技术总结
本发明公开了一种用于半导体设备的Recipe管理方法、Recipe管理装置及半导体设备控制系统。该Recipe管理方法包括：判断RecipeStep信息的RecipeStepName中是否包括预先设置的循环步骤标识，所述循环步骤标识用于标识所述RecipeStep信息中的循环Step内容；若判断出所述RecipeStepName中包括所述循环步骤标识，根据获取的所述循环Step内容和所述循环步骤标识执行Recipe操作指令；若判断出所述RecipeStepName中未包括所述循环步骤标识，根据所述RecipeStep信息逐步执行Recipe操作指令。该用于半导体设备的Recipe管理方法对于循环Step内容无需执行重复操作，减少了人力和资源的浪费，从而减少了操作时间的开销。
技术研发人员：陈玉静
受保护的技术使用者：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
文档号码：201210101132
技术研发日：2012.04.01
技术公布日：2017.03.22