技术总结
本发明公开了一种单列式二维时栅直线位移传感器，包括定尺和动尺，定尺包括定尺基体和采用矩形波绕线的第一、第二激励线圈，动尺包括动尺基体和采用半正弦绕线方式绕制的第一、第二、第三、第四感应线圈；第一、第二激励线圈中通入激励电流，当动尺相对定尺运动时，第一、第二、第三、第四感应线圈输出四路感应信号，第一感应线圈输出的感应信号移相90°后与第二感应线圈输出的感应信号叠加形成X向行波信号，第三感应线圈输出的感应信号移相90°后与第四感应线圈输出的感应信号叠加形成Y向行波信号，再与同频率参考信号进行比相，相位差由插补的高频时钟脉冲个数表示，经换算后得到X、Y方向的直线位移。该传感器结构简单，测量分辨力高。
技术研发人员：杨继森;张静;高义;李明;李路健;邵争光
受保护的技术使用者：重庆理工大学
文档号码：201610815505
技术研发日：2016.09.09
技术公布日：2017.02.22