连接连接器的制作方法

一或多个例示性实施例是关于一种连接连接器，且更特定言之，是关于一种可通常在长时间内周期使用而无电性质的恶化的连接连接器。

背景技术：

通常执行电测试以判定诸如制造的半导体装置的测试目标装置的缺陷。举例而言，可通过将测试信号传输至测试装置来判定基板是否短路。测试装置及测试目标装置不直接相互接触，但通过使用叫作连接连接器的中间物而间接地相互接触。

此因为当测试装置的端子直接接触测试目标装置的终端时，在重复测试期间可擦伤或损伤端子。又，若端子受损伤，则测试装置或测试目标装置将必须被替换，所以总成本会增大。因此，当将连接连接器用作中间物时，测试目标装置可接触测试装置的连接连接器。当归因于重复接触而连接连接器受擦伤或损伤时仅需要替换连接连接器，所以可节省总替换成本。

kr10-2006-0013429中揭示的各向异性传导性连接器为连接连接器的实例。

图1以及图2的各向异性传导性连接器(10)由矩形各向异性传导膜(10a)、整体地设置于各向异性传导膜(10a)的一个表面上的薄片状连接器(20)以及支撑各向异性传导膜(10a)的矩形板形支撑部分(30)构成。各向异性传导性连接器(10)中的各向异性传导膜(10a)由分别在厚度的方向上延伸的多个圆柱形传导路径形成部分(11)以及用于将此等传导路径形成部分(11)相互绝缘的绝缘部分(14)构成。在此实例中，根据栅格点的位置按恒定间距安置传导路径形成部分(11)。

薄片状连接器(20)包含可挠性绝缘薄片(21)且设置于各向异性传导膜(10a)上。在绝缘薄片(21)的厚度的方向上延伸的由金属形成的多个电极结构(22)根据对应于将为绝缘薄片(21)中的连接对象的电极的图案的图案在绝缘薄片(21)的平面方向上相互间隔开。又，绝缘薄片(21)具备对应于用于在各向异性传导膜(10a)中耦接的突出部分(15)的用于耦接的多个通孔(26)。

图3中示出的实施例类似于图1以及图2中示出的实施例。然而，图3与图1以及图2的不同之处在于，薄片状连接器(20)具有绝缘薄片(21)，其由其中设置与绝缘薄片(21)的两侧通信的空隙的网状织物、不织布纤维或多孔薄片形成。又，在绝缘薄片(21)的厚度的方向上延伸的由金属形成的多个电极结构(22)根据对应于将为绝缘薄片(21)中的连接对象的电极的图案的图案在绝缘薄片(21)的平面方向上相互间隔开。

在根据现有技术的连接连接器中，当端子触碰电极结构时，测试目标装置或电极结构的端子的表面可受到损伤。详言之，当测试目标装置的金属端子直接触碰由金属形成的电极结构时，两个表面可受到损伤。

损伤的表面可不仅降低连接连接器的耐久性，且也减小导电率。

技术实现要素：

技术的课题

本发明是为了解决上述的问题而做成。一或多个例示性实施例包含一种可在长时间内周期使用而无电性质恶化的连接连接器。

解决问题的手段

根据一或多个例示性实施例，一种配置于测试目标装置与测试装置之间且设置以用于电性连接测试目标装置的端子与测试装置的衬垫的连接连接器，所述连接连接器包含：各向异性传导性薄片，由多个传导性部分构成，其中多个传导性粒子在弹性绝缘材料的区域处的厚度方向上延伸，区域对应于测试目标装置的端子以及配置于传导性部分之间且设置以用于支撑且隔离传导性部分的绝缘支撑部分；薄片状连接器，由设置于各向异性传导性薄片的上表面与下表面之间、插入于各向异性传导性薄片中且具有多个空隙的多孔薄片构成；以及多个电极，对应于传导性部分配置，且与多孔薄片整体耦接。电极中的每一个由金属材料形成且电性连接至传导性部分中的每一个。

电极中的每一个可位于传导性部分的上表面与下表面之间。

每一电极可具有对应于每一传导性部分的水平横截面的板的形状。

传导性部分中的每一个可包括配置于电极上方、接触测试目标装置的端子且由第一传导性粒子构成的第一传导性部分，以及配置于电极下且由第二传导性粒子构成的第二传导性部分。

第一传导性部分的第一传导性粒子的每单位面积的密度可大于第二传导性部分的第二传导性粒子的每单位面积的密度。

第一传导性部分的第一传导性粒子的平均直径可小于第二传导性部分的第二传导性粒子的平均直径。

薄片状连接器的位置可比各向异性传导性薄片的上表面与下表面之间的中间区域高。

薄片状连接器可位于各向异性传导性薄片的上表面与下表面的中间。

可将导引薄片设置于各向异性传导性薄片的上表面上，通过在对应于传导性部分中的每一个的位置处形成通孔，导引薄片导引测试目标装置接触传导性部分。

多孔薄片可包括网状织物或不织布纤维，且多孔薄片的空隙填充有弹性绝缘材料。

根据一或多个例示性实施例，一种配置于测试目标装置与测试装置之间且设置以用于电性连接测试目标装置的端子与测试装置的衬垫的连接连接器，该连接连接器包含：各向异性传导性薄片，包括多个传导性部分，其中多个传导性粒子在弹性绝缘材料的区域处的厚度方向上延伸，区域对应于测试目标装置的端子；薄片状连接器，由设置于各向异性传导性薄片的上表面与下表面之间且插入于各向异性传导性薄片中的多孔薄片构成；以及多个金属电极，与多孔薄片整体耦接且配置于对应于传导性部分中的每一个的位置处，并且埋入于传导性部分中。

金属电极可包含磁性材料。

发明的效果

根据本发明的连接连接器，有弹性的传导性部分提供在由金属材料制成的电极的上侧，可以有利地防止测试装置的端子与电极的损伤。

此外，根据本发明的连接连接器具有设置在所述各向异性导电片材内的网状的薄片状连接器，可以增强整个各向异性导电片材的耐久性。

附图说明

图1为用于描述根据现有技术的连接连接器的实例的图。

图2为图1的一部分的放大图。

图3为用于描述根据现有技术的连接连接器的另一实例的图。

图4说明用于描述根据例示性实施例的连接连接器的图。

图5为图4的连接连接器的操作的例示性视图。

图6至图8为用于描述根据另一例示性实施例的连接连接器的图。

具体实施方式

下文，将参看附图描述根据本发明概念的连接连接器。

根据例示性实施例的连接连接器(100)设置于测试目标装置(140)与测试装置(150)之间，且电性连接测试目标装置(140)的端子(141)与测试装置(150)的衬垫(151)。连接连接器(100)包含各向异性传导性薄片(110)、薄片状连接器(120)以及导引薄片(130)。

当施加压力时，各向异性传导性薄片(110)在厚度方向上具有传导性。各向异性传导性薄片(110)包含多个传导性部分(111)以及多个绝缘部分(114)。

传导性部分(111)为在弹性绝缘材料中的厚度方向上延伸的多个传导性粒子配置于对应于测试目标装置(140)的端子(141)的任何地方之处。弹性绝缘材料可为具有桥接器结构的聚合物材料。可使用固化聚合物质形成材料来获得弹性绝缘材料。材料的实例可包含：共轭二烯类橡胶(conjugateddiene-basedrubber)，诸如，聚丁二烯橡胶(polybutadienerubber)、天然橡胶(naturalrubber)、聚异戊二烯橡胶(polyisoprenerubber)、苯乙烯-丁二烯共聚物橡胶(styrene-butadienecopolymerrubber)、丙烯腈-丁二烯共聚物橡胶(acrylonitrile-butadienecopolymerrubber)以及其氢化产物；嵌段共聚物橡胶(blockcopolymerrubber)，诸如，苯乙烯-丁二烯-二烯嵌段三元共聚物橡胶(styrene-butadiene-dieneblockterpolymerrubber)、苯乙烯-异戊二烯嵌段共聚物(styrene-isopreneblockcopolymer)以及其氢化产物；以及氯丁二烯橡胶(chloroprenerrubber)、胺基甲酸酯橡胶(urethanerubber)、聚酯类橡胶(polyester-basedrubber)、表氯醇橡胶(epichlorohydrinrubber)、硅酮橡胶(siliconerubber)、乙烯-丙烯共聚物橡胶(ethylene-propylenecopolymerrubber)、乙烯-丙烯-二烯三元共聚物橡胶(ethylene-propylene-dieneterpolymerrubber)以及类似的。

如上所述，当各向异性传导性薄片(110)必须防风雨时，必须使用不同于共轭二烯类橡胶的材料。详言之，考虑到模制以及处理性质以及电性质，可使用硅橡胶。

传导性粒子(112a)以及(113a)可为磁性粒子。传导性粒子(112a)以及(113a)的实例可包含磁性金属的粒子，诸如，铁、钴、镍、其合金或含有此等金属的粒子；以上粒子中的一个为核心粒子且镀有诸如金、银、钯、铑或类似金属的高传导性金属的粒子；或非磁性金属粒子、无机物质粒子(诸如，玻璃珠粒或聚合物粒子)为核心粒子且具有镀有诸如镍、钴或类似金属的传导性磁性金属的核心粒子的表面的粒子。

详言之，镍粒子可用作核心粒子，且可将具有高度传导性的金镀于核心粒子的表面上。

可使用诸如化学电镀、电解电镀、溅镀以及沉积的方法来涂布核心粒子的表面。然而，方法并不限于此。

当镀有传导性金属的核心粒子用作传导性粒子(112a)以及(113a)时，传导性金属在粒子的表面上的涂布率(传导性金属的涂布面积对核心粒子的表面积的比率)可较佳地为至少40％、较佳地至少45％，或详言之，较佳地至少47％至95％，使得可获得高传导率。

传导性金属的涂布量可较佳地为核心粒子的0.5重量％至50重量％，更佳地为2重量％至30重量％，再更佳地为3重量％至25重量％，或详言之，较佳地为4重量％至20重量％。当待涂布的传导性金属为金时，涂布量可较佳地为核心粒子的0.5重量％至30重量％，更佳地为2重量％至20重量％，或再更佳地为3重量％至15重量％。

归因于以下将描述的薄片状连接器(120)的电极(122)，传导性部分(111)包含第一传导性部分(112)以及第二传导性部分(113)。第一传导性部分(112)在电极(122)上方，可接触测试目标装置(140)的端子(141)，且包含第一传导性粒子(112a)。第二传导性部分(113)在电极(122)下且包含第二传导性粒子(113a)。弹性绝缘材料与第一传导性部分(112)以及第二传导性部分(113)的传导性粒子可由相同材料形成。然而，第一传导性部分(112)的第一传导性粒子(112a)的每单位面积的密度大于第二传导性部分(113)的第二传导性粒子(113a)的每单位面积的密度。第一传导性部分(112)的第一传导性粒子(112a)的平均直径可小于第二传导性部分(113)的第一传导性粒子(112a)的平均直径。意即，可将小粒子密集地配置于电极(122)上方的第一传导性部分(112)中以当电极(122)上方的测试目标装置(140)的端子(141)接触第一传导性部分(112)时，改良测试目标装置(140)的端子(141)与电极(122)之间的电性连接。

薄片状连接器(120)包含多孔薄片(121)以及电极(122)。

多孔薄片(121)在各向异性传导性薄片(110)的上表面与下表面之间。多孔薄片(121)经插入于各向异性传导性薄片(110)中且包含多个空隙。空隙填充有弹性绝缘材料，使得多孔薄片(121)整体耦接至各向异性传导性薄片(110)。多孔薄片(121)可通过使用诸如网状织物或不织布纤维的材料形成。网状织物或不织布纤维可形成有有机纤维。有机纤维的实例可包含氟树脂纤维，诸如，聚四氟乙烯纤维(polytetrafluoroethylenefiber)、芳酰胺纤维(aramidfiber)、聚乙烯纤维(polyethylenefiber)、聚芳酯纤维(polyarylatefiber)、尼龙纤维(nylonfiber)、聚酯纤维(polyesterfiber)及类似的。又，有机纤维可具有与连接目标对象的材料的线性热膨胀系数精确或大致相同的线性热膨胀系数。举例而言，材料的线性热膨胀系数可为30×10^-6至-5×10^-6/k，详言之，10×10^-6至-3×10^-6/k。接着，有可能抑制各向异性传导膜的热膨胀。因此，可稳定地维持在连接目标对象上的良好电性连接状态，甚至当归因于温度改变接收到热历程时。又，有机纤维可具有10μm至200μm的直径。

电极(122)设置于对应于传导性部分(111)的位置处，且整体耦接至多孔薄片(121)。电极(122)可通过在厚度方向上穿过多孔薄片(121)而耦接至多孔薄片(121)。通过用金属材料填充金属多孔薄片(121)的空隙，将电极(122)稳定地固定至多孔薄片(121)。电极(122)形成为具有对应于传导性部分(111)的圆形横截面的板(圆形板)。电极(122)可设置于传导性部分(111)的上表面与下表面之间且将传导性部分(111)分成第一传导性部分(112)以及第二传导性部分(113)。

电极(122)可包含诸如镍、铜、金、银、钯或铁的金属。可完全通过使用单一类型的金属或两个或两个以上类型的金属的合金形成电极(122)。替代地，电极(122)可通过堆叠两个或两个以上类型的金属而形成。

又，可通过化学稳定且具有传导性的金属(例如，金、银或钯)涂布电极(122)的表面，以便防止氧化且减小电极(122)的接触电阻。

导引薄片(130)设置于各向异性传导性薄片(110)上。可通过在对应于传导性部分(111)中的每一个的位置处形成通孔(131)来形成导引薄片(130)，以导引测试目标装置(140)接触传导性部分(111)。

导引薄片(130)可包含任何可挠性以及可模制合成树脂材料，例如，诸如聚酰亚胺树脂(polyimideresin)或环氧树脂(epoxyresin)的热固性树脂；诸如聚对苯二甲酸亚乙酯树脂(polyethyleneterephthalateresin)或聚对苯二甲酸丁二酯树脂(polybutyleneterephthalateresin)的聚酯树脂；或诸如聚氯乙烯树脂(polyvinylchlorideresin)、聚苯乙烯树脂(polystyreneresin)、聚丙烯腈树脂(polyacrylnitrileresin)、聚乙烯树脂(polyethyleneresin)、聚丙烯树脂(polypropyleneresin)、丙烯酸系树脂(acrylicresin)、聚丁二烯树脂(polybutadieneresin)、聚苯醚(polyphenyleneether)、聚苯硫醚(polyphenylenesulfide)、聚酰胺(polyamide)或聚甲醛(polyoxymethylene)的热塑性树脂。

连接连接器(100)可具有如下效应。

首先，在传导性部分(111)正触碰测试装置(150)的衬垫(151)时，将连接连接器(100)安装于测试装置(150)上。接下来，降低测试目标装置(140)，使得测试目标装置(140)的端子(141)接触连接连接器(100)的传导性部分(111)。当进一步降低测试目标装置(140)且在厚度方向上按压用于连接的传导性部分(111)时，传导性部分(111)的传导性粒子(112a)与(113a)相互接触。因此，传导性部分(111)变得具导电性。

在此状态中，当测试装置(150)施加电信号时，在经由传导性部分(111)以及电极(122)将信号传输至测试目标装置(140)时，执行电测试。

在根据例示性实施例的连接连接器(100)中，可改良各向异性传导性薄片(110)的耐久性，因为将薄片状连接器(120)设置于各向异性传导性薄片(110)内部。意即，由于由网状织物或不织布纤维形成的薄片状连接器(120)设置于由硅橡胶形成的各向异性传导性薄片(110)内部，因此可改良各向异性传导性薄片(110)的耐久性。

详言之，通过防止各向异性传导性薄片(110)在垂直于厚度方向的平面方向上过度扩展，可防止各向异性传导性薄片(110)的传导性部分(111)受到损伤。

又，由于将薄片状连接器(120)的电极(122)埋入于传导性部分(111)内部，因此电极(122)不直接接触测试目标装置(140)的端子(141)，且因此，防止电极(122)以及端子(141)受到损伤。意即，虽然根据本例示性实施例，当皆由金属材料形成的电极(122)以及端子(141)直接相互接触时端子(141)或电极(122)的表面可能损伤，但因为将为弹性且可模制的传导性部分(111)设置于电极(122)上方，所以可防止电极(122)以及端子(141)受到损伤。

又，归因于与测试目标装置(140)的端子(141)的频繁接触，在电极(122)上方的传导性部分(111)也可能损伤。然而，由于包含相对稳定的薄片状连接器(120)，因此即使当传导性部分(111)的上部部分受到损伤时，电极(122)仍可直接接触测试目标装置(140)的端子(141)且维持导电率。

在根据以上例示性实施例的薄片状连接器中，第一传导性部分中的第一传导性粒子小于第二传导性部分中的第二传导性粒子，且比第二传导性粒子密集地配置第一传导性粒子。

然而，如在图6的连接连接器(200)中，第一传导性部分(212)的第一传导性粒子(212a)与第二传导性部分(213)的第二传导性粒子(213a)可具有相同的大小以及密度分布。意即，当将薄片状连接器(220)设置于各向异性传导性薄片(210)中且第一传导性部分(212)以及第二传导性部分(213)分别位于电极的上部区域以及下部区域中时，第一传导性部分(212)的第一传导性粒子(212a)与第二传导性部分(213)的第二传导性粒子(213a)可具有相同的大小以及密度。

图4以及图5的例示性实施例描述薄片状连接器位置比各向异性传导性薄片的上表面与下表面之间的中间区域稍高的实例。然而，例示性实施例不限于此，且可如图7中所示出修改薄片状连接器。

举例而言，在图7的连接连接器(300)中，薄片状连接器(320)位于各向异性传导性薄片(310)的上部部分与下部部分之间的中间区域处。

又，根据另一例示性实施例，在图8的连接连接器(400)中，薄片状连接器(420)的位置可比在各向异性传导性薄片(410)的上部部分与下部部分之间的中间区域高或低。

根据另一例示性实施例，虽然未说明，但传导性部分的上部末端可突出。意即，虽然图4以及图5的例示性实施例示出传导性部分的上部末端与绝缘支撑部分的上部末端齐平，且传导性部分的上部末端可突出于绝缘支撑部分的上部末端上方。

虽然已参看诸图描述一或多个例示性实施例，但一般本领域相关技术人员将理解，可在不脱离如由所附权利要求书所定义的本发明概念的精神以及范畴的情况下在其中进行形式以及细节的各种改变。