技术总结
本发明涉及一种薄膜温度传感器及制备方法，该薄膜温度传感器至少包括：基片；薄膜热电偶，其通过离子束溅射沉积技术在所述基片上形成；所述薄膜热电偶包括正极热电偶膜和负极热电偶膜，所述正极热电偶膜和负极热电偶膜的内端对接形成热电偶接点；焊盘膜，其通过离子束溅射沉积技术在正极热电偶膜和负极热电偶膜的外端上形成，用于与外接引线连接；保护膜，其通过离子束溅射沉积技术覆盖在所述薄膜热电偶上，并覆盖薄膜热电偶所在基片区域表面。本发明使用离子束溅射沉积技术制备薄膜温度传感器，制备的各层薄膜密度高、附着力强，镀覆的薄膜热电偶厚度小，对温度的响应时间快，并且热电偶封装以后体积小，测量精度高。
技术研发人员：刁克明
受保护的技术使用者：北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司
文档号码：201610790145
技术研发日：2016.08.31
技术公布日：2016.12.07