技术特征：
技术总结
一种用于GDMS检测的高纯钨样品及其制备方法，涉及高纯钨检测技术领域，其为圆形片状样品，包括80－90％的高纯钨与10－20％的碳粉。其制备方法包括将高纯钨与所述碳粉压制成型得到用于GDMS检测的高纯钨样品。使用高纯碳粉作为粘结剂，使高纯钨粉在高压下压制成块状，然后用于GDMS检测，检测过程溅射稳定，检测结果稳定，可重复性强。而且取样量大，取样更具代表性，检测结果更可靠而且石墨粉的价格远小于铟的价格，使检测成本明显降低。将制得的用于GDMS检测的高纯钨样品进行溅射靶材测试，测试结果表明本发明制备得到的高纯钨样品可以持续稳定溅射3.0h以上。
技术研发人员：姚力军;潘杰;王学泽;王志愿
受保护的技术使用者：宁波江丰电子材料股份有限公司
技术研发日：2018.05.31
技术公布日：2018.10.19