一种用于测量高度的装置及测量显影液喷嘴高度的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及半导体光刻技术领域，特别涉及一种用于测量高度的装置及测量显影液喷嘴高度的方法。
【背景技术】
[0002]在半导体光刻制程中，显影液喷嘴相对晶圆的高度是机台维护中一个关键的参数。显影液喷嘴高度太高或太低，或水平度不达标，不仅会影响图形关键尺寸的均匀性，还会造成制程缺陷。
[0003]因为显影液喷嘴形状不规则，无法用常规方式直接测量其高度。目前，测量显影液喷嘴高度普遍使用塞规，即特定厚度的塞规是否能够通过显影液喷嘴与晶圆之间的间隙，来判断显影液喷嘴高度是否在规格之内。然而，塞规只能确定一个高度范围，无法精确测量，在关键尺寸逐渐减小的情况下，有时无法满足工艺要求。而且，塞规本身的磨损和形变也对测量结果有影响。
【发明内容】
[0004]本发明目的是提供一种用于测量高度的装置及测量显影液喷嘴高度的方法，解决现有技术中存在的上述问题。
[0005]本发明解决上述技术问题的技术方案如下:
[0006]—种用于测量高度的装置，包括底板，所述底板的一端垂直安装有液压缸，所述液压缸的第一活塞顶部设置有连杆;所述底板的另一端垂直安装有线性导轨，所述线性导轨上设置有可沿竖直方向移动的滑块;还包括与所述底板平行的量测板;所述量测板的一端固定于所述连杆上，另一端固定于所述滑块上;所述液压缸通过连通管与注射器连通，所述液压缸、连通管和注射器的连通空间中充满液压油；所述注射器设置有用于读取所述量测板的上表面与所述底板的下表面之间的高度差的刻度。
[0007]本发明的有益效果是:由于液压油的体积保持不变，量测板上下移动将带动注射器的活塞运动；将量测板处于不同位置时，量测板的上表面与底板的下表面之间的高度差的数值转换为注射器上的刻度，从而从注射器上直接读取;读数方便，数据精准。
[0008]在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
[0009]进一步，所述液压缸的内部横截面积大于所述注射器的内部横截面积。
[0010]采用上述进一步方案的有益效果是，将量测板的微小移动转换为注射器的活塞的较大移动，提高测量精度。
[0011]进一步，所述刻度设置于所述注射器的第二活塞的侧壁上。
[0012]采用上述进一步方案的有益效果是，避免刻度由于与外界的接触而磨损，导致数值不清楚。
[0013]进一步，所述注射器的空筒的端口作为指针，用于指示所述刻度中表示所述量测板的上表面与所述底板的下表面之间的高度差的数值。
[0014]采用上述进一步方案的有益效果是，直接使用空筒的端口作为指针，制作方便，且不易受损。
[0015]进一步，所述第二活塞的侧壁上设置有多个所述刻度。
[0016]采用上述进一步方案的有益效果是，方便读数，且避免因转动注射器而带来误差。
[0017]进一步，所述连杆为L型结构;所述连杆的一端与所述底板平行设置，并与所述第一活塞固定连接;所述连杆的另一端垂直向下指向所述底板，并与所述量测板的一端固定连接。
[0018]采用上述进一步方案的有益效果是，当L型结构尺寸合理设计，量测板可无限接近底板，实现低高度测量。
[0019]本发明的另一技术方案如下:
[0020]一种测量显影液喷嘴高度的方法，包括如下步骤:
[0021]步骤1，将晶元加载到显影单元中的真空吸盘上；
[0022]步骤2，将权利要求1至6任一所述一种用于测量高度的装置放置于所述晶元的上表面，并使所述底板的下表面紧贴于所述晶元的上表面；
[0023]步骤3，将显影液喷嘴移动到喷吐位置；
[0024]步骤4，推动所述第二活塞，使所述量测板的上表面紧贴于所述显影液喷嘴的下端，并从所述刻度读取所述量测板的上表面与所述底板的下表面之间的高度差，所述高度差即为所述显影液喷嘴相对所述晶元的高度。
[0025]本发明的有益效果是:量测板的上表面与底板的下表面之间的高度差，即为显影液喷嘴相对晶元的高度，使显影液喷嘴相对晶元高度的测量，操作方便，结果精确。
[0026]在上述技术方案的基础上，本发明还可以做如下改进。
[0027]进一步，所述步骤2与步骤3之间，还包括步骤23;
[0028]所述步骤23，按压所述第一活塞，使所述量测板下移至其可移动范围的最下方。
[0029]采用上述进一步方案的有益效果是，避免量测板过高，在移动显影液喷嘴的过程中，量测板与显影液喷嘴发生触碰，损坏显影液喷嘴，且影响测量准确性。
【附图说明】
[0030]图1为本发明一种用于测量高度的装置的装置正视图；
[0031 ]图2为本发明一种用于测量高度的装置的装置俯视图；
[0032]图3为本发明一种测量显影液喷嘴高度的方法的第一示意图；
[0033]图4为本发明一种测量显影液喷嘴高度的方法的第二示意图；
[0034]图5为本发明一种测量显影液喷嘴高度的方法的第三示意图。
[0035]附图中，各标号所代表的部件列表如下:
[0036]1、底板，2、液压缸，21、第一活塞，22、连杆，23、液压油，3、线性导轨，31、滑块，4、两测板，5、连通管，6、注射器，61、刻度，62、第二活塞，63、空筒，631、端口，7、晶元，8、真空吸盘，9、显影液喷嘴。
【具体实施方式】
[0037]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0038]如图1和图2所示，一种用于测量高度的装置，包括底板1，所述底板1的一端垂直安装有液压缸2，所述液压缸2的第一活塞21顶部设置有连杆22;所述底板1的另一端垂直安装有线性导轨3，所述线性导轨3上设置有可沿竖直方向移动的滑块31;还包括与所述底板1平行的量测板4;所述量测板4的一端固定于所述连杆22上，另一端固定于所述滑块31上;所述液压缸2通过连通管5与注