一种由石墨烯修正的高灵敏度表面等离子谐振腔传感器的制作方法

文档序号:15970251发布日期:2018-11-16 23:26阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了.一种由石墨烯修正的高灵敏度表面等离子谐振腔传感器,其特征是,包括自下而上叠接的基底层和金属层,所述金属层中设有贯通金属层上下表面的谐振腔,谐振腔的周边对称设有凹陷的第一直波导和凹陷的第二直波导,第一直波导和第二直波导的底部均设有单层石墨烯与基底层紧密叠接。这种表面等离子传感器不仅体积小、响应快、而且制备过程简单,同时具备灵敏度、Q值高的特点,能实现生物、医学检测领域的纳米级传感。

技术研发人员:朱君;徐政杰;傅得立
受保护的技术使用者:广西师范大学
技术研发日:2018.05.29
技术公布日:2018.11.16
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