放射线图像检测装置及其制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及用于医疗诊断装置或无损检测设备等的放射线图像检测装置。
【背景技术】
[0002] 近年来，出现了以计算机X线成像（computed radiography :CR)或平板探测器 (flat panel detector :FPD)等为代表的数字方式的放射线图像检测装置。这些装置可以 直接获得数字放射线图像，并在阴极管或液晶面板等图像显示装置中直接显示图像，其结 果，大幅提高了在医院或诊所等的诊断作业的便利性。
[0003] 另外，作为新的数字放射线图像技术，开发了使用薄膜晶体管（thin - film transistor :TFT)或电荷親合元件（charge - coupled device :CCD)的平板探测器（FPD)。
[0004] 关于这些放射线图像检测装置，已知具有拍摄面板的放射线图像检测装置，该拍 摄面板通过贴合二维配置有薄膜晶体管（TFT)或电荷耦合元件（CCD)等受光元件的传感器 面板（平面受光元件）和在支承体上形成有用于将放射线变换成受光元件可检测的光的闪 烁体层的闪烁体面板而形成。
[0005] 已公开有，上述放射线图像检测装置设有传感器面板、将放射线变换成光的闪烁 体层、由热熔性树脂构成的闪烁体保护部件（例如，参照专利文献1)。在专利文献1中，将 闪烁体面板和传感器面板夹着由热熔性树脂构成的闪烁体保护层贴合。在专利文献2中公 开了具有拍摄面板的放射线图像检测装置，该拍摄面板通过使闪烁体面板和传感器面板夹 着作为粘接剂层的热熔性树脂贴合而形成。
[0006] 在此，专利文献1及2中均使用了由具有柱状晶体构造的CsI (Tl)构成的材料作 为闪烁体层。这种闪烁体层一般通过气相法形成，但在通过气相法成膜例如430mm X 430mm 这样较大的尺寸的闪烁体层时，在面内必定会产生膜厚分布。在将具有膜厚分布的闪烁体 层与平坦的传感器面板粘接时，由于闪烁体层的膜厚分布，两者的距离在面内变得不均匀， 从而产生图像不均。另外，由于闪烁体层的膜厚较薄的部分与粘接层不易坚固地贴紧，因 此，存在因冲击而被剥离的问题。从画质方面考虑，优选粘接层越薄越好，但粘接层越薄，上 述的闪烁体层的膜厚分布引起的问题就越严重。
[0007] 现有技术文献
[0008] 专利文献
[0009] 专利文献1 :日本特开2006 - 78471号公报
[0010] 专利文献2 :日本特开2011 - 33562号公报
【发明内容】
[0011] 发明要解决的课题
[0012] 本发明的课题在于，提供一种放射线图像检测装置及其制造方法，其以隔着粘接 剂层的距离在面内变得均匀的方式接合平面受光元件及闪烁体面板，抑制图像不均产生或 清晰度降低。
[0013] 用于解决课题的技术方案
[0014] 本发明由以下技术方案构成。
[0015] 本发明提供一种放射线图像检测装置，依次具备：由支承体及设于该支承体上的 具有膜厚分布的闪烁体层构成的闪烁体面板、粘接剂层、平面受光元件，其特征在于，该支 承体及该平面受光元件中的至少一方弯曲，从而使该闪烁体面板和该平面受光元件隔着该 粘接剂层在面内以均匀的距离配置。
[0016] 优选地，将形成闪烁体层的所述支承体的弹性模量设为El (GPa)且将所述支承体 的膜厚设为dl (mm)时的、相对于所述闪烁体层的面方向的所述闪烁体层表面的最大倾斜 角Θ满足由下述式（1)表示的关系，
[0017] 【式1】
[0018] tan Θ XElXdl ^ 0. 1 · · · (1)
[0019] 或
[0020] 将所述平面受光元件的弹性模量设为E2 (GPa)且将所述平面受光元件的膜厚设 为d2(mm)时的、相对于所述闪烁体层的面方向的所述闪烁体层表面的最大倾斜角Θ满足 由下述式（2)表示的关系。
[0021] 【式2】
[0022] tan Θ XE2Xd2 彡 0· 1 · · · (2)
[0023] 所述粘接剂层的膜厚优选为1~30 μ m。
[0024] 优选地，所述粘接剂层为含有一种或两种以上的热熔性树脂的层。
[0025] 优选地，所述粘接剂层为两种以上的层的叠层体，该两种以上的层由熔点分别不 同的热熔性树脂形成。
[0026] 优选地，所述叠层体中，形成与闪烁体层接触的层的热熔性树脂的熔点比形成与 平面受光元件接触的层的热熔性树脂的熔点高。
[0027] 优选地，所述粘接剂层除了包含一种或两种以上的热熔性树脂之外，还包含间隔 粒子，所述间隔粒子具有与该粘接剂层的膜厚相同程度的粒径，且具有与该热熔性树脂相 同程度的折射率。
[0028] 优选地，所述闪烁体层通过蒸镀形成，且优选通过蒸镀包含碘化铯和至少一种活 化剂的荧光体材料而形成。
[0029] 优选地，构成所述支承体或平面受光元件的基板以玻璃板或树脂膜为主成分而构 成，更优选地，以树脂膜为主成分而构成。
[0030] 本发明提供一种放射线图像检测装置的制造方法，该放射线图像检测装置依次具 备由支承体及设于该支承体上的具有膜厚分布的闪烁体层构成的闪烁体面板、粘接剂层、 平面受光元件，该放射线图像检测装置的制造方法的特征在于，在50~150°C的加温下将 该闪烁体面板与该平面受光元件接合，使隔着该粘接剂层的闪烁体面板和平面受光元件之 间的距离在面内变得均匀。
[0031] 优选地，所述粘接剂层为包含一种或两种以上的热熔性树脂的层，该热熔性树脂 的熔融粘度为100~100, OOOPa · S。
[0032] 优选地，除了 50~150°C的加温下之外，还在10, 000~1，000, OOOPa的加压下，将 所述闪烁体面板与该平面受光元件接合。
[0033] 发明效果
[0034] 根据本发明，在接合平面受光元件和闪烁体面板时，使平面受光元件及支承体中 的至少一方与闪烁体层上的柱状晶体的膜厚分布一致地弯曲，由此，能够将平面受光元件 和闪烁体面板接合成隔着粘接剂层的距离在面内变得均匀。由此，根据本发明可以提供清 晰，抑制图像不均产生的放射线图像检测装置。
【附图说明】
[0035] 图1是表示本发明的放射线图像检测装置中的、由支承体及闪烁体层构成的闪烁 体面板、粘接剂层、平面受光元件的配置的图；
[0036] 图2是表示在本发明的放射线图像检测装置中，通过使支承体及平面受光元件中 的至少一方弯曲，从而将闪烁体面板和平面受光元件贴紧的图；
[0037] 图3是表示蒸镀装置的概略结构的图；
[0038] 图4是示意地表示本发明的放射线图像检测装置的结构的剖面图；
[0039] 图5是表示本发明的放射线图像检测装置中的薄膜晶体管及电容器的结构的剖 面图；
[0040] 图6是表示本发明的放射线图像检测装置的概略结构的局部剖面立体图。
[0041] 附图标记说明
[0042] 12· ··蒸镀用基板
[0043] 13 · · ·支承体
[0044] 51 ···拍摄面板
[0045] 52 · · ·控制部
[0046] 53 · · ·存储部
[0047] 54 ···电源部
[0048] 55 · · ·框体
[0049] 56 ···连接器
[0050] 57 ···操作部
[0051] 58 · · ·显示部
[0052] 60 ···放射线检测装置
[0053] 61 ···蒸镀装置
[0054] 62 · · ·真空容器
[0055] 63 · · ·舟皿
[0056] 64A · · ·绝缘性基板
[0057] 64 ···基板支架
[0058] 65 ···旋转机构
[0059] 65a · · ·旋转轴
[0060] 65A · · ·绝缘膜
[0061] 65B · · ·栅极绝缘膜
[0062] 66A · · · TFT有源矩阵基板
[0063] 66 · · ·真空栗
[0064] 67 · · ·平坦化层
[0065] 68 · · ·存储电容
[0066] 69 ···粘接剂层
[0067] 70 ···薄膜晶体管（TFT)
[0068] 70A ···栅电极
[0069] 70B ···有源层
[0070] 70C· ··源电极
[0071] 70D· ··漏电极
[0072] 71 ···闪烁体层
[0073] 71A · · ·非柱状晶体区域
[0074] 71B · · ·柱状晶体区域
[0075] 72 ···传感器部
[0076] 72A· · ·上部电极
[0077] 72B· · ·下部电极
[0078] 72C· · ·光电转换膜
[0079] 73 · · ·平面受光元件
[0080] 100 ···放射线图像检测装置
[0081] 102 · · ·密封部
【具体实施方式】
[0082] 本发明的放射线图像检测装置接合闪烁体面板和平面受光元件，使闪烁体面板和 平面受光元件隔着粘接剂层的距离在面内变得均匀。上述放射线图像检测装置的特征在 于，通过将由支承体及该支承体上的具有膜厚分布的闪烁体层构成的闪烁体面板隔着粘接 剂层与平面受光元件接合而制造，在50~150°C的加温下将该闪烁体面板与该平面受光元 件接合，使隔着该粘接剂层的该闪烁体层和该平面受光元件之间的距离在面内变得均匀。 图1及2表示上述放射线图像检测装置中的闪烁体面板、平面受光元件及粘接剂层的配置， 并且表示通过支承体及平面受光元件中的至少一方弯曲，使闪烁体面板和平面受光元件贴 紧。
[0083] 优选地，将构成上述放射线图像检测装置的支承体的弹性模量设为El (GPa)且将 上述支承体的膜厚设为dl (mm)时的、相对于上述闪烁体层的面方向的上述闪烁体层表面 的最大倾斜角Θ满足由下述式（1)表示的关系，
[0084] 【式1】
[0085] tan Θ XElXdl ^ 0. 1 · · · (1)
[0086] 或者，
[0087] 将上述平面受光元件的弹性模量设为E2 (GPa)且将上述平面受光元件的膜厚设 为d2(mm)时的、相对于上述闪烁体层的面方向的上述闪烁体层表面的最大倾斜角Θ满足 由下述式（2)表示的关系。
[0088] 【式2】
[0089] tan Θ XE2Xd2 彡 0· 1 · · · (2)
[0090] 在此，如图2所示，最大倾斜角Θ是指，相对于闪烁体层的面方向，具有膜厚分布 的闪烁体层的平均