一种基于双层石墨烯的生物传感器芯片的制作方法

文档序号:12712801阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于双层石墨烯的生物传感器芯片,包括生物传感层,其特征在于,还包括棱镜和夹设于棱镜和生物传感层之间的硅片;所述棱镜与硅片相接的侧面上设置有氟树脂层,所述硅片与生物传感层相接的侧面上设置有双层石墨烯层。

2.根据权利要求1所述的基于双层石墨烯的生物传感器芯片,其特征在于,所述棱镜为半圆柱形玻璃棱镜。

3.根据权利要求1所述的基于双层石墨烯的生物传感器芯片,其特征在于,所述双层石墨烯层为两层贴合的单层石墨烯层。

4.根据权利要求3所述的基于双层石墨烯的生物传感器芯片,其特征在于,每层单层石墨烯层的厚度为0.34nm。

5.根据权利要求1所述的基于双层石墨烯的生物传感器芯片,其特征在于,所述氟树脂层的折射率为1.34。

6.根据权利要求1所述的基于双层石墨烯的生物传感器芯片,其特征在于,所述氟树脂层的厚度为3000nm。

7.根据权利要求1所述的基于双层石墨烯的生物传感器芯片,其特征在于,所述硅片的厚度为10nm。

8.根据权利要求1所述的基于双层石墨烯的生物传感器芯片,其特征在于,所述生物传感层的折射率为1.34。

9.根据权利要求1或2所述的基于双层石墨烯的生物传感器芯片,其特征在于,所述棱镜的材料为SF10玻璃。

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