缺陷检查装置、光学构件的制造系统以及光学显示设备的生产系统的制作方法_2

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7]光学膜的制造装置101包括:第1供给部110,其供给偏振器件膜F11;第2供给部111,其供给包括⑶P膜F13和⑶P膜用保护膜F14(第3保护层)的层叠膜F12;第3供给部112,其供给TAC膜F15;剥离部113,其使C0P膜用保护膜F14从层叠膜F12中剥离而得到C0P膜F13;膜层叠装置114,其将偏振器件膜Fl I XOP膜F13、TAC膜F15这3张膜层叠而制造I张光学膜F10;以及收卷部115,其收卷光学膜F10。
[0058]第I供给部110对卷绕带状的偏振器件膜FlI而成的卷材Rl I进行保持,并将偏振器件膜Fl I沿其长度方向放出。
[0059]第2供给部111对卷绕带状的层叠膜F12而成的卷材R12进行保持,并将层叠膜F12沿其长度方向放出。第2供给部111配置在偏振器件膜Fll的供给路径的一侧(图1所示的+Z方向侧)。再者,可将偏振器件膜Fll的供给路径的一侧即图1所示的+Z方向侧称为偏振器件膜Fll的供给路径的第I侧。
[0060]第3供给部112对卷绕带状的TAC膜F15而成的卷材R15进行保持,并将TAC膜F15沿其长度方向放出。第3供给部112配置在偏振器件膜Fll的供给路径的另一侧(图1所示的-Z方向侧)。再者,可将偏振器件膜Fll的供给路径的另一侧即图1所示的-Z方向侧称为偏振器件膜Fll的供给路径的第2侧。
[0061]剥离部113为如下构成:将COP膜用保护膜F14从放出自第2供给部111的层叠膜F12中剥尚,并收卷成卷同。剥尚部113包括刀口 113a和收卷部113b。
[0062]COP膜用保护膜F14层叠在⑶P膜F13的一面上(与偏振器件膜Fll贴合的贴合面上)。由此,可抑制COP膜用保护膜F14的表面(与偏振器件膜Fll贴合的贴合面)划伤。再者,可像上述那样将COP膜F13的层叠COP膜用保护膜F14的一面称为第3面。
[0063]刀口113a以在层叠膜F12的宽度方向上至少跨及其全宽的方式延伸。刀口 113a以与从卷材R12放卷出来的层叠膜F12的COP膜用保护膜F14侧滑动接触的方式缠绕层叠膜F12。刀口 113a将层叠膜F12呈锐角缠绕在其顶端部。刀口 113a在利用其顶端部将层叠膜F12呈锐角折回时,使COP膜F13与COP膜用保护膜F14分离。刀口 113a将该⑶P膜F13供给至膜层叠装置114。
[0064]收卷部113b收卷经过刀口113a而成为单独的⑶P膜用保护膜F14,并以剥离卷筒R14的形式加以保持。
[0065]剥离部113在偏振器件膜Fll的供给路径的一侧(图1所示的+Z方向侧)配置在第I供给部110与第2供给部111之间。
[0066]再者,第2供给部111、第3供给部112及剥离部113的配置构成并不限于此。例如,也可为第2供给部111及剥离部113双方配置在偏振器件膜Fll的供给路径的另一侧(图1所示的-Z方向侧),且第3供给部112配置在偏振器件膜Fll的供给路径的一侧(图1所示的+Z方向侧)。
[0067]在膜层叠装置114中,上下设置有一对辊114a、114b。偏振器件膜F11、C0P膜F13及TAC膜F15以重合的方式被供给至这两个辊114a、114b之间。继而,通过两个辊114a、114b进行挤压,由此,偏振器件膜Fl 1、COP膜Fl 3及TAC膜Fl 5得以贴合,制造成I张光学膜FlO。再者,COP膜F13及TAC膜F15的表面可进而层叠有剥离膜或保护膜等。该光学膜F通过未图示的输送辊朝缺陷检查装置102输送。
[0068]缺陷检查装置102包括:光源120,其配置在光学膜FlO的上方(图1所示的+Z方向侧);拍摄装置122,其配置在光学膜FlO的下方(图1所示的-Z方向侧);第I偏振滤光片121,其配置在光源120与光学膜FlO之间的光路上;以及第2偏振滤光片123,其配置在拍摄装置122与光学膜FlO之间的光路上。再者,关于缺陷检查装置102的详情,将于后文中叙述。此夕卜,可将配置如上所述的光源120的图1所示的+Z方向侧称为光学膜F10的第1侧。此外,可将配置如上所述的拍摄装置122的图1所示的-Z方向侧称为光学膜F10的第2侧。
[0069]由缺陷检查装置102检测到的光学膜F10的缺陷的数据与光学膜F10的位置(光学膜F10的长度方向的位置以及宽度方向的位置)加以关联并存储至存储装置。经缺陷检查装置102检查后的光学膜F10朝收卷部115输送。继而,在收卷部115上被收卷成卷筒状,从而制造成光学膜F10的卷材R10。
[0070](缺陷检查装置)
[0071]图2为本发明的一实施方式的缺陷检查装置102的侧视图。
[0072]在图2中,符号Sfl为光学膜F10的上表面(光学构件的一侧那一面),为C0P膜F13侧那一面。符号Sf2为光学膜F10的下表面(光学构件的另一侧那一面),为TAC膜F15侧那一面。
[0073]如图2所示,本实施方式的缺陷检查装置102包括:光源120,其配置在光学膜F10的上表面SH侧;拍摄装置122,其配置在光学膜F10的下表面Sf2侧;第1偏振滤光片121,其配置在光源120与光学膜F10之间的光路上;第2偏振滤光片123,其配置在拍摄装置122与光学膜F10之间的光路上;第1移动装置130,其使第1偏振滤光片121朝光源120与光学膜F10之间的光路进退移动;第2移动装置131,其使第2偏振滤光片123朝拍摄装置122与光学膜F10之间的光路进退移动;以及控制装置132。换句话说,第1移动装置130可使第1偏振滤光片121相对于光源120与光学膜F10之间的光路进退移动,第2移动装置131可使第2偏振滤光片123相对于拍摄装置122与光学膜F10之间的光路进退移动。
[0074]控制装置132控制第1偏振滤光片121及第2偏振滤光片123各自的进退移动。控制装置132可对第1移动装置130及第2移动装置131各自进行独立控制。
[0075]光源120的光射出面120a的中心与拍摄装置122的受光面122a的中心同轴配置(配置在光轴CL上)。
[0076]图3为用于说明第1偏振滤光片121的第1吸收轴VI(第2偏振滤光片123的第2吸收轴V2)与偏振器件膜FI 1的吸收轴V0的配置关系的图。
[0077]如图3所示,第1偏振滤光片121具有与偏振器件膜F11的吸收轴V0正交的第1吸收轴VI。第1偏振滤光片121在光源120与光学膜F10之间的光路上以第1偏振滤光片121的第1吸收轴VI与偏振器件膜F11的吸收轴V0相互正交的方式配置(正交尼科耳配置)。
[0078]当将第1偏振滤光片121的第1吸收轴VI与偏振器件膜F11的吸收轴V0设为正交尼科耳配置时,在第1偏振滤光片121与偏振器件膜F11的重叠部分SV1不透光。因此,当通过拍摄装置122拍摄重叠部分SV1时,只要在第1偏振滤光片121与偏振器件膜F11之间未配置有具有相位差的缺陷等扰乱偏振状态的物体,则所见为暗视野。
[0079]第2偏振滤光片123具有与偏振器件膜F11的吸收轴V0正交的第2吸收轴V2。第2偏振滤光片123在拍摄装置122与光学膜F10之间的光路上以第2偏振滤光片123的第2吸收轴V2与偏振器件膜F11的吸收轴V0相互正交的方式配置(正交尼科耳配置)。
[0080]当将第2偏振滤光片123的第2吸收轴V2与偏振器件膜F11的吸收轴V0设为正交尼科耳配置时,在第2偏振滤光片123与偏振器件膜FI 1的重叠部分SV2也不透光。因此,当通过拍摄装置122拍摄重叠部分SV2时,只要在第2偏振滤光片123与偏振器件膜F11之间未配置有具有相位差的缺陷等扰乱偏振状态的物体,则所见也为暗视野。
[0081]图4及图5为用于说明由缺陷检查装置102进行的缺陷E1的检查原理的图。图4为COP膜F13存在缺陷El的情况的图。图5为COP膜F13不存在缺陷、但TAC膜F15存在缺陷E2的情况的图。再者,在图4及图5中,为方便起见,省略了第2偏振滤光片123、第I移动装置130、第2移动装置131及控制装置132的图示。
[0082]如图4所示,从光源120朝光学膜FlO射出的光LI被第I偏振滤光片121转换为线偏振光L2。通过第I偏振滤光片121而获得的线偏振光L2入射至COP膜F13。于是,线偏振光L2的偏振状态被COP膜F13上所存在的缺陷EI扰乱,偏振状态被扰乱后的光的一部分(光L3)穿过偏振器件膜F11。结果,穿过偏振器件膜Fll后的光L3入射至拍摄装置122,由拍摄装置122以亮点的形式明亮地拍摄到缺陷El。
[0083]如图5所示,从光源120朝光学膜FlO射出的光LI被第I偏振滤光片121转换为线偏振光L2 ο通过第I偏振滤光片121而获得的线偏振光L2入射至COP膜Fl 3。于是,由于COP膜Fl 3不存在缺陷,因此线偏振光L2无法穿过偏振器件膜Fl I。结果,由于光不入射至拍摄装置122,因此拍摄装置122拍摄到黑图像。在该情况下,观察不到TAC膜F15上所存在的缺陷E2。
[0084]如此,通过检测亮点的存在,可判定⑶P膜F13有无缺陷El。例如,在通过拍摄装置122拍摄到亮点的情况下,判定COP膜F13“有缺陷”。另一方面,在通过拍摄装置122拍摄到黑图像的情况(什么都没拍摄到的情况)下,判定COP膜F13“无缺陷”。
[0085]图6为缺陷检查装置102的俯视图。在图6中,为方便起见,图示有光学膜F10。
[0086]如图6所示,构成缺陷检查装置102的光源120的光射出面120a为长方形,沿Y方向具有长边。在本实施方式中,光源120的光射出面120a沿光学膜FlO的与输送方向正交的宽度方向具有长边。光源120的光射出面120a以相对于光学膜FlO横跨在宽度方向上的方式形成。例如,作为光源120,可使用金属卤化物灯。
[0087]第I偏振滤光片121以与光源120的光射出面120a的外周部重叠的方式配置。与光源120的光射出面120a—样,第I偏振滤光片121沿Y方向具有长边。第I偏振滤光片121在X方向及Y方向上分别比光源120的光射出面120a长。
[0088]由此,在第I偏振滤光片121被配置在光源120与光学膜FlO之间的光路上的情况下,从光源120射出的光全部入射至第I偏振滤光片121。
[0089]与光源120的光射出面120a—样,拍摄装置122也是沿Y方向具有长边。例如,作为拍摄装置122,可使用线传感照相机。
[0090]第2偏振滤光片123以与拍摄装置122的受光面122a的外周部重叠的方式配置。与拍摄装置122的受光面122a—样,第2偏振滤光片123沿Y方向具有长边。第2偏振滤光片123在X方向及Y方向上分别比拍摄装置122的受光面122a长。
[0091]上述光学膜FlO通过未图示的切割装置被切割为指定尺寸,被制成作为贴合至液晶面板的片材的偏振片。通过将该偏振片贴合至液晶面板,而制造作为光学显示设备的液晶显示装置。
[0092]不过,在液晶面板上贴合有偏振片的液晶显示装置的制造中,在将偏振片贴合至液晶面板时,存在液晶面板因偏振片的应力而产生翘曲的问题。
[0093]本发明者经过努力研究,结果发现,若改变偏振片的构成,则可使液晶面板的翘曲的状态不一样。
[0094]下面,使用图7及图8来进行说明。
[0095]图7为表示将偏振片的构成设为TAC/PVA/TAC的偏振片(TAC/PVA/TAC)在液晶面板P上的贴合例的图。
[0096]如图7所示,在偏振片(TAC/PVA/TAC)的与液晶面板P贴合的贴合面上配置有粘着层F16。偏振片(TAC/PVA/TAC)经由粘着层F16而贴合至液晶面板P。
[0097]图8为表示将偏振片的构成设为C0P/PVA/TAC的偏振片(C0P/PVA/TAC)在液晶面板P上的贴合例的图。
[0098]如图8所示,在偏振片(C0P/PVA/TAC)的与液晶面板P贴合的贴合面(TAC膜侧那一面)上配置有粘着层F16。偏振片(C0P/PVA/TAC)以
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