一种晶圆抽检器的制作方法

本实用新型涉及晶圆检测设备技术领域，具体为一种晶圆抽检器。

背景技术：

圆晶是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶，圆晶是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片，单晶硅圆片由普通硅砂拉制提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制成单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了圆晶，之后需要对晶圆的厚度进行抽检，以提高晶圆的质量。

现有的晶圆厚度检测装置直接将晶圆放置在检测台上，通过移动光学检测机械来测量晶圆的厚度，由于取样检测的点有限，导致晶圆厚度检测的结果误差比较大，而且不能检测晶圆表面的平整度，导致质量较差的晶圆混入标准晶圆内，影响晶圆产品的合格率，因此亟需设计一种准确性高和能够检测晶圆表面平整度的晶圆抽检器。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆抽检器，具备准确性高和能够检测晶圆表面平整度等优点，解决了现有的晶圆厚度检测装置直接将晶圆放置在检测台上，通过移动光学检测机械来测量晶圆的厚度，由于取样检测的点有限，导致晶圆厚度检测的结果误差比较大，而且不能检测晶圆表面的平整度，导致质量较差的晶圆混入标准晶圆内，影响晶圆产品的合格率的问题。

为实现上述准确性高和能够检测晶圆表面平整度的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆抽检器，包括外壳，所述外壳内腔底面的中部活动套接有旋转轴，所述旋转轴的顶端固定安装有工作台，所述工作台内腔的上下两面之间固定安装有固定块，所述固定块的侧面和工作台的内壁之间固定安装有定位滑杆，所述定位滑杆的外部活动套接有滑块，所述定位滑杆的外部活动套接有卡接弹簧，所述卡接弹簧的两端分别与固定块和滑块接近的两个侧面固定连接，所述滑块的顶面固定安装有卡接板，所述旋转轴的外部固定套接有从动锥齿轮，所述外壳内腔的底面固定安装有位于旋转轴右侧的驱动电机，所述外壳内腔的底面固定安装有位于驱动电机左侧的减速箱，所述驱动电机的输出轴与减速箱的右侧面固定连接，所述减速箱的输出轴固定套接有与从动锥齿轮相啮合的驱动锥齿轮，所述外壳内腔的底面固定安装有位于旋转轴左侧的蓄电池，所述外壳的顶面固定安装有支撑柱，所述支撑柱的顶端固定安装有调节箱，所述调节箱内腔的左右两侧面之间活动套接有螺纹杆，所述螺纹杆的外部螺纹套接有连接柱，所述连接柱的底端延伸至调节箱的外部并固定安装有测距仪，所述外壳的底面固定安装有固定套管，所述固定套管的底端螺纹套接有支撑腿。

优选的，所述工作台的顶面开设有与卡接板相适配的卡紧槽，且卡接板接近固定块的一面固定安装有橡胶垫，所述工作台的顶面固定安装有缓冲垫。

优选的，所述外壳的内壁固定安装有位于蓄电池上方的支撑板，且支撑板顶面的中部开设有与旋转轴相适配的活动孔。

优选的，所述支撑板的顶面固定安装有支撑底座，所述支撑底座的顶面开设有凹型槽，所述凹型槽的内部活动安装有滚珠，所述工作台的底面固定安装有位于支撑底座正上方的限位板，所述限位板的底面开设有与滚珠相适配的弧形槽。

优选的，所述调节箱的底面开设有与连接柱相适配的活动槽，所述连接柱的正面固定安装有指针，所述指针的正面延伸至调节箱的外部，且调节箱的正面开设有与指针相适配的矩形槽，所述调节箱的正面设有位于矩形槽上下两侧的刻度线。

优选的，所述螺纹杆的右端延伸至调节箱的外部并固定安装有旋转盘，且螺纹杆的外部与调节箱的右侧面活动套接。

（三）有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆抽检器，具备以下有益效果：

1、该晶圆抽检器，通过卡接弹簧，为滑块提供了一个作用力，使得滑块能够带着卡接板向靠近固定块的方向移动，通过四个卡接板的配合，为晶圆提供了四个大小相等的作用力，使得晶圆的圆心与工作台顶面的圆心重合并将晶圆固定住，通过驱动电机、减速箱、驱动锥齿轮和从动锥齿轮的配合，为旋转轴提供了一个动力，使得旋转轴能够通过工作台带着晶圆转动，从而使得测距仪能够在晶圆的表面进行连续的检测，增多了取样检测的点，增加了该晶圆抽检器的准确性，提高了该晶圆抽检器的实用性。

2、该晶圆抽检器，通过驱动电机、减速箱、驱动锥齿轮和从动锥齿轮的配合，为旋转轴提供了一个动力，使得旋转轴能够通过工作台带着晶圆持续转动，通过测距仪，使得人们能够实时观察晶圆局部厚度的变化，通过转动螺纹杆，使得连接柱能够带着测距仪左右移动，从而使得人们能够实时观察晶圆整体厚度的变化，最终通过晶圆厚度的变化判断晶圆的表面是否平整，提高了该晶圆抽检器的实用性。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为图1的正视图；

图3为图1中工作台的俯视内部结构示意图。

图中：1、外壳；2、旋转轴；3、工作台；4、固定块；5、定位滑杆；6、滑块；7、卡接弹簧；8、卡接板；9、从动锥齿轮；10、驱动电机；11、减速箱；12、驱动锥齿轮；13、蓄电池；14、支撑板；15、支撑底座；16、滚珠；17、限位板；18、支撑柱；19、调节箱；20、螺纹杆；21、连接柱；22、测距仪；23、指针；24、固定套管；25、支撑腿。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，一种晶圆抽检器，包括外壳1，外壳1的内壁固定安装有位于蓄电池13上方的支撑板14，支撑板14的顶面固定安装有支撑底座15，支撑底座15的顶面开设有凹型槽，凹型槽的内部活动安装有滚珠16，工作台3的底面固定安装有位于支撑底座15正上方的限位板17，限位板17的底面开设有与滚珠16相适配的弧形槽，利用支撑底座15、凹型槽、滚珠16、弧形槽和限位板17的配合，降低了旋转轴2的承重力，减少了支撑底座15和限位板17之间的摩擦力，增加了该晶圆抽检器更加的稳定性，提高了该晶圆抽检器的实用性，且支撑板14顶面的中部开设有与旋转轴2相适配的活动孔，利用支撑板14，降低了旋转轴2的承重力，增加了该晶圆抽检器更加的稳定性，提高了该晶圆抽检器的实用性，外壳1内腔底面的中部活动套接有旋转轴2，旋转轴2的顶端固定安装有工作台3，工作台3的顶面开设有与卡接板8相适配的卡紧槽，且卡接板8接近固定块4的一面固定安装有橡胶垫，工作台3的顶面固定安装有缓冲垫，利用橡胶垫，减缓了卡接板8对晶圆的作用力，使得晶圆的边沿不会受到损伤，又利用缓冲垫，减少了晶圆的底面与工作台3顶面的摩擦力，使得晶圆的底面不会产生划痕，提高了该晶圆抽检器的实用性，工作台3内腔的上下两面之间固定安装有固定块4，固定块4的侧面和工作台3的内壁之间固定安装有定位滑杆5，定位滑杆5的外部活动套接有滑块6，定位滑杆5的外部活动套接有卡接弹簧7，卡接弹簧7的两端分别与固定块4和滑块6接近的两个侧面固定连接，滑块6的顶面固定安装有卡接板8，旋转轴2的外部固定套接有从动锥齿轮9，外壳1内腔的底面固定安装有位于旋转轴2右侧的驱动电机10，驱动电机10的型号为Y80M2-2，外壳1内腔的底面固定安装有位于驱动电机10左侧的减速箱11，驱动电机10的输出轴与减速箱11的右侧面固定连接，减速箱11的输出轴固定套接有与从动锥齿轮9相啮合的驱动锥齿轮12，外壳1内腔的底面固定安装有位于旋转轴2左侧的蓄电池13，外壳1的顶面固定安装有支撑柱18，支撑柱18的顶端固定安装有调节箱19，调节箱19的底面开设有与连接柱21相适配的活动槽，连接柱21的正面固定安装有指针23，指针23的正面延伸至调节箱19的外部，且调节箱19的正面开设有与指针23相适配的矩形槽，调节箱19的正面设有位于矩形槽上下两侧的刻度线，利用指针23、矩形槽和刻度线的配合，使得人们能够逐步对晶圆进行厚度检测，同时方便了人们检测晶圆的直径，提高了该晶圆抽检器的实用性，调节箱19内腔的左右两侧面之间活动套接有螺纹杆20，螺纹杆20的右端延伸至调节箱19的外部并固定安装有旋转盘，且螺纹杆20的外部与调节箱19的右侧面活动套接，利用旋转盘，使得人们能够快速简单的调节测距仪22的位置，增加了工人的工作效率，提高了该晶圆抽检器的实用性，螺纹杆20的外部螺纹套接有连接柱21，连接柱21的底端延伸至调节箱19的外部并固定安装有测距仪22，测距仪22的型号为GOLDM-41FB，外壳1的底面固定安装有固定套管24，固定套管24的底端螺纹套接有支撑腿25，支撑腿25的底面固定安装有减震垫，利用支撑腿25和固定套管24的配合，使得人们能够单独调节外壳1底面的四个角距离地面的高度，从而确保外壳1的底面能够一直处于水平状态，增加了该晶圆抽检器的适用性，提高了该晶圆抽检器的实用性。

工作时，首选向远离固定块4的方向拉动卡接板8，然后将晶圆放置在工作台3的顶面，接着卡接板8在卡接弹簧7的作用力下向固定块4靠近，之后卡接板8推动晶圆在工作台3的顶面移动，然后晶圆的圆心与工作台3顶面的圆心重合，接着晶圆被固定住，之后开启驱动电机10，然后驱动电机10通过减速箱11和驱动锥齿轮12带着从动锥齿轮9转动，接着从动锥齿轮9通过旋转轴2带着工作台3转动，之后工作台3带着晶圆持续转动，然后开启测距仪22，接着测距仪22实时测量晶圆的厚度，之后转动螺纹杆20，然后连接柱21带着测距仪22左右移动，接着测距仪22对晶圆进行全面的厚度检测，之后根据晶圆厚度的变化判断晶圆的表面是否平整，即可。

综上所述，该晶圆抽检器，通过卡接弹簧7，为滑块6提供了一个作用力，使得滑块6能够带着卡接板8向靠近固定块4的方向移动，通过四个卡接板8的配合，为晶圆提供了四个大小相等的作用力，使得晶圆的圆心与工作台3顶面的圆心重合并将晶圆固定住，通过驱动电机10、减速箱11、驱动锥齿轮12和从动锥齿轮9的配合，为旋转轴2提供了一个动力，使得旋转轴2能够通过工作台3带着晶圆转动，从而使得测距仪22能够在晶圆的表面进行连续的检测，增多了取样检测的点，增加了该晶圆抽检器的准确性，提高了该晶圆抽检器的实用性；通过驱动电机10、减速箱11、驱动锥齿轮12和从动锥齿轮9的配合，为旋转轴2提供了一个动力，使得旋转轴2能够通过工作台3带着晶圆持续转动，通过测距仪22，使得人们能够实时观察晶圆局部厚度的变化，通过转动螺纹杆20，使得连接柱21能够带着测距仪22左右移动，从而使得人们能够实时观察晶圆整体厚度的变化，最终通过晶圆厚度的变化判断晶圆的表面是否平整，提高了该晶圆抽检器的实用性；解决了现有的晶圆厚度检测装置直接将晶圆放置在检测台上，通过移动光学检测机械来测量晶圆的厚度，由于取样检测的点有限，导致晶圆厚度检测的结果误差比较大，而且不能检测晶圆表面的平整度，导致质量较差的晶圆混入标准晶圆内，影响晶圆产品的合格率的问题。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。