检查系统、检查装置的控制方法及计算机可读存储介质与流程

本发明涉及安装有部件的物品的检查技术。

背景技术：

作为用于检查部件在基板上的安装状态等的装置，广泛使用自动外观检查装置。在这样的装置中，利用传感器获取安装有部件的基板(包括软钎焊前的状态的基板)的外观信息，并且对每个部件测量与该部件对应的项目。然后，将得到的测量值与规定的标准值进行核对来辨别合格品和不合格品。

因此，在实施检查之前，需要对每个部件编号设定检查项目、关于该项目的标准值，并且需要将这些以检查装置可参照的状态进行登记。

此处，若设定的检查项目、标准值不合适，则发生将实际上是合格品的部件判断为不合格品的“错检”，将实际上是不合格品的部件判断为合格品的“漏检”。

“错检”导致检查效率下降，“漏检”使后续工序中的工作效率下降，两者均成为增加制造工序费用的原因，因此使“错检”和“漏检”都要最小化为好。

然而，为了减少“漏检”而将检查内容设定得严格，则“错检”增加，为了减少“错检”而将检查内容设定得不严格，则“漏检”增加，因此需要设定合适的检查项目和检查标准。

关于这样的检查标准的设定，自以前开始就公开有以减轻用户负担为目的的发明。例如，在专利文献1中公开了如下的检查标准的设定方法。即，对检查标准数据的设定对象的每个部件，预先登记外观信息与符合该外观信息的检查标准数据的多个组合模式，将处理对象的部件的合格品图像显示在画面上，并且在同一个画面上显示基于对处理对象的部件登记的外观信息设置的选择项，用户进行选择操作时，读取与所选择的项对应的检查标准数据，其中，外观信息表示该部件与基板之间的色彩的关系，或者图像中该部件附近的色彩的特征。

若如此操作，从实际的合格品模型的图像，选择与能够确认的外观对应的选择项，从而能够设定符合该外观的检查标准数据，因此对缺乏设定处理有关的知识、经验的用户而言，也能够简单地设定合适的检查标准数据。

然而，即使利用了上述方法，为得到符合合格品的外观信息且能够防止发生“错检”的合适的检查标准数据，最终也需要较长时间收集(尤其是不合格品的)数据，对实现检查标准数据的最佳化而言耗费时间。

另外，即使是相同编号的部件，随着制造批次不一样，有时全部或一部分的色调不一样，或者打出的文字的字体、字号(包括粗细)不一样。而且，虽然在实际的产品之间不存在任何差异，但有时因为光源差等检查环境的变化，所获取的检查图像与检查标准的设定当初不一样的情况。在这样的情况下，必须随时修正检查标准数据。

专利文献1：日本特开2008-32525号公报(日本特许第4788517号公报)

基于以上的原因，平时进行检查项目和检查标准数据的修正，例如由于数据发生了变更而“错检”明显增加的情况下，考虑立即将设定恢复为原状。然而现状是，即使在这样的情况下，也必须从头开始重新设定检查标准数据，而且不容易确认变更前的设定，因此存在应对“错检”需要时间的问题。

另外，有这样的需求，即追溯确认由谁、在何时、以何种观点和意图进行了成为“错检”、“漏检”的原因的检查标准数据的设定(更新)，但存在现有技术无法进行这样的确认的问题。

另外，在后续工序中发现了不合格品的情况下，需要确认漏检该不合格品时的设定，需要追溯确认成为“漏检”的原因的项目和标准是哪些，使用该标准进行检查的期间是何时等，但现状是存在确认这样的信息费时费工的问题。

技术实现要素：

本发明是鉴于如上所述的实际情况提出的，其目的在于，提供物品的检查中所使用的技术，利用该技术能够容易地确认每个部件的检查项目和/或检查标准的设定内容的历史记录。

为了实现所述目的，本发明采用如下的结构。

本发明的检查系统是对安装有部件的物品进行检查的检查系统，其特征在于，所述检查是利用检查内容数据和/或检查程序来进行的，该检查内容数据包括对每个部件编号设定的检查项目和/或检查标准，该检查程序基于所述检查内容数据来判断物品品质；该检查系统具有：存储部，其在每次修订时存储并保持所述检查内容数据和/或所述检查程序；处理部，其从所述存储部读取任意修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序；以及输出部，其输出所读取的检查内容数据和/或所述检查程序。

利用这样的结构，能够任意地读取所存储的每次修订的检查内容数据和检查程序(以下，简称为检查内容和程序)，因此能够提供能够容易地确认过去的检查设定的检查系统。

另外，在所述存储部可以保持有每次修订的注释，所述处理部也可以读取任意修订的注释，并且所述输出部也可以输出所读取的任意修订的注释。

如此地，在每次修订时，存储该变更时的注释，通过参照关于任意修订的注释，能够容易地确认过去以何种意图更新检查内容和程序。

另外，所述处理部也可以读取任意多次修订中的所述检查内容数据和/或所述检查程序，并且所述输出部也可以同时输出多次修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序。

通过采用这样的结构，能够更明确地掌握所选择的修订之间的检查内容和程序的差异及其差异的程度。

另外，所述处理部也可以对多次修订之间的所述检查内容数据和/或所述检查程序的差分进行检测，并且所述输出部也可以可视地输出该差分。通过采用这样的结构，能够迅速并容易地掌握修订之间不同的项目及其标准。

另外，所述处理部也可以实施基于所读取的任意修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序的模拟检查，并且所述输出部也可以输出该模拟检查的结果。

通过如此操作，不进行实际的检查，也能够用过去的各次修订的检查内容和程序，对特定的对象调查是否发生“错检”、“漏检”。

另外，所述处理部实施基于所读取的任意多次修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序的内容的多次模拟检查，所述输出部也可以同时输出该多次模拟检查的结果。

若如此操作，则能够在不同条件下有效地进行模拟，而且还能够容易地比较模拟结果。

另外，所述检查系统还具有输入部，所述处理部也可以基于所读取的一次以上的任意修订中的任一次修订的检查内容数据和/或检查程序的全部或一部分，和/或从所述输入部输入的内容，对检查内容数据、检查程序、注释中的至少一方进行编辑，并且将该编辑的内容登记在所述存储部。

若如此操作，不仅能够参照过去修订的检查内容和程序，还能够对其进行输入或编辑之后登记在存储部。另外，通过基于过去修订的检查内容和程序进行编辑，不用人的手预先重新设定检查内容和程序，也能够用所需最小限的作业更新检查内容和程序。

另外，所述处理部对编辑中的检查内容数据和/或检查程序与任意修订的检查内容数据和/或检查程序的差分进行检测，所述输出部也可以可视地输出该差分。

通过如此操作，能够容易地确认是否存在编辑中的误操作导致的变更或者是否完全进行了所需的变更等。

本发明的检查装置的控制方法是安装有部件的物品的检查中所使用的检查装置的控制方法，其特征在于，包括：设定读取步骤，从数据库读取任意修订的检查内容数据和/或检查程序，该数据库在每次修订时存储存储所述检查内容数据和/或所述检查程序，该检查内容数据包括对每个部件编号设定的检查项目和/或检查标准，该检查程序基于所述检查内容数据来识别物品品质，以及输出步骤，输出所读取的任意修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序。

需要说明的是，所述控制方法也可以在所述设定读取步骤中，读取任意多次修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序，在所述输出步骤中，同时输出所读取的多次修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序。

另外，所述控制方法还包括：差分检测步骤，检测所读取的任意多次修订之间的所述检查内容数据和/或所述检查程序的差分，在所述输出步骤中，可视地输出该差分。

另外，所述控制方法也可以还包括：模拟步骤，实施基于所读取的任意修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序的模拟检查；以及模拟结果输出步骤，输出该模拟检查的结果。

另外，所述控制方法也可以实施基于所读取的任意多次修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序的多次模拟检查，在所述模拟结果输出步骤中，同时输出该多次模拟检查的结果。

另外，所述控制方法也可以还包括：接受设定输入的步骤，接受关于所述检查内容数据和/或所述检查程序的输入；设定编辑步骤，基于在所述设定读取步骤中读取的一次以上的任意修订中的任一次修订的所述检查内容数据和/或所述检查程序的全部或一部分，和/或在所述接受设定输入的步骤中接受的信息，对检查内容数据、检查程序、注释中的至少一方进行编辑；以及检查设定登记步骤，将在所述设定编辑步骤中编辑的信息登记在所述数据库。

另外，所述控制方法也可以在所述设定编辑步骤中，对编辑中的检查内容数据和/或检查程序与任意修订的检查内容数据和/或检查程序的差分进行检测，并且可视地输出该差分。

本发明的计算机可读存储介质中存储有在检查装置中执行来实现所述检查装置的控制方法中的各个步骤的程序。

此外，本发明可以被视为具有上述构成或功能的至少一部分的检查系统。另外，本发明还可以被视为包括上述处理中的至少一部分的检查系统的控制方法，或者用于将这样的方法在计算机(处理器)中执行的程序、，或者将这样的程序非临时地存储的计算机可读取存储介质。另外，在本发明中，所述部件为电子部件，可将所述物品设定为基板。而且，上述各个构成和处理只要在技术上不产生矛盾，就可以互相组合而构成本发明。

根据本发明，能够容易地确认基板检查中所使用的每个部件的检查项目和/或检查标准的设定内容的历史记录。

附图说明

图1是示出第一实施例的基板检查系统的硬件结构的图。

图2是表示第一实施例的基板检查系统的功能的框图。

图3是示出利用第一实施例的基板检查系统来应对错检的经常发生的处理的流程的流程图。

图4是示出利用ui控制部显示在输出部的、部件编号表窗口的一个例子的图。

图5是表示在第一实施例的基板检查系统中选择了特定的部件编号并且在编号内容编辑窗口中选择了部件信息标签的状态的显示画面的图。

图6是表示在第一实施例的基板检查系统中选择了特定的部件编号并且在编号内容编辑窗口中选择了检查内容标签的状态的显示画面的图。

图7是表示将所选择的修订的检查内容与最新的检查内容之间存在差分的项目的内容突出显示的状态的显示画面的一个例子的图。

图8是表示第一实施例的变形例的显示画面的图。

图9是示出第二实施例的基板检查系统的功能的框图。

图10是表示利用第二实施例的基板检查装置来确定不良漏检的检查期间的处理流程的流程图。

图11是表示在第二实施例的教学终端中选择了编号内容编辑窗口的模拟标签时的显示画面的图。

图12是表示图10的流程中的子程序的流程图。

图13是表示图10的流程中的子程序的流程图。

附图标记说明

1：教学终端，2：数据管理服务器，3：基板检查装置，11：用户界面控制部，12：读取处理部，13：编号历史处理部，14：登记处理部，15：检查程序处理部，16：模拟检查处理部，21：基板信息存储部，22：部件信息存储部，23：检查程序存储部，24：检查内容数据存储部，25：检查历史存储部。

具体实施方式

下面，参照附图，根据实施例，例示性地详细说明用于实施本发明的方式。需要说明的是，下面对安装有电子部件的基板的检查系统进行说明，但本发明的对象不限于基板的检查，也可以将其它物品作为检查对象。另外，对于本实施例中记载的构成部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等而言，只要没有特别的记载，本发明的范围就不限于此。

＜第一实施例＞

图1示出本实施例的基板检查系统9的硬件结构例。该实施例的基板检查系统9是教学终端1、数据管理用服务器2、基板检查装置3经由通信线路彼此连接而构成的。

作为教学终端1，典型的有包括显示监控器等输出部101，键盘、鼠标等输入部102，ram等存储器103，cpu等处理部104的固定式终端，但也可以是移动式终端、平板式终端，也可以与检查装置3一体地构成。

教学终端1除了应用于检查装置3中使用的检查程序的制作(包括修正，以下相同)、检查内容数据的设定(包括变更，以下相同)以外，还应用于保存在数据管理用服务器2中的基板信息、部件信息、编号信息的登记这样的作业。

在数据管理用服务器2中存储有多种数据，除了保存有上述检查程序、规定了每个部件的检查项目和检查标准的检查内容数据以外，还登记了教学终端1中的处理所需的各种信息。

基板检查装置3(以下，简称为“检查装置3”)对经过了部件安装工序或回流焊工序的部件安装基板进行摄像，并且使用预先登记的检查程序，对生成的图像进行处理，从而判断基板上的部件安装状态的良好或不良。作为为此的硬件结构，包括基板保持部、摄像传感器、照明装置、ram、cpu等。另外，也可以包括监控器等输出部、鼠标等输入部。

图2是表示上述检查内容数据的制作相关的教学终端1、数据管理用服务器2以及检查装置3的功能的功能框图。

在数据管理用服务器2中，设置有基板信息存储部21、部件信息存储部22、检查程序存储部23、检查内容数据存储部24、检查历史存储部25等。

在基板信息存储部21中，保存有包括基板颜色、安装部件、部件位置等信息的基板信息表211以及包括基板的合格品模型图像、不合格品实际图像的基板图像数据库212等。

在部件信息存储部22中，保存有包括部件编号、部件种类、颜色、形状、电极信息、使用基板等信息的部件信息表221以及包括部件的每个编号的合格品模型图像、不合格品实际图像的部件图像数据库222等。

在检查程序存储部23中，保存有各个基板的检查程序表231以及在每次修订(revision，リビジョン)时存储检查程序的变更历史的检查程序历史数据库232等。

在检查内容数据存储部24中，保存有检查内容数据表241和检查内容历史数据库242等，该检查内容数据表241包括对部件的每个编号设定的检查项目和检查标准，该检查内容历史数据库242在每次修订时存储部件的每个编号的检查内容数据的设定历史以及与之对应的注释。

在检查历史存储部25中，保存有利用检查装置3实施的检查结果、检查图像等。

这些各种信息起到能够彼此参照并联动的所谓的关系数据库的功能。

在检查装置3中，从检查程序存储部23读取与检查对象的基板对应的检查程序，并且从检查内容数据存储部24读取与检查对象的基板对应的检查内容数据来进行检查。一系列的检查的结果、检查时生成的图像等从检查装置3被发送到数据管理用服务器2，并存入检查历史存储部25。

在教学终端1中，设定有用户界面(以下，记为ui)控制部11、读取处理部12、编号历史处理部13、登记处理部14、检查程序处理部15等功能。

ui控制部11显示作业画面，接受用户的操作，并且与其它的处理部12～14协同来进行适应操作的处理。

读取处理部12从基板信息存储部21、部件信息存储部22读取ui控制部11和检查程序处理部15的处理所需的信息，并且提供给ui控制部11和检查程序处理部15。

编号历史处理部13从检查内容历史数据库242读取ui控制部11的处理所需的信息并提供给ui控制部11，并且从登记处理部14接受信息来变更检查内容历史数据库242的信息。

登记处理部14从ui控制部11接受设定信息，并转给编号历史处理部13和检查程序处理部15的同时，对检查内容数据表241的信息进行变更。

检查程序处理部15从读取处理部12接受所需的信息并且从登记处理部14接受设定信息，基于此，制作基板的检查程序之后，在检查程序存储部23中登记该信息。需要说明的是，本实施例中的检查程序基于检查逻辑判断基板的良好或不良，该检查逻辑是安装在基板上的部件的位置信息上附加对部件的每个编号设定的检查内容数据而成的。

下面，应对经常发生检查的“错检”的情况，使用将最近变更的检查内容数据恢复为过去修订的设定时的例子，对本实施例的基板检查装置中的处理流程和显示画面结构例进行说明。

图3是表示使用本实施例的基板检查装置来应对经常发生的检查的“错检”而将最近变更的检查内容数据恢复为过去修订的设定时的处理流程的流程图。图4是利用ui控制部11显示在输出部101的部件编号表画面的一个例子。图5是在选择了特定的部件编号的情况下显示的初始画面的一个例子。图6是从图5的显示将编号内容编辑窗口的显示切换为检查内容标签的画面的一个例子。

首先，ui控制部11将部件编号表51显示在作为输出部101的监控器中(步骤s101)(参照图4)。然后，由用户指定可设定检查内容的部件编号时(步骤s102)，ui控制部11制作被指定的部件编号用检查内容历史表52和编号内容编辑窗口53，并且将它们显示在输出部101中(步骤s103)(参照图5)。需要说明的是，在初始状态的显示画面中，自动地选择最新的修订内容，在编号内容编辑窗口53反映并显示其内容。

如图5所示，与该编号的检查内容的修订次数对应，在检查内容历史表52显示修订号(rev.)、设定了该修订内容的日期时间、进行了该修订的设定的用户名、该修订设定时的注释、修订选择用单选按钮这些各项。

另外，编号内容编辑窗口53随着部件信息标签531与检查内容标签532的切换，所显示的内容发生变化，在选择部件信息标签531时，如图5所示，显示部件种类、部件颜色等部件信息，对每个电极组显示该部件所具有的电极的信息的电极信息，以及该部件的合格品模型的图像等。在选择检查内容标签532时，在编号内容编辑窗口53显示该部件编号的检查项目、与项目对应的检查标准值、合格品模型的测量值、合格品模型图像等。

接着，ui控制部11接受对显示画面的用户操作，用户从检查内容历史表52点击最新修订的前一次修订的单选按钮(步骤104)。然后，ui控制部11将该选择信息转给编号历史处理部13，编号历史处理部13从检查内容历史数据库242读取相关的修订检查内容数据(步骤s105)。然后，编号历史处理部13对读取的修订检查内容数据与最新修订的检查内容数据进行比较，检测出差分(步骤s106)。而且，将读取的修订检查内容数据和检测出的差分的内容转给ui控制部11，ui控制部11将从编号历史处理部13接受的数据的内容显示在输出部101(步骤s107)。

此时，在显示于编号内容编辑窗口53的各项中，突出地显示与最新的修订内容存在差分的项目的内容(参照图7)。需要说明的是，如图7所示，突出显示的方法除了利用粗体字表示以外，还可以使用字体颜色的变更、画阴影线等，也可以组合使用这些。

此处，判断是否突出地显示发生错检的项目(步骤s108)，在没有突出显示该项目的情况下，即在最新的修订与所选择的修订之间，在发生错检的项目不存在差分的情况下，用户从检查内容历史表52进一步点击再前一次修订的单选按钮(步骤s109)。接受该用户的操作的ui控制部11将该信息转给编号历史处理部13，编号历史处理部13从检查内容历史数据库242读取符合的修订检查内容数据，并且检测出该检查内容与最新修订的差分，并且将这些信息转给ui控制部11(步骤s105～s107)。

如此操作，直至在步骤s108中突出显示发生错检的项目为止，即在最新的修订与所选择的修订之间，在发生错检的项目出现差分为止，反复进行步骤s105至s109的处理。

另一方面，在步骤s108中，在突出显示发生错检的项目的情况下，用户点击显示画面右下的“确定”按钮(步骤s110)。此处，ui控制部11也可以显示对话框等，向用户要求输入对检查内容变更的备注(注释)。

于是，ui控制部11将选择的过去修订检查内容数据转让给登记处理部14，在之前的步骤中用户输入注释的情况下，将注释数据转让给登记处理部14，登记处理部14基于接受的该信息，对检查内容数据表241的信息进行变更(步骤s111)。

接着，登记处理部14将在步骤s111中接受的信息转给编号历史处理部13和检查程序处理部15。然后，基于此，利用登记历史管理部13进行检查内容历史数据更新处理(步骤s112)并且利用检查程序处理部15进行检查程序更新处理(步骤s113)，结束流程。

通过如本实施例那样的构成，对部件每个编号的检查内容，能够容易地参照过去的任意的修订，并且根据需要能够提供能够恢复到过去的检查内容的设定的基板检查用装置。另外，由于在每次更新修订时，能够记录其日期时间、负责人，并且利用注释来记录更新的意图等，因此能够容易地掌握何时、谁以何种目的变更检查内容的情况，对检查内容的设定是有用的。

＜变形例＞

需要说明的是，在上述步骤s111中，将所选择的修订检查内容数据直接作为最新修订的检查内容数据进行更新，但无需如此操作，也可以用所选择的修订的内容仅更新发生错检的项目的值。即，也可以用最新的修订的内容保持该项以外的检查内容数据。

若如此操作，则能够防止由于将发生错检的项目以外的检查内容恢复到过去的修订的设定而产生的不良情况(例如，其它原因导致的错检的发生、漏检的发生等)的发生。

另外，在上述步骤s110中，在点击确认按钮之前，用户也可以任意地编辑所显示的检查内容数据。若如此操作，则与直接使用过去的修订的检查内容数据相比，能够实现精密的设定变更。

另外，在进行这样的编辑作业时，也可以突出显示编辑中的检查内容数据与任意修订的检查内容数据的差异。此处，任意的修订不限于调用的修订，例如也可以是最新的修订。

若如此操作，则能够容易地确认是否存在误操作导致的变更或者是否进行了所需的变更。

另外，在本实施例中，能够选择的检查内容的修订为一个，在输出部101显示的编号内容编辑窗口也是与该修订的检查内容对应的编辑窗口，但如图8所示，也可以选择多个并同时显示。而且，所显示的多次修订的检查内容可以是最新修订的检查内容和任意修订的检查内容，也可以是过去的任意的修订彼此的对比显示。

若是这样的构成，则能够更明确地掌握所选择的修订间的检查内容的差异及其差异的程度。

另外，本实施例的基板检查系统9是教学终端1、数据管理用服务器2、基板检查装置3经由通信线路彼此连接而构成的系统，但基板检查装置3对本发明而言不是必须的结构，也可以是与此独立的结构。而且，也可以是将数据管理用服务器2的功能集成到设置于教学终端1内部的存储装置的结构。

另外，在本实施例中，作为基板检查系统9的输出部101，采用了监控器，但也可以与该监控器一起或者代替该监控器使用例如打印机等。

＜第二实施例＞

基于图9～图13对本发明的基板检查系统9的其它实施例进行说明。需要说明的是，本实施例的基板检查系统9的基本结构与上述第一实施例的基板检查系统9的基本结构相同，共通的部分较多，因此对这样的部分标注相同的附图标记而省略说明。

如图9所示，本实施例的基板检查系统9在第一实施例的基板检查装置的结构的基础上，在教学终端1的处理部设定有模拟检查处理部16。模拟检查处理部16的功能是：基于任意选择的修订的检查内容数据，对被提供的图像数据实施模拟检查，并且将检查结果提供给ui控制部11。

根据该功能，即使不进行实际的检查，也能够获知与被提供的图像数据同等的基板是否能够通过基于各次修订的检查内容的检查。利用该功能，当存在例如”漏检”导致的不良返工品时，使用该不合格品的图像，进行基于发生了不合格品的“漏检”的时期及其前后时期的修订的模拟检查，从而能够获知在哪一期间“漏检”了与该不合格品同等的基板。需要说明的是，模拟检查结果的这种应用是模拟检查的应用方法的一个例子，其应用方法是多种多样的，如对多个图像进行模拟检查并应用于分析目的等。

下面，利用本实施例的基板检查装置，基于确定漏检了不良的期间以及不良原因的事例，对该处理的流程以及进行该处理时的基板检查装置的显示画面结构例进行说明。

图10是表示利用本实施例的基板检查装置来确定不良漏检的检查期间以及不良原因的处理的流程图。图11是在教学终端1中选择了编号内容编辑窗口53的模拟标签533时的显示画面的图。

首先，在模拟检查之前，确定因不良而被返工的基板的不良部位(部件)，并且利用检查装置3对基板进行摄像(步骤s201)。所摄像的不合格品的图像数据从基板检查装置3被传送至数据管理用服务器2，被登记在基板图像数据库212和部件图像数据库222(步骤s202)。

用户操作教学终端1，并且利用ui控制部11将部件编号表51显示在输出部101(步骤s203)，从而选择不良部件的部件编号(步骤s204)。

ui控制部11制作所选择的部件编号用检查内容历史表52以及编号内容编辑窗口53，并且将这些显示在输出部101(步骤s205)。需要说明的是，在本实施例中，在编号内容编辑窗口53显示模拟标签533(参照图11)。

接着，用户从检查内容历史表52通过点击来选择发生了作为对象的不合格品的漏检时的修订的单选按钮时(步骤s206)，ui控制部11经由编号历史处理部13从检查内容历史数据库242读取符合的修订检查内容数据，ui控制部11将所选择的修订检查内容数据反映在显示画面上，并且保存在教学终端1的存储器103内(步骤s207)。

接着，当用户点击编号内容编辑窗口53的模拟标签533时(步骤s208)，读取处理部12从部件图像数据库222读取与该编号对应的不合格品的图像数据，并且转给ui控制部11，ui控制部11将接受到的图像数据的表显示在编号内容编辑窗口53(步骤s209)(参照图11)。

当用户从图像数据表选择与此次的不合格品对应的图像数据时(步骤s210)，模拟检查处理部16基于保持在存储器103(即，当前所选择的修订的)中的检查内容数据，对该图像数据进行模拟检查(s211)。

在该模拟检查中，对能否用所提供的图像数据来检测出错误进行判断(s212)。需要说明的是，检查的结果从模拟检查处理部16被转到ui控制部11，并且利用ui控制部11显示在编号内容编辑窗口53。

在步骤s212中，在能够检测出错误的情况下，认为因时间流逝等而导致基板的外观发生变化，无法再现发生漏检时的结果，因此终止处理。另一方面，在步骤s212中没有能够检测出错误的情况下，认为再现了漏检时的检查结果，进入到如下的处理：确定对该不合格品(和同类型产品)的漏检发生了多长时间。

在步骤s213中，进行确定漏检发生到“何时为止”的处理，接着在步骤s214中，进行确定“从何时起”发生漏检的处理，由此确定发生漏检的期间(步骤s215)，结束流程。

图12是表示关于步骤s213的子程序的图，图13是表示关于步骤s214的子程序的图。如图12所示，在步骤s213中，读取当前设定的检查内容的修订的后一次修订(即一个数值大的修订)的检查内容(步骤s301)，用该检查内容实施模拟检查(步骤s302)，并且判断是否能够检测出错误(步骤s303)。若在此处能够检测出错误，则将直到更新至该修订为止的期间确定为发生漏检的期间(步骤s304)，结束子程序的流程。另一方面，在步骤s303中，若无法检测出错误，则读取再后一次的修订的检查内容(步骤s305)，并且实施模拟检查，直至能够检测出错误为止重复同样的处理。

另外，在步骤s214中，如图13所示，读取发现漏检时的检查内容的修订的前一次修订(即一个数值小的修订)的检查内容(步骤s401)，用该检查内容实施模拟检查(步骤s402)，并且判断是否能够检测出错误(步骤s403)。若在此处能够检测出错误，则视为利用该修订的检查内容进行检查的期间为止没有发生漏检，由此确定漏检期间(步骤s404)，结束子程序的流程。另一方面，在步骤s403中，若不能检测出错误，则读取再前一次修订的检查内容(步骤s405)，并且实施模拟检查，直至能够检测出错误为止反复进行同样的处理。

若如此能够确定发生漏检的期间，则对漏检期间与其前后的修订的检查内容进行比较，从而还能够确定成为漏检原因的检查项目及其标准。此时，在对所要比较的多次修订之间的差分进行检测的基础上突出显示，从而能够容易地掌握漏检原因的项目和标准。

如上所述，根据本实施例能够提供如下的基板检查系统9：存在“漏检”导致的不良返工品的情况下，能够容易地确定利用导致发生“漏检”的检查内容所进行检查的期间为何时，成为“漏检”原因的检查项目和标准为哪一个。

＜变形例＞

需要说明的是，在本实施例中，能够选择的检查内容的修订为一次，在输出部101显示的编号内容编辑窗口也是与该一次修订的检查内容对应的编辑窗口，但也可以选择多个同时显示。进而，也可以基于如此选择的多次修订的检查内容，同时实施模拟检查，也可以同时显示该多个模拟结果。

若如此操作，则能够在不同条件下有效地进行模拟，而且也易于比较模拟结果，因此在发生了问题的情况下，能够迅速地确定成为原因的检查项目和标准。

另外，在本实施例中，在每次实施模拟检查时，首先读取漏检时的检查内容数据并保存在教学终端1的存储器103内，之后读取不良图像数据来实施检查，但该顺序也可以相反。

＜其它＞

上述实施例只是例示性地说明了本发明，但本发明不限于上述具体方式。本发明可在其技术思想的范围内进行各种变形。例如，在上述实施例中，教学终端1为一个结构，但也可以使用经由网络能够通信的多个且多样的终端来构建系统。