一种金刚石超薄结构导热性能的测试方法

文档序号:37428256发布日期:2024-03-25 19:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金刚石超薄结构导热性能的测试方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的测试方法,其特征在于,所述待测金刚石超薄结构的厚度为10~100nm;所述待测金刚石超薄结构的宽度为0.5~10μm;所述待测金刚石超薄结构的长度为2~20μm。

3.根据权利要求1所述的测试方法,其特征在于,所述待测金刚石超薄结构的激发拉曼特征峰峰位与环境温度的线性方程如公式2所示:

4.根据权利要求1或2所述的测试方法,其特征在于,待测金刚石超薄结构的至少一宽边固定在热沉上;

5.根据权利要求1所述的测试方法,其特征在于,所述标定激光和加热激光的波长为488nm、532nm或632nm,对应的光斑高斯半径为207nm、224nm或268nm。

6.根据权利要求1或5所述的测试方法,其特征在于,所述标定激光激发的功率为0.8~1mw。

7.根据权利要求1或5所述的测试方法,其特征在于,所述加热激光激发的功率为15~30mw。

8.根据权利要求1所述的测试方法,其特征在于,所述热沉为导热材料。

9.根据权利要求8所述的测试方法,其特征在于,所述热沉为金属材料。

10.根据权利要求1所述的测试方法,其特征在于,步骤(1)中,所述固定为:通过离子束沉积pt将所述待测金刚石超薄结构焊接到所述热沉上。


技术总结
本发明属于超薄金刚石导热性能检测技术领域,具体涉及一种金刚石超薄结构导热性能的测试方法。本发明将所述待测金刚石超薄结构固定在热沉上;在所述待测金刚石超薄结构表面,采用标定激光激发样品,通过分析金刚石特征拉曼峰峰位和环境温度的线性关系,得到待测金刚石超薄结构的温度系数;在所述待测金刚石超薄结构表面,采用加热激光激发样品,计算得到不同环境温度下待测金刚石超薄结构的热导率。本发明基于拉曼光谱进行金刚石超薄结构导热性能测试,该方法属于非接触类测试方法,相较于3ω法,避免了表面工艺对样品产生的破坏和测试误差;相较于TDTR法,其测试流程相对简单;且由于测试激光半径较小,该方法具有超高空间分辨率。

技术研发人员:林伟毅,朱云亭
受保护的技术使用者:厦门大学
技术研发日:
技术公布日:2024/3/24
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