气体分析装置的制作方法

文档序号:11588025阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明提供一种气体分析装置,利用对测量光的吸光,高精度地分析对象气体。气体分析装置(100)包括多个光源(1‑1、1‑2、……1‑n)、导入部(5)、受光部(7)和分析部(94),多个光源(1‑1、1‑2、……1‑n)分别同时输出测量光(Lm1、Lm2、……Lmn)。导入部(5)将多种测量光(Lm1、Lm2、……Lmn)导入测量空间(S)。受光部(7)测量合计强度(Im)。分析部(94)基于多种测量光经过存在多种对象气体中的任意的对象气体的测量空间(S)时由受光部(7)测量的作为合计强度(Im)的测量对象强度(Id)与多种测量光经过不存在多种对象气体中的任意的对象气体的测量空间(S)时由受光部(7)测量的作为合计强度(Im)的基准强度(Id)之差,进行对象气体的分析。

技术研发人员:井户琢也
受保护的技术使用者:株式会社堀场制作所
技术研发日:2016.10.25
技术公布日:2017.08.08
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