平板检测装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明属于平板检测技术领域，具体涉及一种平板检测装置。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展，显示装置(液晶显示装置、OLED显示装置等)的尺寸越来越大，其中使用的显示基板(阵列基板、彩膜基板、封装基板)尺寸也越来越大，而制备显示基板用的掩膜版尺寸也相应增大。
[0003]为保证掩膜版、显示基板等的质量，需要对其中的结构进行检测。而要进行检测，则必须先将平板检测单元(如显微镜)准确定位到待检测的位置(如Mark位置)。由于掩膜版、显示基板等的尺寸很大，同时其中的结构很细小(在微米级甚至纳米级)，故平板检测单元必须被很精确的定位。
[0004]现有的平板检测装置中，一般采用光栅尺对平板检测单元的位置进行检测，但光栅尺的检测精度较低，自然也就不能实现对平板检测单元的准确定位，尤其对于大尺寸平板的检测更是如此。
【发明内容】
[0005]本发明针对现有的平板检测装置中对平板检测单元的位置检测精度较低的问题，提供一种可进行高精度位置检测的平板检测装置。
[0006]解决本发明技术问题所采用的技术方案是一种平板检测装置，其包括用于承载待测平板的基台，基台两相对侧分别设有一个沿第一方向设置的第一导轨，两个第一导轨上设有支架，支架上设有沿第二方向设置的第二导轨，第二导轨上设有用于承载平板检测单元的移动块，所述第一方向与第二方向垂直，且所述平板检测装置还包括:
[0007]用于检测支架在第一方向上位置的第一位置检测单元；
[0008]用于检测移动块在第二方向上位置的第二位置检测单元；
[0009]用于检测支架在第二方向上偏移的第一微动检测单元；
[0010]用于检测移动块在第一方向上偏移的第二微动检测单元。
[0011]优选的是，所述第一位置检测单元有两个，分别用于检测支架两端在第一方向上的位置。
[0012]优选的是，所述第一位置检测单元为第一激光干涉测距设备;所述第二位置检测单元为第二激光干涉测距设备。
[0013]优选的是，所述第一微动检测单元为第一电容距离传感器;所述第二微动检测单元为第二电容距离传感器。
[0014]进一步优选的是，所述第一电容距离传感器包括沿第一导轨外侧设置的第一检测基准面和设于支架上与第一检测基准面相对位置的第一检测电极;所述第二电容距离传感器包括沿第二导轨外侧设置的第二检测基准面和设于移动块上与第二检测基准面相对位置的第二检测电极。
[0015]优选的是，所述第一导轨和第二导轨均为气浮导轨。
[0016]优选的是，所述平板检测装置还包括:用于驱动所述支架沿第一导轨运动的第一驱动机构；用于驱动所述移动块沿第二导轨运动的第二驱动机构。
[0017]进一步优选的是，所述第一驱动机构为第一直线电机;所述第二驱动机构为第二直线电机。
[0018]优选的是，所述基台和/或支架由大理石构成。
[0019]优选的是，所述基台被支撑在隔振气囊上。
[0020]本发明的平板检测装置中包括第一位置检测单元和第二位置检测单元，从而可检测出支架和移动块在相应导轨上的总体位置(宏观检测)；同时，平板检测装置中还包括第一微动检测单元和第二微动检测单元，故其可对支架和移动块在与相应导轨垂直方向上的微小偏移进行检测(微观检测)；通过宏观检测和微观检测相结合的方式，该平板检测装置可对平板检测单元进行纳米级(20?50nm)的超高精度检测，并由此实现十分精确的定位。
[0021]本发明的平板检测装置适用于对掩膜版、显示基板等平板进行检测，尤其适用于对大尺寸平板进行检测。
【附图说明】
[0022]图1为本发明的实施例的一种平板检测装置的结构示意图；
[0023]图2为本发明的实施例的一种平板检测装置在另一方向上的结构示意图；
[0024]其中，附图标记为:1、基台；19、隔振气囊；2、支架；3、移动块;39、平板检测单元；41、第一导轨;411、第一直线电机;42、第二导轨;421、第二直线电机;51、第一激光干涉仪；52、第一反射镜;61、第二激光干涉仪;62、第二反射镜;71、第一检测基准面;72、第一检测电极;81、第二检测基准面;82、第二检测电极。
【具体实施方式】
[0025]为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和【具体实施方式】对本发明作进一步详细描述。
[0026]实施例1:
[0027]如图1、图2所示，本实施例提供一种平板检测装置，其可用于对平板状的物体进行检测，如掩膜版、显示基板等，尤其适用于对大尺寸平板进行检测。
[0028]该平板检测装置包括用于承载待测平板的基台I，基台I两相对侧分别各设有一个沿第一方向设置的第一导轨41，两个第一导轨41上设有支架2，支架2上设有沿第二方向设置的第二导轨42，第二导轨42上设有用于承载平板检测单元39的移动块3，第一方向与第二方向垂直。
[0029]其中，如图1、图2所示，待检测的平板被设于基台I上，而基台I的两侧分别各设有一个沿第一方向设置的第一导轨41，一个支架2(龙门架)架设在这两个第一导轨41上，并能沿第一导轨41 (第一方向)运动。支架2上还设有第二导轨42，第二导轨42沿与第一方向垂直的第二方向设置，移动块3设在第二导轨42上并能沿第二导轨42(第二方向)运动。移动块3上设有用于对平板进行检测的平板检测单元39，如显微镜或其他光学、电学检测器等，其具体可根据检测对象和检测项目而定。
[0030]通过以上结构，支架2和移动块3可分别带动平板检测单元39在两个相互垂直的方向上移动，从而可将平板检测单元39移动到平板的任何位置。
[0031]优选的，第一导轨41和第二导轨42均为气浮导轨。
[0032]也就是说，以上的各导轨优选采用气浮导轨的形式，从而保证其上结构的运动平
Ho
[0033]当然，以上导轨并不局限于气浮导轨，其也可为机械导轨等其他已知形式。
[0034]优选的，平板检测装置还包括:用于驱动支架2沿第一导轨41运动的第一驱动机构；用于驱动移动块3沿第二导轨42运动的第二驱动机构。更优选的，第一驱动机构为第一直线电机411;第二驱动机构为第二直线电机421。
[0035]也就是说，如图1、图2所示，还可设置驱动机构直接驱动支架2和移动块3进行运动，为保证运动的精确和稳定，故驱动机构优选采用直线电机的形式。当然，若驱动机构为气缸等其他形式，或者根本没有驱动机构而靠人力推动支架2和移动块3，也都是可行的。
[0036]优选的，基台I和/或支架2由大理石构成。
[0037]也就是说，优选采用大理石来制造基台1、支架2等，从而降低系统的自振频率。
[0038]优选的，基台I被支撑在隔振气囊19上。
[0039]也就是说，为降低振动的传递，优选可用多个隔振气囊19来支撑基台I。
[0040]进一步的，该平板检测装置还包括:
[0041 ]用于检测支架2在第一方向上位置的第一位置检测单元；
[0042]用于检测移动块3在第二方向上位置的第二位置检测单元；
[0043]用于检测支架2在第二方向上偏移的第一微动检测单元；
[0044]用于检测移动块3在第一方向上偏移的第二微动检测单元。
[0045]也就是说，如图1、图2所示，本实施例的平板检测装置中，设有第一位置检测单元和第二位置检测单元，从而分别检测支架2和移动块3在相应导轨上的位置。
[0046]显然，为了实现运动，故支架2和移动块3与相应导轨之间不可能是完全紧密贴合的，必然存在一定间隙，因此支架2和移动块3的运动具有一定的“非直线性”，即当