技术总结
一种对化合物半导体器件生长程序的文件转换方法，按照语法规则分别读取化合物半导体器件生长程序文件与各层材料参数文件，同时结合预设的工艺文件与数值仿真分析控制参数生成适合数值仿真分析软件的专属文件，极大地提高了器件结构文件生成的便利性、可靠性、可维护性，同时使得原位分析得以进行，可以应用在各种化合物半导体器件结构的数值模拟与分析中，诸如多结太阳电池、微波器件、光电探测器、激光器等。
技术研发人员：张玮;陆宏波;李欣益;张梦炎;张华辉;杨丞;陈杰;张建琴;郑奕
受保护的技术使用者：上海空间电源研究所
文档号码：201610970630
技术研发日：2016.10.28
技术公布日：2017.05.10