缺陷检查装置、光学构件的制造系统以及光学显示设备的生产系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种缺陷检查装置、光学构件的制造系统以及光学显示设备的生产系统。
[0002]本申请基于2013年8月22日申请的日本专利申请2013-172344号而主张优先权，并将其内容引用于此。
【背景技术】
[0003]作为包含偏振器件的光学构件的缺陷检查装置，已知有专利文献I中所记载的缺陷检查装置。专利文献I的缺陷检查装置包括:光源，其配置在光学构件的一侧；拍摄装置，其配置在光学构件的另一侧；以及偏振滤光片，其配置在拍摄装置与光学构件之间的光路上，具有与偏振器件的吸收轴正交的吸收轴。
[0004]缺陷检查装置设置在光学构件的生产线、或者将光学构件朝液晶面板等贴合对象物输送的输送线上。例如，在光学构件的生产线上，对偏振器件的两面贴合成为保护层的保护膜，并呈卷筒状地收卷贴合有该保护膜的偏振器件而制造光学构件的卷材。缺陷检查装置设置于在偏振器件的单面或双面层叠保护膜而成的层叠膜的输送线上，检查偏振器件与保护膜之间有无异物缺陷等。
[0005]在缺陷检查装置中，通常是检查光学构件的贴合面侧(与液晶面板等贴合对象物贴合的一面那一侧)有无缺陷。因此，偏振滤光片设置在光学构件的贴合面侧。
[0006]例如，在专利文献I的缺陷检查装置中，在光学构件的输送线的下方设置有光源，在输送线的上方设置有偏振滤光片和拍摄装置。
[0007]在偏振器件与其上表面侧(贴合面侧)的保护膜之间存在异物的情况下，照射自光源的光在经偏振器件转换为线偏振光之后，其一部分被异物散射。散射后的光的一部分因偏振状态被扰乱，因此穿过偏振滤光片而以亮点的形式被拍摄装置检测到。
[0008]另一方面，在偏振器件与其下表面侧(与贴合面相反的一侧)的保护膜之间存在异物的情况下，照射自光源的光在被异物散射后入射至偏振器件，转换为线偏振光。只要在偏振器件与偏振滤光片之间不存在扰乱偏振状态的异物等缺陷，则该线偏振光就不会穿过偏振滤光片。因此，拍摄装置维持暗视野，从而检测不到缺陷。
[0009]如此，通过将偏振滤光片设置在光学构件的贴合面侧，仅可选择性地检查光学构件的贴合面侧的缺陷。
[0010]现有技术文献
[0011]专利文献
[0012]专利文献1:日本专利特开2007-212442号
【发明内容】
[0013]发明要解决的问题
[0014]将光学构件的上表面和下表面中的哪一面设为贴合面是预先确定好的，相应地，缺陷检查装置的光源、拍摄装置及偏振滤光片的配置也是固定好的。通常而言，是像专利文献1那样光学构件的上表面成为贴合面，偏振滤光片也设置在光学构件的上方。
[0015]此处，作为包含偏振器件的光学构件，已知有在由聚乙烯醇(PVA:PolyVinylAlcohol)构成的偏振器件的两面层叠成为保护层的三醋酸纤维素(TAC:TriAce tylCellulose)而成的偏振片(TAC/PVA/TAC)。近年来，偏振片不断多样化，也提出有将偏振器件的两面所层叠的TAC中的一方的TAC替换成其他膜的偏振片。
[0016]本发明者通过研究了解到，在这种偏振片中，是将TAC侧设为贴合面还是将其他膜侧设为贴合面，会导致最终产品的翘曲等状态不一样。
[0017]因此，在使用上述缺陷检查装置来进行这种偏振片的缺陷检查的情况下，将TAC和其他膜中的任一优选方贴合至偏振器件的上表面侧。但是，在光学构件的生产线的构成上，存在其他膜的输送线的位置定在了偏振器件的输送线的上方侧或下方侧，导致无法进行作为目标的缺陷检查的情况。
[0018]例如，在其他膜为表面容易产生划痕的膜的情况下，考虑如下方法:在其他膜的表面预先层叠好保护膜，在贴合偏振器件与其他膜时，将保护膜与其他膜剥离。在该情况下，在偏振器件与其他膜的贴合位置的稍前方设置刀口等剥离机构，一边将保护膜与其他膜剥离，一边将剥离后的其他膜贴合至偏振器件。
[0019]然而，在生产线的构成上，存在剥离机构的设置空间仅设置在偏振器件的输送线的上方侧或下方侧中的任一方的情况。在该情况下，其他膜的输送线的位置也被限定在偏振器件的输送线的上方侧或下方侧中的任一方。假设其他膜的输送线被限定在偏振器件的输送线的上方侧，且其他膜被贴合至光学构件的与贴合面侧相反的一侧，在这种情况下，上述缺陷检查装置将无法进行光学构件的贴合面侧的缺陷检查。
[0020]因此，考虑根据光学构件的构成来调换光源、拍摄装置及偏振滤光片的位置。但在该情况下，必须大幅变更装置构成，装置的调换作业也需要大量时间。此外，必须按光学构件的每一构成来准备各自的缺陷检查装置，并不现实。出于这种背景，业界一直在寻求一种可根据光学构件的构成而容易地切换光学构件的一面侧与另一面侧的缺陷检查的缺陷检查装置。
[0021]本发明的形态的目的在于提供一种可容易地切换光学构件的一面侧与另一面侧的缺陷检查的缺陷检查装置以及光学显示设备的生产系统。
[0022]解决问题的技术手段
[0023]本发明的形态采用了以下手段。
[0024](1)本发明的形态的缺陷检查装置是包含偏振器件的光学构件的缺陷检查装置，其特征在于，包括:光源，其配置在所述光学构件的第1侧，对所述光学构件照射光；拍摄装置，其配置在所述光学构件的第2侧，拍摄由来自所述光学构件的透射光形成的像;第1偏振滤光片，其配置在所述光源与所述光学构件之间的光路上，具有与所述偏振器件的吸收轴正交的第1吸收轴;第2偏振滤光片，其配置在所述拍摄装置与所述光学构件之间的光路上，具有与所述偏振器件的吸收轴正交的第2吸收轴;第1移动装置，其使所述第1偏振滤光片相对于所述光源与所述光学构件之间的光路进退移动；以及第2移动装置，其使所述第2偏振滤光片相对于所述拍摄装置与所述光学构件之间的光路进退移动。
[0025](2)上述形态(I)可还包括控制装置，所述控制装置为如下装置:在第I拍摄模式下，以所述第I移动装置使所述第I偏振滤光片移动至所述光源与所述光学构件之间的光路上的方式进行控制，并以所述偏振器件的吸收轴与所述第I吸收轴正交的方式控制所述第I偏振滤光片的配置，并且，以所述第2移动装置使所述第2偏振滤光片移动至偏离所述拍摄装置与所述光学构件之间的光路上的位置的方式进行控制，在第2拍摄模式下，以所述第I移动装置使所述第I偏振滤光片移动至偏离所述光源与所述光学构件之间的光路上的位置的方式进行控制，并且，以所述第2移动装置使所述第2偏振滤光片移动至所述拍摄装置与所述光学构件之间的光路上的方式进行控制，并以所述偏振器件的吸收轴与所述第2吸收轴正交的方式控制所述第2偏振滤光片的配置。
[0026](3)本发明的形态的光学构件的制造系统是包含偏振器件的光学构件的制造系统，其特征在于，包括:光学构件的制造装置，其制造所述光学构件；以及根据上述(I)或(2)所述的缺陷检查装置，其检查所述光学构件有无缺陷。
[0027](4)在上述形态(3)中，所述光学构件可包括:偏振器件;第I保护层，其层叠在所述偏振器件的第I面上；以及第2保护层，其层叠在所述偏振器件的第2面上，所述光学构件的制造装置可包括:第I供给部，其供给所述偏振器件;第2供给部，其配置在所述偏振器件的供给路径的第I侧，供给包含所述第I保护层和层叠在所述第I保护层的第3面上的第3保护层的层叠构件;第3供给部，其配置在所述偏振器件的供给路径的第2侧，供给所述第2保护层；以及剥离部，其配置在所述偏振器件的供给路径的第I侧，使所述第3保护层从所述层叠构件中剥离而得到所述第I保护层。
[0028](5)本发明的形态的光学显示设备的生产系统是对光学显示零件贴合光学构件而成的光学显示设备的生产系统，其特征在于，包括:输送装置，其用于输送所述光学构件;贝占合装置，其将由所述输送装置输送来的所述光学构件贴合至所述光学显示零件而制作所述光学显示设备；以及根据上述(I)或(2)所述的缺陷检查装置，其等检查从所述输送装置输送至所述贴合装置的所述光学构件有无缺陷。
[0029]发明的效果
[0030]根据本发明的形态，可提供一种可容易地切换光学构件的一面侧与另一面侧的缺陷检查的缺陷检查装置、光学构件的制造系统以及光学显示设备的生产系统。
【附图说明】
[0031]图1为表示本发明的一实施方式的光学膜的制造系统的侧视图。
[0032]图2为本发明的一实施方式的缺陷检查装置的侧视图。
[0033]图3为用于说明第I偏振滤光片的第I吸收轴(第2偏振滤光片的第2吸收轴)与偏振器件膜的吸收轴的配置关系的图。
[0034]图4为用于说明由缺陷检查装置进行的缺陷的检查原理的图。
[0035]图5为用于说明由缺陷检查装置进行的缺陷的检查原理的图。
[0036]图6为本发明的一实施方式的缺陷检查装置的俯视图。
[0037]图7为表示偏振片(TAC/PVA/TAC)在液晶面板上的贴合例的图。
[0038]图8为表示偏振片(C0P/PVA/TAC)在液晶面板上的贴合例的图。
[0039]图9为用于说明偏振片(TAC/PVA/TAC)的第I拍摄模式下的缺陷检查装置的图。
[0040]图10为表示偏振片(TAC/PVA/TAC)的第1拍摄模式下的偏振片在液晶面板上的贴合例的图。
[0041]图11为用于说明偏振片(C0P/PVA/TAC)的第1拍摄模式下的缺陷检查装置的图。
[0042]图12为表示偏振片(TAC/PVA/C0P)的第1拍摄模式下的偏振片在液晶面板上的贴合例的图。
[0043]图13为用于说明第2拍摄模式下的缺陷检查装置的图。
[0044]图14为表示第2拍摄模式下的偏振片在液晶面板上的贴合例的图。
[0045]图15为表示本发明的一实施方式的膜贴合系统的装置构成的侧视图。
[0046]图16为表示本发明的一实施方式的膜贴合系统的装置构成的侧视图。
[0047]图17为液晶面板的俯视图。
[0048]图18为偏振膜片的剖视图。
【具体实施方式】
[0049]下面，一边参考附图，一边对本发明的实施方式进行说明，但本发明并不限定于以下实施方式。
[0050]再者，在以下所有附图中，为了使附图易于观察，各构成要素的尺寸或比率等酌情存在差异。此外，在以下的说明及附图中，对相同或相当的要素标注同一符号，并省略重复的说明。
[0051](光学构件的制造系统)
[0052]图1为表示本发明的一实施方式的光学构件的制造系统即光学膜的制造系统100的一例的侧视图。下面，对制造偏振膜作为光学膜的例子进行说明。但是，光学膜只要至少包含偏振器件膜即可，除了为偏振膜以外，也可为层叠有相位差膜或增亮膜等多个光学元件的膜。
[0053]在以下的说明中，视需要设定XYZ正交座标系，一边参考该XYZ正交座标系，一边对各构件的位置关系进行说明。在本实施方式中，将长条的光学膜的输送方向设为X方向，将在光学膜的面内与X方向正交的方向(长条的光学膜的宽度方向)设为Y方向，将与X方向及Y方向正交的方向设为Z方向。
[0054]如图1所示，光学膜的制造系统100包括:光学膜的制造装置101(光学构件的制造装置)，其制造光学膜F10;以及缺陷检查装置102，其检查光学膜F10有无缺陷。
[0055]本实施方式中所使用的光学膜F10(光学构件)例如为如下结构:由PVA(聚乙烯醇)等构成的偏振器件膜F11(偏振器件)被作为保护膜的C0P(环烯烃聚合物)膜F13(第1保护层)和TAC(三醋酸纤维素)膜F15(第2保护层)包夹。再者，在偏振器件膜F11中，可将层叠有C0P膜F13的一侧的那一面称为第1面。此外，在偏振器件膜F11中，可将层叠有TAC膜F15的一侧的那一面称为第2面。
[0056]再者，作为保护膜，除了TAC膜或C0P膜以外，还可使用PET(聚对苯二甲酸乙二酯)膜、MMA(甲基丙烯酸甲酯)膜等。
[005