专利名称：生产管理系统、程序、信息存储介质和生产管理方法
技术领域：
本发明涉及生产管理系统、程序、信息存储介质和生产管理方法。
背景技术：
以往，根据经验获得的每一个生产线为单位的能源或材料的生产费用，技术人员或管理人员根据经验的方法得出生产费用和生产用能源。
可是，采用这样的方法时，其结果随着技术人员或管理人员的不同而不同，并且，为了计算需要很多时间和用工。特别是在如半导体装置制造，需要很多工艺的情形时，很难计算出正确的生产费用和生产用能源。
另外，制造半导体装置时，有时进行生产条件的变更，更换生产工艺顺序的情形。此时，修改生产费用和生产用能源的计算需要大量的时间和用工。
例如，专利文献1(特开2000-76345号公报)中公开了输入生产计划信息和零件信息之后，利用数据库和算法，计算输出按生产线的安装费用的费用研讨支援装置。
可是，该公报记载的费用研讨支援装置只不过是利用电脑替代人工进行的计算而已，并不是生产条件变更时也可以灵活地运算出费用的装置。
本发明是借鉴这样的课题而进行的，其目的在于提供更有效、更正确地运算出每一个生产线或工厂等的规定处理单位费用的生产管理系统、程序、信息存储介质和生产管理方法。
发明内容
为了解决上述课题，本发明的生产管理系统，其特征在于包括输入用户要求的输入单元；利用上述输入单元，根据与使用装置有关的表示随着经过时间的变化而变化的每一个规定时间单位待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的表示随着生产条件和处理量的变化而变化的每一个规定处理单位处理费用的处理费用数据库、与使用装置有关的生产条件和生产工艺的生产工艺信息数据库，运算出对应于所输入要求的总费用的管理单元；把利用上述管理单元运算出的总费用，按规定形式提示给用户的输出单元；其中，上述要求包含表示上述生产条件指定的生产条件指定和表示对应于上述生产工艺规模的累计单位指定的累计单位指定；上述管理单元根据上述生产条件指定选择一台使用装置并根据该使用装置的估计待机时间和该使用装置的单位时间待机费用，运算出对应于上述累计单位指定的总待机费用；上述管理单元根据上述生产条件指定所包含的处理量指定和上述生产条件指定所选择的使用装置的单位处理量的处理费用，运算出对应于上述累计单位指定的总处理费用；并根据上述总待机费用和上述总处理费用运算总费用。
另外，有关本发明的程序是利用电脑读取可能的程序，其特征在于，它使电脑具有用户输入要求的输入单元功能；利用上述输入单元，根据与使用装置有关的表示随着经过时间的变化而变化的每一个规定时间单位待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的表示随着生产条件和处理量的变化而变化的每一个规定处理单位处理费用的处理费用数据库、与使用装置有关的生产条件和生产工艺的生产工艺信息数据库，运算出对应于输入要求的总费用的管理单元功能；把利用上述管理单元运算出的总费用按规定形式提示给用户的功能； 其中，上述要求包含表示上述生产条件指定的生产条件指定和表示对应于上述生产工艺规模的累计单位指定的累计单位指定；上述管理单元根据上述生产条件指定选择一台使用装置并根据该使用装置的估计待机时间和该使用装置的单位时间待机费用，运算出对应于上述累计单位指定的总待机费用；而且上述管理单元根据上述生产条件指定所包含的处理量指定和上述生产条件指定所选择的使用装置的单位处理量的处理费用，运算出对应于上述累计单位指定的总处理费用；并根据上述总待机费用和上述总处理费用运算出总费用。
另外，有关本发明的信息存储介质是存储电脑读取可能程序的信息存储介质，其特征在于，它使电脑存储输入用户要求的输入单元功能程序；利用上述输入单元，根据与使用装置有关的表示随着经过时间的变化而变化的每一个规定时间单位待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的表示随着生产条件和处理量的变化而变化的每一个规定处理单位处理费用的处理费用数据库、与使用装置有关的生产条件和生产工艺的生产工艺信息数据库，运算出对应于输入要求的总费用的管理单元功能程序；为了把利用上述管理单元运算出的总费用按规定形式提示给用户的输出功能程序；其中，上述要求包含表示上述生产条件指定的生产条件指定和表示对应于上述生产工艺规模的累计单位指定的累计单位指定；上述管理单元根据上述生产条件指定选择至少一台使用装置并根据该使用装置的估计待机时间和该使用装置的单位时间待机费用，运算出对应于上述累计单位指定的总待机费用；而且上述管理单元根据上述生产条件指定所包含的处理量指定和上述生产条件指定所选择的使用装置的单位处理量的处理费用，运算出对应于上述累计单位指定的总处理费用；并根据上述总待机费用和上述总处理费用运算出总费用。
另外，有关本发明的生产管理方法的特征在于输入包含表示用户的上述生产条件指定的条件指定、表示对应于上述生产工艺规模累计单位指定的累计单位指定的要求；利用上述输入单元，根据与使用装置有关的表示随着经过时间的变化而变化的每一个规定时间单位待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的表示随着生产条件和处理量的变化而变化的每一个规定处理单位的处理费用数据库、与使用装置有关的生产条件和生产工艺的生产工艺顺序的信息数据库，运算出对应于上述条件指定和上述累计单位指定的费用；把运算出的费用按规定的形式提示给用户。
根据本发明，生产管理系统等预先设定与使用装置有关的单位时间待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的单位处理费用的处理费用数据库、生产条件和生产工艺以及生产工艺顺序与使用装置有关的生产工艺信息数据库，根据生产条件指定可以更有效地选择使用装置，有效地运算出处理费用和对应于累计单位指定的总待机费用。
从而，生产管理系统等根据用户的要求可以有效、正确地运算出总费用并提示给用户。
另外，上述生产管理系统、上述程序和上述信息存储介质中，上述待机费用数据库、上述处理费用数据库和上述生产工艺信息数据库中的至少一个与改进型关联，上述生产条件指定包含改进型指定，上述管理单元根据上述待机费用数据库、上述处理费用数据库和上述生产工艺信息数据库中的至少一个运算出对应于上述改进型指定的总费用，也是可以的。
另外，上述生产管理方法中，上述待机费用数据库、上述处理费用数据库和上述生产工艺信息数据库中的至少一个与改进型关联，上述生产条件指定包含改进型指定并根据上述待机费用数据库、上述处理费用数据库和上述生产工艺信息数据库中的至少一个运算出对应于上述改进型指定的总费用，也是可以的。
根据这些，生产管理系统等可以有效、正确地运算出对应于用户的改进型指定的总费用并提示给用户。
另外，上述生产管理系统、上述程序和上述信息存储介质中，上述生产条件指定包含多个改进型的指定，上述管理单元运算出每一个改进型的总费用，上述输出单元把总费用以表示每一个改进型的总费用差异的形式提示给用户，也是可以的。
另外，上述生产管理方法中，上述生产条件指定包含多个改进型指定，运算出每一个改进型的总费用，把总费用以表示每一个改进型的总费用差异的形式提示给用户，也是可以的。
根据这些，生产管理系统等根据用户的改进型指定，把总费用以表示每一个改进型的总费用差异的形式可以提示给用户。
由此，用户可以进行模拟，哪一个改进型更适合于目的。
另外，上述生产管理系统、上述程序和上述信息存储介质中，上述管理单元可以运算每上述处理单位的费用或每一个生产工艺的总费用，上述输出单元把每上述处理单位的费用或每一个生产工艺的总费用提示给用户，也是可以的。
另外，上述生产管理方法中，运算出每上述处理单位的费用或每一个生产工艺的总费用，把每上述处理单位的费用或每一个生产工艺的总费用提不给用户，也是可以的。
根据这些，生产管理系统等可以把每一个生产工艺的总费用提示给用户。
由此，即使是用户进行生产工艺顺序的变更，可以有效地进行总费用的再运算。
另外，上述生产管理系统、上述程序和上述信息存储介质中，上述使用装置包含半导体制造装置，上述累计单位可以是半导体制造工厂为单位或是半导体制造工艺为单位或是半导体制造线为单位，上述管理单元运算对应于上述要求的有关半导体制造的费用，上述输出单元把有关半导体制造的费用提示给用户，也是可以的。
另外，上述生产管理方法中，上述使用装置包含半导体制造装置，上述累计单位可以是半导体制造工厂为单位或是半导体制造工艺为单位或是半导体制造线为单位，运算对应于上述要求的有关半导体制造的费用，把有关半导体制造的费用提示给用户，也是可以的。
根据这些，即使是如半导体制造工艺存在多个生产工艺的情况下，生产管理系统也可以把总费用提示给用户。
另外，上述生产管理系统、上述程序和上述信息存储介质中，上述输入单元也可以输入随着使用装置待机经过时间的变化而变化的费用或随着使用装置的处理量的变化而变化的费用中的一个，根据上述输入单元所输入的有关费用的信息，上述管理单元进行变换为每一个上述时间单位的费用并输入在待机费用数据库的处理和变换为每一个上述处理单位的费用并输入在处理费用数据库的处理中的至少一个，也是可以的。
另外，上述生产管理方法中，输入随着使用装置待机经过时间的变化而变化的费用或随着使用装置处理量的变化而变化的费用中的至少一个，根据所输入的有关费用信息，进行变换为每一个上述时间单位的费用并输入在待机费用数据库的处理和变换为每一个上述处理单位的费用并输入在处理费用数据库的处理中的至少一个，也是可以的。
根据这些，生产管理系统等把所输入的费用变换为单位时间或单位处理量的费用并存储在数据库的方法，可以更有效地进行运算。
图1是表示本实施形态之一例的制造费用概念和空转费用概念的模式图。
图2是本实施形态之一例的生产管理系统的功能框图。
图3是表示本实施形态之一例的生产管理流程的流程图。
图4是本实施形态之一例的有关生产装置的数据输入用图像的模式图。
图5是本实施形态之一例的有关附加装置的数据输入用图像的模式图。
图6是本实施形态之一例的有关生产处理的数据输入用图像的模式图。
图7是表示本实施形态之一例的RPT概念和PIT概念的模式图。
图8是本实施形态之一例的有关生产工艺的数据输入用图像模式图。
图9是本实施形态之一例的表示综合费用累计结果的图像模式图。
图10是本实施形态之一例的表示装置运转时间累计结果的图像模式图。
图11是本实施形态之一例的表示装置费用累计结果的图像模式图。
图12是本实施形态之一例的表示每一个工艺的费用累计结果的图像模式图。
图13是本实施形态之一例的表示每一个装置的费用累计结果的图像模式图。
图14是本实施形态之一例的一览表示每一个装置的费用累计结果的图像模式图。
图中，1、生产管理系统 10、管理部20、输入部30、输出部41、生产计划数据库 42、生产工艺信息数据库43、生产处理数据库(处理费用数据库)44、生产装置数据库(待机费用数据库)45、附加装置数据库(待机费用数据库)46、单位量信息数据库50、信息存储介质
具体实施例方式
下面，把本发明应用于管理半导体制造装置的生产管理系统的情形作为例，结合附图进行本发明的说明。另外，以下公开的实施例不是限制本发明中所记载的发明内容。还有，以下实施例中公开的构成全部并不是本发明中所记载的发明的解决方案所必须的。
(整个系统的说明)图1是表示有关本实施形态之一例中的制造费用和空转费用概念的模式图。
这里，空转费用是指随着待机经过时间的变化而变化的待机费用。即，空转费用不是随着处理量变化而变化的，因此，不产生附加价值的费用。另外，本实施例中，把每一个规定的时间单位(比如1分钟、1小时)的空转费用称为单位时间空转费用(单位时间待机费用)。
另外，制造费用是指随着生产条件(例如，使用试剂、生产工艺顺序)、处理量(例如一张半导体晶片)的变化而变化的处理费用。即，制造费用(recipe cost)是随着处理量的变化而变化，因此，产生附加价值。另外，在本实施例中，每一个规定的处理单位(比如一张半导体晶片)的制造费用称为单位处理量制造费用(单位处理量处理费用)如图1所示，半导体制造装置在进行制造处理时，会产生制造费用，在半导体制造装置不进行制造处理时，不产生空转费用。
另外，随着处理量的变化而变化的费用一般被称为运转费用，但是，本实施例中的制造费用在随着生产条件和处理量的变化而变化的点上不同于单纯的运转费用。
本实施形态之一例的生产管理系统根据用户的要求累计费用之后，把总费用提示给用户。另外，这个要求包含表示生产条件(如使用材料名称、处理量等)的生产条件指定和表示累计单位(如工厂为单位、装置为单位)的累计单位指定。
首先，根据用户的生产条件指定，生产管理系统至少选择一台装置，并根据该使用装置的估计待机时间和该使用装置的单位时间空转费用，运算出对应于累计单位指定的空转费用(总待机费用)。
另外，根据包含在生产条件指定的处理量和根据生产条件指定所选择的使用装置的单位处理量制造费用，生产管理系统运算出对应于用户要求的累计单位指定的总制造费用(总处理费用)。
然后，生产管理系统利用总空转费用加上总制造费用的运算方法把对应于用户指定的总费用提示给用户。
作为利用于各种运算的数据库，本实施例中还特别采用具有对应于单位时间空转费用、单位处理量制造费用的数据结构的数据库。
由此，生产管理系统可以更有效、更正确地把对应于用户种种要求的累计结果提示给用户。
接着，说明为了实现这种功能的生产管理系统的功能分程序。
图2是有关本实施形态之一例的生产管理系统1的功能框图。
生产管理系统1包括输入用户要求的输入部20、存储种种数据库的存储部40、根据数据库运算对应于输入部20所输入要求总费用的管理部10和由管理部10所运算的总费用以规定的形式提示给用户的输出部30。
另外，存储部40存储有由用户指定的表示生产条件的生产计划数据库41，与生产条件、生产工艺、使用装置有关的生产工艺信息数据库42，作为与单位处理量制造费用、使用装置有关的制造费用数据库(处理费用数据库)的生产处理数据库43，作为与单位时间空转费用、使用装置有关的空转费用数据库(待机费用数据库)的生产装置数据库44，以及附加装置数据库45和单位量信息数据库46。
这里，生产计划数据库41里存储如产品代码、晶片的生产张数。另外，生产工艺信息数据库42里存储如产品代码、工艺名称、生产条件代码、生产装置代码。另外，生产处理数据库43里存储生产条件代码、生产装置代码、每一张晶片的处理时间、使用材料名称、使用用工名称、使用材料量、用工使用量、处理依存保养费用等。
另外，本实施例中，因为生产管理系统1使用在半导体制造装置的管理，作为使用装置有直接与半导体制造有关的生产装置(例如晶片的清洗装置)和不与半导体制造直接有关但用于辅助生产装置目的所使用的附加装置(比如防止环境污染装置)。因此，作为表示有关生产装置信息的数据库设有生产装置数据库44。
更具体地说，生产装置数据库44里存储有生产装置代码、每一分钟的电力消耗量、每一分钟的折旧费、每一分钟的保养费等。另外，附加装置数据库45里存储有生产装置代码、每一分钟的电力使用量、每一分钟的折旧费、每一分钟的保养费、连接的生产装置台数等。
另外，单位量信息数据库46里存储有材料单价信息、用工单价信息、能源单价信息、能源系数等。
另外，生产管理系统1可以安装在一台PC(个人电脑)，也可以把生产管理系统1的各个部分分别分散安装在多台PC机上。例如，安装在PC机时，管理部10可以利用CPU，输入部20可以利用键盘、条码读出器、声音输入部、触摸式面板等，输出部30可以利用视频卡、液晶显示器、打印机、投影器等，存储部40可以利用RAM来实现。
还有，作为管理部10，使电脑具有上述功能程序的信息存储介质50中读取程序，使电脑实现管理部10的功能，也是可以的。
作为这样的信息存储介质50，可以利用如CD-ROM、DVD-ROM、ROM、RAM、HDD等，其程序的读出方式可以是接触方式，也可以是非接触方式。
另外，通过传送经路从主机下载实现上述各个功能的程序的方法，替代信息存储介质50，也可以实现上述管理部10等的功能。
(处理流程的说明)下面，对于利用管理部10的处理流程进行说明。
图3是本实施例有关的表示生产管理处理流程的流程图。在这里，对于工厂设计者利用新的、多个生产装置和多个附加装置来设计工厂时的生产管理处理的流程，按顺序说明数据库的建立方法和数据库的利用方法。
(数据库建立方法的说明)工厂设计者在利用数据库之前，预先在存储部40里建立生产处理数据库43、生产装置数据库44、附加装置数据库45和单位量信息数据库46。
为此，工厂设计者从输入部20输入单位量信息(步骤S1)。这里，作为单位量信息例如，有相当于表示材料的单价、用工的单价、能量的单价等的信息。
管理部10根据单位量信息更新单位量信息数据库46。管理部10参照单位量信息数据库46的方法，例如，根据使用材料的总使用量、单位量信息数据库46的该材料的单价，可以运算出使用材料的总费用。
另外，工厂设计者从输入部20输入生产装置信息(步骤S2)。图4是本实施形态之一例有关生产装置的数据输入用图像的模式图。另外，生产装置是指直接生产对象物(本实施例中是半导体晶片)的装置。具体地说，比如晶片的清洗装置、蚀刻装置等。
在有关生产装置的数据输入用图像中设有种种输入项目。例如，作为这个项目有装置分类、装置ID、机号、生产装置的改进型、装置分类、装置名称、装置厂家、运转率、附加装置名称、附加装置的改进型、生产装置主体的价格(元)、附件的价格(元)、空转时的使用电力[kw]、空转时的冷却水使用量[l/min]、指定时间保养项目、保养总作业时间、保养频率、保养金额、指定时间质量确认名、质量确认张数[张]、质量确认时间[h]、质量确认金额[元/次]、质量确认能量[Kwh/次]、指定时间质量管理项目[次/日]。
管理部10根据生产装置信息更新生产处理数据库43和生产装置数据库44。
工厂设计者从输入部20还输入附加装置的信息(步骤S3)。图5是本实施形态之一例的有关附加装置的数据输入用图像的模式图。这里，附加装置是指不直接生产对象物而辅助生产装置的装置。具体地如使生产装置的排出物无害化的防止环境污染装置。
在有关附加装置的数据输入用图像中设有种种输入项目。作为这个项目有如附加装置名称、机号、改进型、附加装置分类、上位连接台数、附加装置价格(元)、附加装置空转时的消耗电力[kw]、附加装置空转时的冷却水使用量[l/min]、指定时间保养项目、保养总作业时间、保养频率[次/月]、保养金额、指定时间质量确认制造名、质量确认张数[张]、质量确认时间[时]、质量确认金额[元/次]、质量确认能量[kwh/次]、指定时间质量管理项目、质量确认频率[每日]等。这里[张]是指一张晶片，图中有时记作[wf]。
另外，管理部10根据附加装置信息更新附加装置数据库45。
然后，工厂设计者从输入部20输入生产处理信息(步骤S4)。图6是本实施形态之一例的有关生产处理的数据输入用图像的模式图。
另外，作为生产处理项目例如有栋名、装置ID、机号、改进型、制造名、RPT(加工时间)[分]、PIT(零件间隔时间)[分]、一组大小[张/组]、一批大小[组/批]、生产装置使用电力量[kw/分]、生产装置冷却水使用量[l/分]、附加装置使用电力量[kw/分]、附加装置冷却水使用量[l/分]、材料名、材料使用量[cc/张]、指定张数保养项目、总保养作业时间[h]、保养频率[次/月]、保养金额[元/次]、指定张数质量确认制造名、质量确认张数[张]、质量确认时间[h]、质量确认金额[元/次]、质量确认使用能量[kwh/次]、指定张数质量管理项目、质量管理频率[次/张]、使用制造名、使用张数[张]等。
这里说明RPT和PIT。
图7是表示有关本实施形态之一例的RPT概念和PIT概念的模式图。
RPT是指每一张晶片的从开始处理到处理结束为止的时间。而PIT是指从投入一个晶片，到投入下一个晶片为止的时间间隔。
管理部10，作为制造信息把RPT、PIT、表示每一组晶片张数的组的大小、表示每一个处理的组数的批大小存储在生产处理数据库43的方法，不仅可以正确地运算出直线进行多个处理、并列进行多个处理时的费用，还可以容易重新运算出RPT等的生产条件变更时的费用。
管理部10根据用户所输入的生产处理信息更新生产处理数据库43。
然后，工厂设计者从输入部20输入生产工艺信息(步骤S5)。图8是本实施形态之一例的有关生产工艺的数据输入用图像的模式图。
管理部10根据生产工艺信息更新生产工艺信息数据库42。
然后，工厂设计者从输入部20输入生产计划信息(步骤S6)。
作为生产计划信息有产品类型名1、产品类型名1的改进型、产品类型名2、产品类型名2的改进型、工艺顺序、工艺名称1、工艺名称2、装置ID、使用制造名、使用制造名的改进型等。
管理部10根据生产计划信息更新生产计划数据库41。
根据以上的处理，工厂设计者在存储部40里可以建立生产处理数据库43、生产装置数据库44、附加装置数据库45和单位量信息数据库46。
这里，更具体地说明制造费用数据库和空转费用数据库的建立方法。
如上所述，制造费用数据库即生产处理数据库43的费用是具有对应于单位处理量制造费用的数据。
具体地，单位处理量制造费用[元/张]＝每一张用工费用+每一张材料费用+每一张处理依存保养费用+每一张处理量质量确认费用。
这里，每一张用工费用＝用工使用量×用工单价×处理时间。这个用工使用量和处理时间是已在图6所示的生产处理信息的输入(步骤S4)中输入。另外，用工单价是已在单位量信息的输入(步骤S1)中输入。从而，管理部10可以根据这些信息运算出每一张的用工费用。
另外，每一张处理费用＝材料使用量×材料单价。这个材料使用量是已在图6所示的生产处理信息(步骤S4)中输入。另外，材料单价是已在单位量信息的输入(步骤S1)中输入。从而，管理部10可以根据这些信息运算出每一张的材料费用。
另外，每一张的处理量依存保养费用＝处理量依存保养费用/保养频率[张]，每一张处理量依存质量确认费用＝处理量依存质量确认费用/质量确认频率[张]。处理量依存保养费用、保养频率、处理量依存质量确认费用、质量确认频率也已在图6所示的生产处理信息(步骤S4)中输入。从而，管理部10可以根据这些信息运算出每一张的处理量依存保养费用和每一张处理量依存质量确认费用。
利用以上的顺序，管理部10可以运算出每一个装置的单位处理量制造费用并作为生产处理数据库43的一部分来存储。
另外，如上所述，空转费用数据库即生产装置数据库44和附加装置数据库45具有对应于单位时间空转费用的数据。
具体地，单位时间空转费用[元/分]＝待机时间中的每一分钟用工费用+待机时间中的每一分钟折旧费+待机时间中的每一分钟时间依存保养费用+待机时间中的每一分钟时间依存质量确认费用。
这里，待机时间中的每一分钟用工费用＝待机中的用工费用/待机时间。这个待机中的用工费用已在图6所示的生产装置信息的输入(步骤S2)中输入。另外，待机时间可以从生产装置信息输入的运转率中求出。从而，管理部10可以根据这些信息运算出每一分钟的用工费用。
另外，待机时间中的每一分钟折旧费＝折旧费/待机时间。对于折旧费可以由此而来已在生产装置信息的输入(步骤S2)中输入的主体装置价格等来求出。另外，待机时间可以从生产装置信息输入的运转率求出。从而，管理部10可以根据这些信息运算出每一分钟的折旧费。
另外，待机时间中的每一分钟时间依存保养费用＝时间依存保养费用/待机时间，待机时间中的每一分钟时间依存质量确认费用＝时间依存质量确认费用/待机时间。这个时间依存保养费用或时间依存质量确认费用已在图4所示的生产装置信息输入(步骤S2)中输入。从而，管理部10可以根据这些信息运算出每一分钟的时间依存保养费用和每一分钟的时间依存质量确认费用。
另外，管理部10可以同样的顺序运算出附加装置的单位时间空转费用。
利用以上的顺序，管理部10可以运算出每一个装置的单位时间空转费用并作为生产装置数据库44或附加装置数据库45的一部分来存储。
这样，生产管理系统1建立具有对应于单位处理量制造费用的数据的生产处理数据库43、具有对应于单位时间空转费用的数据的生产装置数据库44、附加装置数据库45的方法，有效地利用数据库，可以有效、正确地输出对应于用户要求的数据。
(数据库利用方法的说明)下面，说明数据库的利用方法。首先，工厂设计者从输入部20输入要求(步骤S7)。
这个要求包含表示生产条件指定的生产条件指定和表示对应于生产工艺规模的累计单位指定的累计单位指定。
管理部10根据该要求进行运算(步骤S8)。
更具体地，管理部10选择适合于生产条件指定的生产装置和附加装置并运算这些使用装置的估计待机时间和对应于该估计待机时间的空转费用，根据该空转费用运算对应于累计单位时间的总空转费用。这里，估计待机时间可以从使用装置的运转率求出。
另外，管理部10根据包含在生产条件指定的处理量指定，运算生产条件指定所选择的生产装置的费用，根据该制造费用运算对应于累计单位指定的总制造费用。
管理部10还把总制造费用加上总空转费用，运算总费用。
另外，输出部30根据设计者的要求进行输出(步骤S9)。
在本实施例中，建立管理部10，以便可以执行综合费用累计、装置运转时间累计、装置费用累计、每一个装置的费用累计。下面，说明表示这些累计结果的图像。
利用输出部30显示的主图像中，用户指定综合费用累计、装置运转时间累计、装置费用累计、每一个装置的费用累计等，并可以确认累计结果。
如果用户要求综合费用累计时，输出部30显示表示综合费用累计结果的图像。
图9是本实施形态之一例的表示综合费用累计结果图像的模式图。
表示综合费用累计结果的图像中，提示装置被布置的栋名、装置ID、每一张的平均单价、每一个月的空转费用、每个装置的每一张晶片制造费用、每个装置的每一张晶片制造费用。
另外，如图9所示，表示综合费用累计结果的图像中，每个装置的每一张晶片制造费用、每个装置的每一张晶片制造费用并列提示每一个产品类型和每一个改进型。
由此，用户可以比较每一个产品类型的费用或比较每一个改进型的费用。
这样，把生产工艺信息数据库42、生产处理数据库43、生产装置数据库44和附加装置数据库45内的数据建立成与产品类型、改进型有关联的方法，管理部10可以更有效地进行对应于用户要求的每一个产品类型、每一个改进型的运算。
另外，如果用户要求累计装置运转时间时，输出部30显示表示装置运转时间累计结果的图像。
图10是本实施形态之一例的表示装置运转时间累计结果图像的模式图。
在表示装置运转时间累计结果的图像中，提示装置被布置的栋名、装置ID、装置运转率、现有装置台数、负荷台数、负荷过轻、每一台装置的生产处理时间、生产处理时间占有率、每一台装置的空转时间、空转时间占有率、表示每一台装置在何时进行保养为好的指定时间保养时间、表示每一台装置的在每几张进行保养为好的指定张数保养时间等。
由此，用户可以确认装置在正常运转或是否负荷过轻。
另外，如果用户要求装置费用累计时，输出部30显示表示装置费用累计结果的图像。
图11是本实施形态之一例的表示装置费用累计结果的图像的模式图。
在表示装置费用累计结果的图像中，提示装置被布置的栋名、装置ID、装置运转率、现有装置台数、负荷台数、负荷过轻、每一台装置的每一个月的种种费用(原始费用、用工费用、材料费用、保养费用、质量确认费用、合计这些费用的总处理费用、空转费用、合计总处理费用和空转费用的总费用)、这些种种费用在全装置上的累计值。
由此，用户可以确认哪一台装置的哪一个项目消耗多少费用。
另外，如果用户要求每一个工艺的费用累计时，输出部30显示表示每一个工艺的费用累计结果。
图12是本实施形态之一例的表示每一个工艺的费用累计结果的图像的模式图。
在表示费用累计结果的图像中，提示工艺顺序、表示大分类中的工艺名1、由工艺名1表示的详细的工艺名2、制造名(生产条件名)、该制造的改进型、每一个制造或改进型的费用(原始费用、用工费用、材料费用、易损零件修理费用、质量确认费用和这些费用的累计值)等。
由此，用户可以比较每一个制造或每一个改进型的费用。
另外，生产管理系统1不仅可以提示每一个工艺的费用还可以提示每一个装置的费用。
图13是本实施形态之一例的表示每一个装置费用的累计结果的图像的模式图。
如图13所示，在表示每一个装置费用的累计结果的图像中，提示用户所选择的装置、基础数据、原始数据、待机和处理时的用工使用量和金额、每一个项目的制造费用和空转费用的每一个项目费用和金额、消耗品费用等。
由此，用户可以确认自己选择的装置中的制造费用、空转费用等的各项目中产生多少费用。
图14是本实施形态之一例的表示每一个装置的费用累计结果一览的图像的模式图。
如图14所示，在表示每一个装置费用的累计结果的图像中，提示装置ID、生产条件(制造名和改进型)、制造费用、制造费用的内容(原始费用、用工费用、材料费用、易损零件修理费用和质量确认费用)、空转费用、空转费用的内容(原始费用、用工费用、材料费用、易损零件修理费用和质量确认费用)等。
由此，用户看显示一览的图像可以确认每一个生产条件的各个装置的制造费用和空转费用。
如以上，根据本实施形态，把表示每一个运转时间费用的空转费用和使用装置有关联地建立生产装置数据库44和附加装置数据库45，把表示每一张晶片费用的制造费用和使用装置有关联地建立生产处理数据库43，把生产条件、生产工艺和使用装置有关联地建立生产工艺信息数据库42，这样，生产管理系统1可以更有效、正确地运算出装置为单位、生产线为单位、工艺为单位、产品为单位、工厂为单位等的每一个规定单位的费用。
另外，根据本实施例，与产品类型、改进型有关联地建立生产工艺信息数据库42、生产处理数据库43、生产装置数据库44、附加装置数据库45内的数据，管理部10可以有效地进行根据用户要求的每一个产品类型、改进型的费用。
特别是，根据本实施形态，不仅装置为单位而且把工艺为单位的数据设在生产工艺信息数据库42中的方法，管理部10可以更有效地进行对应于用户要求的每一个工艺费用等的运算。
由此，即使是有用户的工艺顺序变更的要求，管理部10可以更有效地进行对应于工艺顺序变更的费用等的运算。
特别是，根据本实施形态，因为进行对应于生产工艺的累计，用户可以进行如工厂为单位、产品为单位、装置为单位等的任意规模的费用的模拟。
从而，用户进行新工厂的设计时，即使是应用种种改进型、种种装置，利用生产管理系统1，也可以在短时间内有效地进行工厂设计。
(变形例)以上，说明了本发明的最佳实施形态，但是，本发明的应用不限于上述实施例。
比如，在上述的实施例中输出部30中，表的形式提示每一个改进型的费用，但提示为图表形式，也是可以的。
另外，上述的实施例中，把处理时的费用作为制造费用，把待机时的费用作为空转费用，但是，把只是随着处理量的变化而变化的部分作为制造费用，随着处理量的变化而不变化的部分(如减价折旧费)作为空转费用，进行上述运算，也是可以的。
另外，在上述图像中，生产管理系统1把种种项目作为关键，进行列举更换或进行数据文件的输入和输出，也是可以的。
特别是，在上述的实施例中，生产管理系统1是运算了费用，但是，运算生产处理所必要的能源，也是可以的。
权利要求
1.一种管理系统，其特征在于包括输入用户要求的输入单元；利用上述输入单元，根据与使用装置有关的表示随着经过时间的变化而变化的每一个规定时间单位待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的表示随着生产条件及处理量的变化而变化的每一个规定处理单位处理费用的处理费用数据库、与使用装置有关的生产条件和生产工艺的生产工艺信息数据库，运算出对应于输入要求的总费用的管理单元；把利用上述管理单元运算出的总费用，按规定形式提示给用户的输出单元；其中，上述要求包含表示上述生产条件指定的生产条件指定和表示对应于上述生产工艺规模的累计单位指定的累计单位指定；上述管理单元是根据上述生产条件指定选择一台装置并根据该使用装置的估计待机时间和该使用装置的单位时间待机费用，运算出对应于上述累计单位指定的总待机费用；而且上述管理单元根据上述生产条件指定所包含的处理量指定和上述生产条件指定所选择的使用装置的单位处理量的处理费用，运算出对应于上述累计单位指定的总处理费用；并根据上述总待机费用和上述总处理费用运算总费用。
2.根据权利要求1所述的生产管理系统，其特征在于上述待机费用数据库、上述处理费用数据库和上述生产工艺信息数据库中的至少一个是与改进型有关；上述生产条件指定包含改进型的指定；上述管理单元根据上述待机费用数据库、上述处理费用数据库和上述生产工艺信息数据库中的至少一个，运算出对应于上述改进型指定的总费用。
3.根据权利要求2所述的生产管理系统，其特征在于上述生产条件指定包含多个改进型指定，上述管理单元运算每一个改进型的总费用，上述输出单元是把总费用以表示每一个改进型的总费用差异形式提示给用户。
4.根据权利要求1～3的任意1项中所述的生产管理系统，其特征在于上述管理单元运算每一个上述处理单位的费用或每一个不同生产工艺的费用。
5.根据权利要求1～4的任意1项中所述的生产管理系统，其特征在于上述使用装置包含半导体制造装置，上述累计单位是半导体制造工厂为单位或是半导体制造工艺为单位或是半导体制造线为单位，上述管理单元按照上述要求运算出有关半导体制造的费用，上述输出单元把有关半导体制造的费用提示给用户。
6.根据权利要求1～5的任意1项中所述的生产管理系统，其特征在于上述输入单元至少输入使用装置的随着待机经过时间的变化而变化的费用和使用装置的随着处理量的变化而变化的费用中的一个，上述管理单元根据上述输入单元所输入的有关费用信息，至少进行变换为每一个上述单位时间费用并输入在待机费用数据库的处理或变换为每一个上述处理单位费用并输入在处理费用数据库的一方处理。
7.一种程序，利用电脑读取可能的程序，其特征在于它使电脑具有输入用户要求的输入单元功能；利用上述输入单元，根据与使用装置有关的表示随着经过时间的变化而变化的每一个规定时间单位待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的表示随着生产条件和处理量的变化而变化的每一个规定处理单位处理费用的处理费用数据库、与使用装置有关的生产条件和生产工艺的生产工艺信息数据库，运算出对应于输入要求的总费用的管理单元功能；把利用上述管理单元运算出的总费用按规定形式提示给用户的输出功能；上述要求包含表示上述生产条件指定的生产条件指定和表示对应于上述生产工艺规模的累计单位指定的累计单位指定；上述管理单元根据上述生产条件指定选择一台装置，根据该使用装置的估计待机时间和该使用装置的单位时间待机费用，运算出对应于上述累计单位指定的总待机费用；而且上述管理单元根据上述生产条件指定所包含的处理量指定和上述生产条件指定所选择的使用装置的单位处理量的处理费用，运算出对应于上述累计单位指定的总处理费用；并根据上述总待机费用和上述总处理费用运算出总费用。
8.一种信息存储介质，存储电脑读取可能程序的信息存储介质，其特征在于它使电脑存储输入用户要求的输入单元功能程序；利用上述输入单元，根据与使用装置有关的表示随着经过时间的变化而变化的每一个规定时间单位待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的表示随着生产条件和处理量的变化而变化的每一个规定处理单位处理费用的处理费用数据库、与使用装置有关的生产条件和生产工艺的生产工艺信息数据库，运算出对应于输入要求的总费用的管理单元功能程序；为了把利用上述管理单元运算出的总费用按规定形式提示给用户的输出功能程序；其中，上述要求包含表示上述生产条件指定的生产条件指定和表示对应于上述生产工艺规模的累计单位指定的累计单位指定；上述管理单元根据上述生产条件指定至少选择一台使用装置，根据该使用装置的估计待机时间和该使用装置的单位时间待机费用，运算出对应于上述累计单位指定的总待机费用；上述管理单元根据上述生产条件指定所包含的处理量指定和上述生产条件指定所选择的使用装置的单位处理量的处理费用，运算出对应于上述累计单位指定的总处理费用；上述管理单元根据上述总待机费用和上述总处理费用运算出总费用。
9.一种生产管理方法，其特征在于输入包含表示用户的上述生产条件指定的条件指定、表示对应于上述生产工艺规模累计单位指定的累计单位指定等的要求；利用上述输入单元，根据与使用装置有关的表示随着经过时间的变化而变化的每一个规定时间单位待机费用的待机费用数据库、与使用装置有关的表示随着生产条件及处理量的变化而变化的每一个规定处理单位处理费用的处理费用数据库、与使用装置有关的生产条件和生产工艺顺序的生产工艺信息数据库，运算出对应于上述条件指定和上述累计单位指定的费用；把运算出的费用，按规定的形式提示给用户。
10.根据权利要求9所述的生产管理方法，其特征在于上述待机费用数据库、上述处理费用数据库和上述生产工艺信息数据库中的至少一个是与改进型有关；上述生产条件指定包含改进型指定；根据上述待机费用数据库、上述处理费用数据库和上述生产工艺信息数据库的至少一个运算出对应于上述改进型指定的总费用。
11.根据权利要求10所述的生产管理方法，其特征在于上述生产条件指定包含多个改进型指定，运算每一个改进型的总费用，把总费用以表示每一个改进型的总费用差异的形式提示给用户。
12.根据权利要求9～11的任意1项中所述的生产管理方法，其特征在于运算上述处理单位的费用或每一个不同生产工艺的总费用，把上述处理单位的费用或每一个不同生产工艺的总费用提示给用户。
13.根据权利要求9～12的任意1项中所述的生产管理方法，其特征在于上述使用装置包含半导体制造装置，上述累计单位可以是半导体制造工厂为单位或是半导体制造工艺为单位或是半导体制造线为单位，按照上述要求运算出有关半导体制造的费用，把有关半导体制造费用提示给用户。
14.根据权利要求9～13的任意1项中所述的生产管理方法，其特征在于输入使用装置的随着时间的经过而变化的费用或使用装置的随着处理量的变化而变化的费用，根据输入的有关费用的信息至少进行变换为每一个上述时间单位费用并输入在待机费用数据库的处理或进行变换为每一个上述处理单位费用并输入在处理费用数据库的处理。
全文摘要
提供一种生产管理系统、程序、信息存储介质及生产管理方法。构成本发明的半导体制造管理用PC包括输入用户要求的输入部(20)、运算出对应于输入部(20)所输入要求总费用的管理部(10)、把利用管理部(10)运算出的总费用以表的形式提示给用户的输出部(30)；该管理部(10)是根据表示随着运转时间而变化的每一小时费用的空转费用和使用装置有关联地建立的生产装置数据库(44)和附加装置数据库(45)、表示随着生产条件和处理量的变化而变化的每一张晶片费用的制造费用和使用装置有关联地建立的生产处理数据库(43)、生产条件和生产工艺以及生产装置有关联地建立的生产工艺信息数据库(42)，运算出对应于输入部(20)所输入要求的总费用。
文档编号G06Q50/00GK1467589SQ03138509
公开日2004年1月14日 申请日期2003年5月30日 优先权日2002年6月10日
发明者竹内淳一, 土田知明, 明, 三谷英之, 之 申请人:精工爱普生株式会社