专利名称：一种掩模制具表产生方法
技术领域：
本发明是有关于一种制具表，且特别是有关于一种掩模制具表(Mask Tooling Form)产生方法。
背景技术：
随着半导体技术的发展，集成电路的应用亦随之不断地增加。一个集成电路的产生需先经由集成电路设计者设计所需的功能电路，再将功能电路相关的掩模制造数据提供给制造商。投单(Tape Out)则是指集成电路设计要将掩模制造数据送交制造商进行制造的这个阶段。掩模制造数据包括掩模制具表(Mask Tooling Form,MTF)0为了提供掩模制具表给制造商，集成电路设计者需要参考页数众多的使用者手册并以人工的方式来填写掩模制具表(Mask Tooling R)rm)。不仅耗时费力而且相当容易出错。
发明内容
本发明是有关于一种掩模制具表(Mask Tooling Form)产生方法，使用者能通过于元件服务需求(Device Service Request,DSR)表上选择所需元件，以自动地产生正确的掩模制具表。根据本发明，提出一种掩模制具表产生方法。掩模制具表产生方法包括产生元件服务需求表，并经由网络接口输出至客户端计算机；经由网络接口接收元件服务需求数据， 元件服务需求数据是客户端计算机响应于元件服务需求表所产生；以及根据元件服务需求数据产生掩模制具表。根据本发明，提出一种掩模制具表产生装置。掩模制具表产生装置包括网络接口、 元件服务需求表产生单元及掩模制具表产生单元。网络接口经由网络与客户端计算机沟通；元件服务需求表产生单元产生元件服务需求表，并经由网络接口输出至客户端计算机。 掩模制具表产生单元经由网络接口接收元件服务需求数据，元件服务需求数据是客户端计算机响应于元件服务需求表所产生。掩模制具表产生单元根据元件服务需求数据产生掩模制具表。根据本发明，提出一种掩模制具表产生系统。掩模制具表产生系统包括客户端计算机及掩模制具表产生装置。掩模制具表产生装置包括网络接口、元件服务需求表产生单元及掩模制具表产生单元。网络接口经由网络与客户端计算机沟通；元件服务需求表产生单元产生元件服务需求表，并经由网络接口输出至客户端计算机。掩模制具表产生单元经由网络接口接收元件服务需求数据，元件服务需求数据是客户端计算机响应于元件服务需求表所产生。掩模制具表产生单元根据元件服务需求数据产生掩模制具表。为了对本发明的上述及其它方面有更佳的了解，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下
图1绘示为依照本发明实施例的一种掩模制具表(Mask Tooling Form)产生系统的示意图。图2绘示为依照本发明实施例的一种掩模制具表产生方法的流程图。图3绘示为依照本发明实施例的一种元件服务需求表的示意图。图4绘示为标准元件字段的示意图。图5绘示为选择性元件字段的示意图。主要元件符号说明11 客户端计算机12:掩模制具表产生装置13:网络21 23:步骤30:元件服务需求表31 产品基本数据域位32:静电保护字段33 特殊需求字段34 元件字段121:网络接口122 元件服务需求表产生单元123 掩模制具表产生单元341 标准元件字段342 选择性元件字段
具体实施例方式为了提供使用者一个更人性化的操作接口，下述实施例提供一种掩模制具表 (Mask Tooling R)rm)产生方法、掩模制具表产生装置及掩模制具表产生系统。掩模制具表产生方法包括产生元件服务需求表，并经由网络接口输出至客户端计算机；经由网络接口接收元件服务需求数据，元件服务需求数据是客户端计算机响应于元件服务需求表所产生；以及根据元件服务需求数据产生掩模制具表。掩模制具表产生系统包括客户端计算机及掩模制具表产生装置。掩模制具表产生装置包括网络接口、元件服务需求表产生单元及掩模制具表产生单元。网络接口经由网络与客户端计算机沟通。元件服务需求表产生单元产生元件服务需求表，并经由网络接口输出至客户端计算机。掩模制具表产生单元经由网络接口接收元件服务需求数据，元件服务需求数据是客户端计算机响应于元件服务需求表所产生。掩模制具表产生单元根据元件服务需求数据产生掩模制具表。请参照图1，图1绘示为依照本发明实施例的一种掩模制具表(Mask Tooling Form)产生系统的示意图。掩模制具表产生系统1包括客户端计算机11及掩模制具表产生装置12，且掩模制具表产生装置12例如为制造商计算机。掩模制具表产生装置12包括网络接口 121，元件服务需求(Device Service Request,DSR)表产生单元122及掩模制具表产生单元123，且网络接口 121经由网络13与客户端计算机11沟通。元件服务需求表产生单元122及掩模制具表产生单元123例如是由处理器执行计算机应用程序所实现，而计算机应用程序例如为Visual basic或Visual C。请同时参照图1、图2及图3，图2绘示为依照本发明实施例的一种掩模制具表产生方法的流程图，图3绘示为依照本发明实施例的一种元件服务需求表的示意图。掩模制具表产生方法能应用于前述掩模制具表产生装置12，且掩模制具表产生方法包括如下步骤。首先如步骤21所示，元件服务需求表产生单元122产生如图3绘示的元件服务需求表 30，并经由网络接口 121输出至客户端计算机11。所以，客户端计算机11仅需透过网络13 进入掩模制具表产生装置12的相关网站即能显示元件服务需求表30。接着如步骤22所示，掩模制具表产生单元123经由网络接口 121接收元件服务需求数据。进一步来说，集成电路设计者能经由客户端计算机11于元件服务需求表30中选择所需的元件(Device)，使得客户端计算机11响应于元件服务需求表30产生元件服务需求数据。前述元件例如为金属氧化物半导体晶体管(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor, MOSFET)、双极性结晶体管(Bipolar Junction Transistor, BJT)、电阻、电容或二极管等。跟着如步骤23所示，掩模制具表产生单元123根据元件服务需求数据产生掩模制具表。此外，掩模制具表产生单元123更能根据元件服务需求数据执行一仿真程序，以产生最少掩模数的掩模制具表。请同时参照图3、图4及图5，图4绘示为标准元件字段的示意图，图5绘示为选择性元件字段的示意图。元件服务需求表30包括产品基本数据域位31、静电保护(Electro Static Discharge, ESD)字段32、特殊需求字段33及元件字段34。产品基本数据域位31 进一步包括研磨厚度字段及金属厚度字段。静电保护字段32进一步包括静电保护离子注入(Ion Implantation, IMP)选项及非轻掺杂漏极(Lightly-Doped Drain，LDD) N 晶体管选项。特殊需求字段33用以供集成电路设计者填写对产品的特殊要求。元件字段34进一步包括标准元件字段341及选择性元件字段342，标准元件字段 341及选择性元件字段分别包括多个标准元件选项及多个选择性元件选项。标准元件选项包括多个不同工艺的标准元件选项。举例来说，种类N、NV、P及PN是属于MOS在5V的工艺，种类NA、PA、PU属于MOS在18V的工艺，而种类NL、NS、PL及PS属于MOS在24V的工艺。 相似地，选择性元件选项包括多个不同工艺的选择性元件选项。举例来说，种类Ni、NE、NN 及PV是属于MOS在5V的工艺，种类NB、PB、PT属于MOS在18V的工艺，而种类NK、NQ、PK 及PQ属于MOS在MV的工艺。上述的掩模制具表产生方法、掩模制具表产生装置及掩模制具表产生系统提供集成电路设计者一个更人性化的操作接口。集成电路设计者能通过元件服务需求表直观地选择所需元件，而不需再担心掩模制具表是否出错。不仅如此，上述的掩模制具表产生方法、 掩模制具表产生装置及掩模制具表产生系统提供集成电路设计者一个仿真功能，对元件服务需求数据执行一仿真程序，以产生最少掩模数的掩模制具表。由于掩模的价格昂贵，因此减少掩模的使用量能大幅降低工艺费用以提高产品竞争力。综上所述，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视随附的权利要求范围所界定的为准。
权利要求
1.一种掩模制具表产生方法，其特征在于，包括产生一元件服务需求表，并经由一网络接口输出至一客户端计算机； 经由该网络接口接收一元件服务需求数据，该元件服务需求数据是该客户端计算机响应于该元件服务需求表所产生；以及根据该元件服务需求数据产生该掩模制具表。
2.根据权利要求1所述的掩模制具表产生方法，其特征在于，于产生该掩模制具表的该步骤是根据该元件服务需求数据执行一仿真程序，以产生最少掩模数的该掩模制具表。
3.根据权利要求1所述的掩模制具表产生方法，其特征在于，该元件服务需求表包括一元件字段，该元件字段包括一标准元件字段及一选择性元件字段，该标准元件字段及该选择性元件字段分别包括多个标准元件选项及多个选择性元件选项。
4.根据权利要求3所述的掩模制具表产生方法，其特征在于，该些标准元件选项包括多个不同工艺的标准元件选项。
5.根据权利要求3所述的掩模制具表产生方法，其特征在于，该些选择性元件选项包括多个不同工艺的选择性元件选项。
6.根据权利要求1所述的掩模制具表产生方法，其特征在于，该元件服务需求表更包括一静电保护字段，该静电保护字段包括一静电保护离子注入选项及一非轻掺杂漏极N晶体管选项。
7.根据权利要求1所述的掩模制具表产生方法，其特征在于，该元件服务需求表更包括一研磨厚度字段。
8.根据权利要求1所述的掩模制具表产生方法，其特征在于，该元件服务需求表更包括一金属厚度字段。
9.根据权利要求1所述的掩模制具表产生方法，其特征在于，该元件服务需求表更包括一特殊需求字段。
全文摘要
本发明公开了一种掩模制具表产生方法，该掩模制具表产生方法包括产生元件服务需求表，并经由网络接口输出至客户端计算机；经由网络接口接收元件服务需求数据，元件服务需求数据是客户端计算机响应于元件服务需求表所产生；以及根据元件服务需求数据产生掩模制具表。
文档编号G06Q10/06GK102542371SQ201010588858
公开日2012年7月4日 申请日期2010年12月10日 优先权日2010年12月10日
发明者余宗翰, 游政豪, 陈伸安, 陈永初 申请人:旺宏电子股份有限公司