把持机构(5)背离，对玻璃基板(G)沿上下方向施加张力，在此状态下，使玻璃基板(G)朝向缺陷检测机构(3)沿宽度方向移动。
文档编号G01N21/958GK101889199SQ20088011923
公开日2010年11月17日 申请日期2008年11月26日 优先权日2008年3月27日
发明者外间喜春, 安井忠德, 山本正善 申请人:日本电气硝子株式会社