应用于低压炉管装置的压力检测系统的制作方法
【专利摘要】本发明公开了一种应用于低压炉管装置的压力检测系统包括控制单元、机械式压力开关和电容式压力计；机械式压力开关包括一底座，底座具有一个压力输入口并固定有一波纹管，压力输入口与顶部密封底部开放的波纹管相通；波纹管顶部固定有支撑杆，支撑杆上套设有连接信号的导电片；底座上固定装有支撑罩，波纹管、支撑杆和导电片位于支撑罩内，支撑罩顶部固定有两个导体棒；机械式压力开关通过导体棒顶部的两根导线串联在电容式压力计和控制单元形成的测试回路中。本发明在原有电容式压力计基础上增加了一个机械式压力开关，不但保留了电容式压力计的功能，而且对电容式压力计进行了双重确认，有效降低了因电容式压力计零点偏移导致的产品或石英部品的损坏。
【专利说明】应用于低压炉管装置的压力检测系统
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种检测装置，具体属于一种应用于低压炉管装置的压力检测系统。【背景技术】
[0002]在半导体的制造过程中，经常利用LPCVD (Low Pressure Chemical VaporDeposition,即低压化学气相沉积)工艺形成多晶娃、氮化娃等薄膜，而该工艺通常在低压炉管装置中进行。目前，低压炉管装置的炉管内大气压力通常由电容式压力计来确定，所述电容式压力计3与一控制单元I构成一个测试回路，如图1所示，为了确保产品和石英部件的安全，低压炉管设备设定有INTERLOCK (互锁)功能，也就是说，当电容式压力计检测的炉管内压力低于750ton.(托)时，舟保留的炉管内不进行降舟动作。
[0003]然而，现有的电容式压力计往往会发生零点偏移的缺陷，如果压力计出现负偏的情况，那么会延长电容式压力计实际到达大气压力的时间，导致舟无法及时退出炉管，增加了硅片在炉内的热履历，从而影响硅片的特性；如果压力计出现正偏的情况，当电容式压力计显示为760torr时，炉管内部的实际压力小于外部大气压力，降舟动作会造成倒灌，进而影响产品的颗粒，如果压差过大还会造成炉管内碎片或石英部件的损坏。
【发明内容】
[0004]本发明要解决的技术问题是提供一种应用于低压炉管装置的压力检测系统，可以有效地避免低压炉管装置因电容式压力计的零点偏移而导致的产品损坏发生。
[0005]为解决上述技术问题，本发明的应用于低压炉管装置的压力检测系统，包括控制单元、机械式压力开关和电容式压力计；
[0006]所述机械式压力开关包括一底座，所述底座具有一个压力输入口，该压力输入口与一顶部密封且底部开放的波纹管相通，所述波纹管的下端固定在底座上；
[0007]所述波纹管的封闭顶部固定有一支撑杆，所述支撑杆上套设有一个连接信号的导电片；
[0008]所述底座上固定装有一支撑罩，所述波纹管、支撑杆和导电片均位于支撑罩内部，所述支撑罩的顶部固定装有两个导体棒，每个导体棒的顶部连接有一根导线；
[0009]所述机械式压力开关通过两根导线串联在电容式压力计和控制单元形成的测试回路中；
[0010]当炉管内的压力不低于设定的阈值时，所述波纹管处于自然伸张的状态，导电片与导体棒接触，电容式压力计与控制单元连通；
[0011]当炉管内的压力低于设定的阈值时，所述波纹管处于收缩的状态，导电片与导体棒分离，电容式压力计与控制单元未连通。
[0012]在上述结构中，所述电容式压力计连接有两根信号线，其中一根信号线与控制单元连接，另一根信号线与机械式压力开关的一根导线连接，机械式压力开关的另一根导线连接控制单元。[0013]其中，所述波纹管、导电片、支撑杆和支撑罩均为不锈钢材质。
[0014]优选的，所述支撑杆为螺纹杆结构，导电片通过上下两个螺母固定在支撑杆上，两个螺母和导电片之间分别设有绝缘垫圈。所述两螺母远离导电片的一侧装有防松螺母。
[0015]优选的，所述导体棒均为螺纹杆结构，每个导体棒通过上下两个螺母与支撑罩固定连接，螺母和支撑罩之间分别设有绝缘垫圈。所述螺母远离支撑罩的一侧装有防松螺母。
[0016]进一步的，所述波纹管的顶部由一顶板密封，所述支撑杆固定在顶板上。所述顶板为不锈钢材质。
[0017]此外，所述底座上固定有一保护罩，所述支撑罩和导体棒均位于保护罩内，所述保护罩顶部设有一开口，两根导线通过该开口伸出保护罩。所述保护罩的开口处装有塑料保护套。
[0018]本发明的压力检测系统在原有的电容式压力计基础上增加了一个机械式压力开关，该机械式压力开关与原有的电容式压力计分别检测低压炉管装置的压力情况，且在机械式压力开关为正常导通情况下电容式压力计才正常工作，因此该系统不但保留了电容式压力计的检测功能，而且又对设备本身的电容式压力计进行了双重确认，有效的降低了低压炉管装置本身的电容式压力计由于发生零点偏移所导致的产品或石英等部品的损坏。
【专利附图】
【附图说明】
[0019]图1是现有的应用于低压炉管装置的压力检测系统；
[0020]图2是本发明应用于低压炉管装置的压力检测系统的结构示意图；
[0021]图3是本发明中机械式压力开关的结构示意图。
[0022]其中附图标记说明如下:
[0023]I为控制单元；2为机械式压力开关；3为电容式压力计；21为压力输入口 ；22为底座；23为波纹管；24为顶板；25为支撑杆；26为螺母；27为绝缘垫圈；28为导电片；29为防松螺母；210为导体棒；211为支撑罩；212为导线；213为保护罩；214为塑料保护套。
【具体实施方式】
[0024]下面结合附图与【具体实施方式】对本发明作进一步详细的说明。
[0025]本发明提供的应用于低压炉管装置的压力检测系统，如图2所示，包括控制单元
1、机械式压力开关2和电容式压力计3，所述控制单元I为计算机或单片机，机械式压力开关2串联在控制单元I和电容式压力计3之间构成一个测试回路。
[0026]如图3所示，机械式压力开关2包括一法兰结构的底座22，底座22具有一个连接低压炉管装置的压力输入口 21，该压力输入口 21与一顶部密封且底部开放的波纹管23相通，波纹管23的下端固定在底座22上；
[0027]波纹管23的封闭顶部固定有一支撑杆25，支撑杆25上套设有一个连接信号的导电片28 ；
[0028]底座22上固定装有一支撑罩211，波纹管23、支撑杆25和导电片28均位于支撑罩211内部，支撑罩211的顶部固定装有两个导体棒210，每个导体棒210的顶部连接有一根导线212，其中一根导线212连接电容式压力计3的一根信号线，另一根导线212连接控制单元1，电容式压力计3的另一根信号线直接连接控制单元I ;[0029]当炉管内的压力不低于设定的阈值(通常为750ton.)时，波纹管23处于自然伸张的状态，导电片28与导体棒210接触导通(此时机械式压力开关2相当于一个闭合的开关)，电容式压力计3通过机械式压力开关2与控制单元I连通，整个测试回路闭合，电容式压力计进行压力检测；
[0030]当炉管内的压力低于设定的阈值时，波纹管23处于收缩的状态，导电片28与导体棒210分离断开(此时机械式压力开关2相当于一个未闭合的开关)，电容式压力计3与控制单元I处于断开的状态，电容式压力计3无法进行压力检测。
[0031]较佳的实施例，波纹管23的顶部由一顶板24密封，支撑杆25固定在顶板24上。其中，波纹管23、导电片28、支撑杆25、支撑罩211和顶板24均为不锈钢材质。
[0032]其中，支撑杆25为螺纹杆结构，导电片28通过上下两个螺母26固定在支撑杆25上，两个螺母26和导电片28之间分别设有绝缘垫圈27。所述两螺母26远离导电片28的一侧装有防松螺母29。导体棒210也为螺纹杆结构，每个导体棒210通过上下两个螺母26与支撑罩211固定连接，螺母26和支撑罩211之间分别设有绝缘垫圈27。所述螺母26远离支撑罩211的一侧装有防松螺母29。
[0033]此外,底座22上还固定有一保护罩213,该支撑罩211和导体棒210均位于保护罩213内，保护罩213顶部设有一开口，开口处装有塑料保护套214，两根导线212通过该开口伸出保护罩213。
[0034]本发明在低压炉管装置原有的电容式压力计基础上追加了一个机械式压力开关，当炉管压力不低于750torr时，该机械式压力开关的波纹管处于自然伸张状态，导电片与导体棒为接触导通状态，电容式压力计进行压力检测；当压力低于750torr时波纹管收缩，导电片与导体棒为断开状态，电容式压力计无法进行压力检测，实际使用时可根据压力需求的阈值调整固定导电片的螺母、防松螺母10或固定导体棒的螺母、防松螺母，使导电片和导体棒在低于需要的压力值时断开接触。机械式压力开关与设备本身的电容式压力计并联安装在排气管路上使用，在保持了原设备本身的电容式压力计的检测功能外，同时对设备本身的电容式压力计进行双重确认，有效地降低设备本身的电容式压力计由于发生零点偏移所导致的产品或石英等部品的损失。
[0035]以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明，但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下，本领域的技术人员可对机械式压力开关的结构及各部件的材质做出许多变形和改进，这些也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:包括控制单元(I)、机械式压力开关(2)和电容式压力计(3)； 所述机械式压力开关(2)包括一底座(22)，所述底座(22)具有一个压力输入口(21)，该压力输入口( 21)与一顶部密封且底部开放的波纹管(23)相通，所述波纹管(23)的下端固定在底座(22)上； 所述波纹管(23)的封闭顶部固定有一支撑杆(25)，所述支撑杆(25)上套设有一个连接信号的导电片(28); 所述底座(22)上固定装有一支撑罩(211)，所述波纹管(23)、支撑杆(25)和导电片(28)均位于支撑罩(211)内部，所述支撑罩(211)的顶部固定装有两个导体棒(210)，每个导体棒(210)的顶部连接有一根导线(212)； 所述机械式压力开关(2)通过两根导线(212)串联在电容式压力计(3)和控制单元(I)形成的测试回路中； 当炉管内的压力不低于设定的阈值时，所述波纹管(23)处于自然伸张的状态，导电片(28)与导体棒(210)接触，电容式压力计(3)与控制单元(I)连通； 当炉管内的压力低于设定的阈值时，所述波纹管(23)处于收缩的状态，导电片(28)与导体棒(210)分离，电容式压力计(3)与控制单元(I)未连通。
2.根据权利要求1所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述电容式压力计(3)连接有两根信号线，其中一根信号线与控制单元(I)连接，另一根信号线与机械式压力开关(2)的一根导线(212)连接，机械式压力开关(2)的另一根导线(212)连接控制单元(I)。
3.根据权利要求1所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述波纹管(23)、导电片(28)、支撑杆(25)和支撑罩(211)均为不锈钢材质。
4.根据权利要求1所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述支撑杆(25)为螺纹杆结构，导电片(28)通过上下两个螺母(26)固定在支撑杆(25)上，两个螺母(26 )和导电片(28 )之间分别设有绝缘垫圈(27 )。
5.根据权利要求4所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述两螺母(26)远离导电片(28)的一侧装有防松螺母(29)。
6.根据权利要求1所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述导体棒(210)均为螺纹杆结构，每个导体棒(210)通过上下两个螺母(26)与支撑罩(211)固定连接，螺母(26)和支撑罩(211)之间分别设有绝缘垫圈(27)。
7.根据权利要求6所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述螺母(26)远离支撑罩(211)的一侧装有防松螺母(29)。
8.根据权利要求3所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述波纹管(23)的顶部由一顶板(24)密封，所述支撑杆(25)固定在顶板(24)上。
9.根据权利要求8所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述顶板(24)为不锈钢材质。
10.根据权利要求1至9任意一项所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述底座(22)上固定有一保护罩(213),所述支撑罩(211)和导体棒(210)均位于保护罩(213)内，所述保护罩(213)顶部设有一开口，两根导线(212)通过该开口伸出保护罩(213)。
11.根据权利要求10所述的应用于低压炉管装置的压力检测系统，其特征在于:所述保护罩(213)的开口处装有塑料保护套(214)。
【文档编号】G01L9/12GK103575452SQ201210249428
【公开日】2014年2月12日 申请日期:2012年7月18日 优先权日:2012年7月18日
【发明者】刘立成, 刘波, 钱敏 申请人:上海华虹Nec电子有限公司