指纹识别探头及指纹识别模组的制作方法

文档序号:12250998阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种指纹识别探头,其特征在于,包括:

压电层,所述压电层包括呈阵列排列的多个压电柱及填充于所述压电柱之间的绝缘材料;

形成在所述压电层上方的多条接收极线,每条接收极线与对应一列所述压电柱连接;及

形成在所述压电层下方的多条发射极线,每条发射极线与对应一行所述压电柱连接;

所述指纹识别探头包括探头底面,所述探头底面包括边缘及所述边缘围绕的中间区域,所述指纹识别探头包括形成于所述底面的多个焊垫,至少部分所述焊垫位于所述中间区域,所述指纹识别探头还包括多个贯穿所述绝缘材料且连接一条所述接收极线或所述发射极线的过孔。

2.如权利要求1所述的指纹识别探头,其特征在于,所述焊垫呈阵列排布,且全部位于所述中间区域。

3.如权利要求1所述的指纹识别探头,其特征在于,部分所述焊垫位于所述中间区域,其他所述焊垫位于所述边缘。

4.如权利要求3所述的指纹识别探头,其特征在于,位于所述边缘的所述焊垫呈线性排列,位于所述中间区域的所述焊垫呈阵列排列。

5.如权利要求1所述的指纹识别探头,其特征在于,所述压电柱高度为70-80微米。

6.如权利要求1所述的指纹识别探头,其特征在于,相邻两个所述压电柱之间的距离小于或等于50微米。

7.如权利要求1所述的指纹识别探头,其特征在于,所述过孔通过蚀刻所述绝缘材料形成。

8.如权利要求1所述的指纹识别探头,其特征在于,所述过孔通过硅通孔技术形成。

9.如权利要求1所述的指纹识别探头,其特征在于,所述过孔避让所述发射极线及所述接收极线。

10.一种指纹识别模组,其特征在于,包括如权利要求1-9任一项所述的指纹识别探头。

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