便携式真空校准装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公布一种便携式真空校准装置，包括箱体、真空校准系统和真空校准抽气系统，真空校准系统设在箱体外，箱体内设有真空校准抽气系统；真空校准抽气系统包括机械泵、电磁放气阀V1、挡油阱、电阻规、电磁隔断阀V2、分子泵、手动隔断阀V3、真空校准系统接入端、手动隔断阀V4和微调阀V5，机械泵、电磁放气阀V1、挡油阱、电阻规、电磁隔断阀V2、分子泵、手动隔断阀V3和真空校准系统接入端通过导气管依次连接导通。本实用新型不仅可以保证校准精度不受设备轻便化和小型化影响，而且还可以降低实际校验环境的气体中有害成分对真空泵的危害，延长真空泵的使用寿命。
【专利说明】便携式真空校准装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种真空校准装置，特别涉及一种便携式真空校准装置。
【背景技术】
[0002] 通常情况下，对真空计的校准都是在实验室里进行的，而在使用现场只能对一部 分国产指针式真空计的仪表部分电参数进行校准。由于真空计所用的真空测量规管（以下 称为真空规）的灵敏度各不相同，加上使用中存在着不同程度的污染，会造成其灵敏度下 降，而且如果无法对真空规和真空计的仪表部分进行整体校准，就无法保证真空计测量结 果的准确性。而且如果在科研单位或企业进行现场或在线校验，不仅可以使校准条件和使 用条件基本相同，不仅可以提高校准精度，而且避免了因为停止工作系统送往实验室校准 的经济损失和时间浪费，因此在科研、生产制造中提出了现场或在线真空校准的需求。而进 行现场或在线校验时，由于现场校验环境中可能存在有大量的水蒸气、腐蚀性气体等有害 成分，在校验过程中会被吸入真空泵，然后进入工作液内，进而会对真空泵的部件产生腐蚀 作用，降低真空泵的使用寿命。而且现有便携式真空校准装置，轻便化、小型化后校准的精 度受轻便化和小型化的影响而降低。 实用新型内容
[0003] 有鉴于此，本实用新型在于提供一种便携式真空校准装置，可以保证校准精度不 受设备轻便化和小型化影响，同时降低实际校验环境的气体中有害成分对真空泵的危害， 延长真空泵的使用寿命。
[0004] 为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：便携式真空校准装置，包括箱 体、真空校准系统和真空校准抽气系统，所述真空校准系统设在所述箱体外，所述箱体内设 有真空校准抽气系统；所述真空校准抽气系统包括机械泵、电磁放气阀V1、挡油阱、电阻规、 电磁隔断阀V2、分子泵、手动隔断阀V3、真空校准系统接入端、手动隔断阀V4和微调阀V 5, 所述机械泵、所述电磁放气阀V1、所述挡油阱、所述电阻规、所述电磁隔断阀V2、所述分子 泵、所述手动隔断阀V3和所述真空校准系统接入端通过导气管依次连接导通，位于所述手 动隔断阀V3和所述真空校准系统之间的导气管与位于所述挡油阱与所述电阻规之间的导 气管经过所述手动隔断阀V4通过导气管连接导通，位于所述真空校准系统接入端与所述手 动隔断_V4之间的导气管与氮气存储装置经过所述微调阀％通过导气管连接导通；所述真 空校准抽气系统与所述真空校准系统通过所述真空校准系统接入端连接导通。
[0005] 上述便携式真空校准装置，所述真空校准系统包括真空室、IOOOTorr标准薄膜电 容真空规G3UTorr标准薄膜电容真空规G4和真空校准接入端，所述IOOOTorr标准薄膜电 容真空规G3与所述真空室连接导通，所述ITorr标准薄膜电容真空规G4通过导气管经过手 动隔断阀V8与所述真空室连接导通，所述真空室通过导气管经过手动隔断阀V7与所述真空 校准接入端连接导通，所述真空室与所述真空校准系统接入端通过导气管连接导通。
[0006] 上述便携式真空校准装置，所述真空校准接入端设有盲板。
[0007] 上述便携式真空校准装置，还包括复合真空计。
[0008] 上述便携式真空校准装置，所述电阻规上设有一个所述复合真空计。
[0009] 上述便携式真空校准装置，所述分子泵配有加热装置；所述挡油阱配有加热装置。
[0010] 上述便携式真空校准装置，所述箱体箱壁外壁上设有控制面板。
[0011] 上述便携式真空校准装置，所述控制面板设有电源开关和显示屏，所述电源开关 包括机械泵电源开关、电磁放气阀V1电源开关、电磁隔断阀V2电源开关、分子泵电源开关、 挡油阱加热装置电源开关、分子泵加热装置电源开关和总电源开关。
[0012] 上述便携式真空校准装置，所述氮气存储装置为氮气罐。
[0013] 上述便携式真空校准装置，所述机械泵为旋片式真空泵。
[0014] 本实用新型的有益效果是：
[0015] 1.本实用新型在轻便化和小型化处理的过程中，保留了校准系统的主要部件，仅 仅是去掉部分管路和阀门，因而本实用新型的精度在保证其真空校准功能基础上，结构得 到了简化，但精度保持不变。
[0016] 2.本实用新型在分子泵前加设挡油阱，有利于除去实验环境中的有害气体，如酸 性气体SO2等，避免分子泵部件受到腐蚀，从而延长分子泵的使用寿命。
【专利附图】
【附图说明】
[0017] 图1为本实用新型便携式真空校准装置的箱体外观结构示意图；
[0018] 图2为本实用新型便携式真空校准装置的工作原理图；
[0019] 图3为本实用新型便携式真空校准装置的真空校准系统结构框图。
[0020] 图中：100-箱体，101-机械泵电源开关，102-电磁放气阀Vl电源开关，103-电 磁隔断阀V2电源开关，104-分子泵电源开关，105-挡油阱加热装置电源开关，106-分子泵 加热装置电源开关，107-总电源开关，108-显示器，200-真空校准抽气系统，201-机械泵， 202-电磁放气阀V1, 203-挡油阱，204-电阻规，205-电磁隔断阀V2, 206-分子泵，207-手动 隔断阀V3, 208-手动隔断阀V4, 209-微调阀V5, 210-真空校准系统接入端，211-氮气存储装 置，300-真空校准系统，301-真空室，302-1000Torr标准薄膜电容真空规G3, 303-lTorr标 准薄膜电容真空规G4, 304-真空校准接入端，305-手动隔断阀V7, 306-手动隔断阀V8。
【具体实施方式】
[0021] 为清楚说明本实用新型中的方案，下面给出优选的实施例并结合附图详细说明。
[0022] 如图1和图2所示，便携式真空校准装置，包括箱体100、真空校准系统300和真 空校准抽气系统200,所述真空校准系统300设在所述箱体100外，所述箱体100内设有真 空校准抽气系统200 ;所述真空校准抽气系统200包括机械泵201、电磁放气阀％202、挡油 阱203、电阻规204、电磁隔断阀V2205、分子泵206、手动隔断阀V3207、真空校准系统接入端 210、手动隔断阀V4208和微调阀V5209,所述机械泵201、所述电磁放气阀Vi202、所述挡油 阱203、所述电阻规204、所述电磁隔断阀V2205、所述分子泵206、所述手动隔断阀V3207和 所述真空校准系统接入端210通过导气管依次连接导通，位于所述手动隔断阀V3207和所 述真空校准系统300之间的导气管与位于所述挡油阱203与所述电阻规204之间的导气管 经过所述手动隔断阀V4208通过导气管连接导通，位于所述真空校准系统接入端210与所 述手动隔断阀V4208之间的导气管与氮气存储装置211经过所述微调阀V5209通过导气管 连接导通；所述真空校准抽气系统200与所述真空校准系统300通过所述真空校准系统接 入端210连接导通。其中所述氮气存储装置211为氮气罐，所述机械泵201为旋片式真空 栗。
[0023] 其中，如图3所示，所述真空校准系统300包括真空室301、IOOOTorr标准薄膜电 容真空规G3302、ITorr标准薄膜电容真空规G4303和真空校准接入端304,所述IOOOTorr 标准薄膜电容真空规G3302与所述真空室301连接导通，所述ITorr标准薄膜电容真空规 G4303通过导气管经过手动隔断阀V8306与所述真空室301连接导通，所述真空室301通过 导气管经过手动隔断阀V7305与所述真空校准接入端304连接导通，所述真空室301与所 述真空校准系统接入端210通过导气管连接导通。
[0024] 为了避免异物落入所述真空校准接入端304的导气管中堵塞导气管，影响校准精 度，所述真空校准接入端304设有盲板。不使用所述真空校准接入端304,可用所述盲板将 所述低真空校准接入端304的导气管管口盖住。
[0025] 为了使本实用新型满足对复合真空计的校准，本实用新型还包括复合真空计，所 述复合真空计设在所述电阻规204上。
[0026] 而且为了避免在对真空计等真空度计量仪器进行校检时，所述真空校准系统300 的动态极限真空度达不到校检要求，所述分子泵206配有加热装置；所述挡油阱203配有加 热装置。
[0027] 为了便于对所述真空校准抽气系统300的操控，所述箱体100箱壁外侧设有控制 面板，所述控制面板设有电源开关和显示屏108,所述电源开关包括机械泵电源开关101、 电磁放气阀Vl电源开关102、电磁隔断阀V2电源开关103、分子泵电源开关104、挡油阱加 热装置电源开关105、分子泵加热装置电源开关106和总电源开关107。
[0028] 本实施例中，采用本实用新型对真空规进行校准时，具体校准步骤如下：
[0029] (1)关闭所有阀门，将所述真空校准系统300与所述真空校准系统接入端210连接 导通，并将被校真空规与所述真空校准接入端304连接导通；
[0030] (2)接通所述总电源开关107,启动所述机械泵201，并接通所述分子泵206用冷却 水水源，2分钟后，打开所述手动隔断阀V7305和所述手动隔断阀V4208,对所述真空室301 抽真空；
[0031] (3)打开所述手动隔断阀V8306,接通所述IOOOTorr标准薄膜电容真空规G 3302、 所述ITorr标准薄膜电容真空规G4303以及被校真空规的电源；
[0032] (4)当所述真空室301内的气压不超过IOPa时，关闭所述手动隔断阀V4208,打开 所述电磁隔断_V2205 ;
[0033] (5)当所述电阻规204的读数小于或等于20Pa时，启动所述分子泵206并使其正 常工作；
[0034] (6)调节所述微调_V5209,然后根据所述被校真空规的量程选用对应的所述 IOOOTorr标准薄膜电容真空规G3302或所述ITorr标准薄膜电容真空规G4303得出一系列 标准值Pp并从所述被校真空规上得出相应的一系列的被校值Ptt，然后通过下述公式得出 相应的误差S或校准系数k :
[0035]
【权利要求】
1. 便携式真空校准装置，其特征在于，包括箱体（1〇〇)、真空校准系统（300)和真空校 准抽气系统（200)，所述真空校准系统（300)设在所述箱体（100)外，所述箱体（100)内 设有真空校准抽气系统（200);所述真空校准抽气系统（200)包括机械泵（201)、电磁放 气阀VJ202)、挡油阱（203)、电阻规（204)、电磁隔断阀V2(205)、分子泵（206)、手动隔断 _V3(207)、真空校准系统接入端（210)、手动隔断阀V4(208)和微调_V 5(209)，所述机械 泵（201)、所述电磁放气阀％ (202)、所述挡油阱（203)、所述电阻规（204)、所述电磁隔断 _V2 (205)、所述分子泵（206)、所述手动隔断_V3 (207)和所述真空校准系统接入端（210) 通过导气管依次连接导通，位于所述手动隔断_V3(207)和所述真空校准系统（300)之间 的导气管与位于所述挡油阱（203)与所述电阻规（204)之间的导气管经过所述手动隔断 _V4(208)通过导气管连接导通，位于所述真空校准系统接入端（210)与所述手动隔断阀 V4(208)之间的导气管与氮气存储装置（211)经过所述微调_V5(209)通过导气管连接导 通；所述真空校准抽气系统（200)与所述真空校准系统（300)通过所述真空校准系统接入 端（210)连接导通。
2. 根据权利要求1所述的便携式真空校准装置，其特征在于，所述真空校准系统（300) 包括真空室（301)、1000Torr标准薄膜电容真空规G3(302)、lTorr标准薄膜电容真空规 G4(303)和真空校准接入端（304)，所述lOOOTorr标准薄膜电容真空规G3(302)与所述真 空室（301)连接导通，所述ITorr标准薄膜电容真空规G4(303)通过导气管经过手动隔断 _V8(306)与所述真空室（301)连接导通，所述真空室（301)通过导气管经过手动隔断阀 V7 (305)与所述真空校准接入端（304)连接导通，所述真空室（301)与所述真空校准系统接 入端（210)通过导气管连接导通。
3. 根据权利要求2所述的便携式真空校准装置，其特征在于，所述真空校准接入端 (304)设有盲板。
4. 根据权利要求1所述的便携式真空校准装置，其特征在于，还包括复合真空计。
5. 根据权利要求4所述的便携式真空校准装置，其特征在于，所述电阻规（204)上设有 一个所述复合真空计。
6. 根据权利要求1所述的便携式真空校准装置，其特征在于，所述分子泵（206)配有加 热装置；所述挡油阱（203)配有加热装置。
7. 根据权利要求1所述的便携式真空校准装置，其特征在于，所述箱体（100)箱壁外壁 上设有控制面板。
8. 根据权利要求7所述的便携式真空校准装置，其特征在于，所述控制面板设有电源 开关和显示屏（108)，所述电源开关包括机械泵电源开关（101)、电磁放气阀 ' 电源开关 (102)、电磁隔断阀V2电源开关（103)、分子泵电源开关（104)、挡油阱加热装置电源开关 (105)、分子泵加热装置电源开关（106)和总电源开关（107)。
9. 根据权利要求1所述的便携式真空校准装置，其特征在于，所述氮气存储装置（211) 为氮气罐。
10. 根据权利要求1所述的便携式真空校准装置，其特征在于，所述机械泵（201)为旋 片式真空泵。
【文档编号】G01L27/00GK204142419SQ201420626228
【公开日】2015年2月4日 申请日期:2014年10月27日 优先权日:2014年10月27日
【发明者】陈俊华 申请人:北京麦克思拓测控科技有限公司