图24(b)所示的尺寸Wcp的一半的距离)的2?3倍左右。
[0100]具体而言，金属线的交叉部附近的、比金属线的交叉部以外的部分粗的部分的宽度Wcp (图24(b))例如为50 μ m，当正方形区域Rs的一边的长度为40 μ m时，正方形区域Rs的中心需要从交点部Mcp的中心离开至少45 μm以上，优选离开10ym左右。
[0101]也就是说，通过像这样将正方形区域Rs设定成与交点部Mcp分离，与沿着列电极102的理想轮廓Sp2的分割带Db2交叉的网格边部，在要按照理想轮廓Sp2分割的部分与金属线同士的交点部Mcp重叠的情况下，实际上在与金属线彼此的交点部Mcp不重叠的分割部被分割，此外，行电极101也同样地，与沿着行电极101的理想轮廓Spl的分割带Dbl交叉的网格边部，在要按照理想轮廓Spl分割的部分与金属线彼此的交点部Mcp重叠的情况下，实际上在与金属线彼此的交点部Mcp不重叠的分割部被分割。
[0102]以下，对作用效果进行说明。
[0103]例如，用图5和图6说明使用计算机辅助作图装置对例如用于通过利用了光刻法的导体层的选择蚀刻制作图4所示的网格构造的列电极102的掩模图案进行设计的方法。
[0104]图5示出对用于利用光刻法制作图4所示的网格构造的列电极的掩模图案进行设计的方法。
[0105]图6是示出对用于利用光刻法制作图4所示的网格构造的列电极的掩模图案进行设计的次序的图。
[0106]首先，使网格状金属层Lp2的金属线Mw2的方向，如图5所示，与作图装置的屏幕的水平方向和垂直方向一致，也就是说在用图18说明的使基准坐标系C右旋转规定角度α而得到的旋转坐标系C’中，设定构成网格状金属层Lp2的金属线Mw2所占的区域的布局LI’(步骤SI)。布局LI’相当于图18所示的网格状金属层Lp2中的金属线Mw2的图案。
[0107]接着，在该旋转坐标系C’中，设定沿着列电极的理想轮廓Sp2的、用于将网格状金属层Lp2图案化的分割带Db2所占的区域的布局L2’ (步骤S2)。该布局L2’相当于图21所示的沿着列电极的轮廓(理想轮廓)Sp2的分割带Db2的图案。
[0108]接着，通过布局LI’和L2’的图形处理求出该分割带Db2的占有区域与金属线Mw2的占有区域重叠的交叉区域的布局，在该交叉区域或其附近区域配置预先准备的正方形图案，在该旋转坐标系C’中设定该正方形图案的占有区域(正方形区域)Rs的布局L3’(步骤 S3) ο
[0109]正方形区域Rs是成为将金属线分割的分割部的区域，一边的长度被设定为长于金属线的线宽(I μ m?10 μ m)的尺寸(例如40 μ m?50 μ m)，该正方形区域Rs以正方形的一边与网格的一边(即金属线Mw2的延伸方向)平行的方式配置。此外，网格状金属层的网格的大小为I边500 μ m左右。它们的尺寸小为好，但当过于小时，可靠性下降，当过大时，触摸位置的分辨率下降。此外，该正方形区域(分割部)Rs以与金属线Mw2彼此的交点部Mcp和金属线彼此的交点部附近的比金属线的交叉部以外的部分粗的部分不重叠的方式隔开固定距离地定位。
[0110]接着，根据金属线的布局LI’和正方形区域的布局L3’，在该旋转坐标系C’中设定金属线的占有区域中与正方形区域的占有区域重叠的部分以外的区域的布局L4’(步骤S4)，将该布局L4’转换为基准坐标系C的布局L4，形成用于将网格构造的列电极图案化的、规定列电极的实际轮廓的掩模图案(步骤S5)。另外，用于将网格构造的行电极101图案化的、规定行电极的实际轮廓的掩模图案的形成，也与上述的用于将列电极图案化的掩模图案的形成同样地进行。
[0111]使用这样的掩模图案能够形成例如列电极。
[0112]简单地说明如下，首先，在上述绝缘性片基材的整面形成铜等的金属层，在其上形成抗蚀剂膜后，使用具有上述掩模图案的曝光掩模进行抗蚀剂膜的曝光和曝光后的抗蚀剂膜的显影，由此将网格构造的列电极及其伪电极的图案转印到抗蚀剂膜上。然后，将抗蚀剂膜作为蚀刻掩模使用，对上述金属层有选择地进行蚀刻，由此形成网格构造的列电极及其伪电极，制成第二传感器片。另外，具有行电极的第一传感器片也能够同样地形成。
[0113]此外，第一传感器片和第二传感器片也可以不利用使用了上述那样的光抗蚀剂的有选择的蚀刻处理，而通过将预先具有与网格构造的行电极或列电极及其伪电极的图案对应的图案的薄膜金属层印刷到绝缘性片基材上而形成。
[0114]像这样，在本实施方式I中，即使在如图7(a)所示，用于行电极和列电极的图案化的分割带Db2相对于构成网格状金属层的金属线減以小角度交叉，金属线与分割带的重叠部分的面积大的情况下，用于这些行电极和列电极的图案化的金属线的分割也与金属线Mw2的宽度方向平行地进行，从而能够减小金属线Mw2的分割部的面积。
[0115]而且，在该实施方式I中，因为使用于行电极和列电极的图案化的金属线的分割方向为与金属线的宽度方向平行的方向，因此如图7(a)所示，即使在例如行电极或列电极的理想轮廓(分割带Db2)与网格状金属层的金属线Mw2以小角度交叉的情况下，由于分割与金属线垂直地进行，所以金属线Mw2的分割箇所的前端不会变细。因此，能够抑制实际上通过金属层的蚀刻形成网格构造的电极时，金属线Mw2的分割部位的前端比其它部分容易被蚀刻的情况，能够使网格状金属层的图案化后的金属线Mw2的分割部的宽度Wdl (图7(c))几乎与设计上的金属线Mw2的分割部的宽度Wdl (图7(b))相同。
[0116]此外，在该实施方式I的触摸面板中，将构成网格状金属层的金属线的分割部形成在金属线的交叉部Mcp及其附近以外，因此在网格状金属层的图案化时，能够避免金属线的线宽变宽的交叉部Mcp及其附近部分被除去。
[0117]对该效果进行补充如下，在网格状金属层的金属线Mw2彼此的交点部Mcp，由于网格状金属层的蚀刻的特性，如图24所示，蚀刻后的金属线Mw2的形状(图24(b))成为与设计上的金属线Mw2的形状(图24(a))相比鼓起的形状。这是因为在网格状金属层的金属线Mw2的交点部Mcp，蚀刻液的流动性差，蚀刻率比金属线Mw2的交点部以外的部分降低。
[0118]因此，如图25所示，当分割网格状金属层的分割带Db2与该金属线Mw2的交点部Mcp重叠时，在与分割带Db2重叠的金属线的交点部Cpa，网格状金属层的金属线在比与分割带Db2重叠的金属线的交点部以外的部分Cpb宽的面积被除去，这是在触摸面板的表面产生浓淡不均的原因。
[0119]对此，如本实施方式I那样，通过将构成网格状金属层的金属线的分割部与金属线的交叉部Mcp及其附近的线宽膨胀的部分分离地配置，在网格状金属层的图案化时，能够避免金属线的线宽变宽的交叉部Mcp及其附近部分被除去。
[0120]由此，能够降低在触摸面板的表面出现的浓淡的不均。
[0121]另外，在本实施方式I中，将构成网格状金属层的金属线Mw的分割部形成在金属线的交叉部以外，但在能够进行上述金属线Mw的交叉部及其附近的线宽不宽于金属线的交叉部Mcp及其附近以外的部分的线宽这样的图案化的情况下，构成网格状金属层的金属线的分割部无论是否为金属线的交叉部分，均可以设定在行电极或列电极的理想轮廓与金属线重叠的部分。
[0122](实施方式2)
[0123]图8是说明作为本发明的实施方式2的输入装置的静电电容型触摸面板的图，图8(a)示出通过网格状金属层的图案化而形成该触摸面板的列电极时，网格状金属层的金属线与列电极的理想轮廓的交叉位置的金属线的分割部，图8(b)将图8 (a)的AS部分放大表不O
[0124]该实施方式2的触摸面板，在实施方式I的触摸面板的结构的基础上，构成为:网格状金属层的金属线Mw2与列电极的理想轮廓Sp2 (分割带Db2)的交叉位置存在2处的、金属线Mw2的网格边部，在2处交叉位置Cpl和Cp2之间的中点位置Cpr分割。
[0125]这样的列电极的掩模图案能够通过在实施方式I中说明的步骤S3，即设定正方形形状的占有区域的布局L3’的工序中，如图8(b)所示，在2处交叉位置Cpl和Cp2之间的中点位置Cpr设定用于金属线減的分割的正方形区域Rs而得到。
[0126]此外，在该实施方式2中，行电极也与列电极同样地，构成为:在网格状金属层的金属线与行电极的理想轮廓的交叉位置存在2处的、金属线的网格边部中，在2处交叉位置之间的中点位置分割。
[0127]像这样在本实施方式2中，在构成行电极的网格状金属层中，令网格状金属层的金属线与其理想轮廓的交叉位置存在2处的、金属线的网格边部为在2处交叉位置之间的中点位置分割的构造，在构成列电极的网格状金属层中，令网格状金属层的金属线Mw2与其理想轮廓Sp2的交叉位置存在2处的、金属线Mw2的网格边部为在2处交叉位置Cpl和Cp2之间的中点位置Cpr分割的构造，因此，能够避免由于网格状金属层的图案化，金属线在I个网内的2部位被分割而产生短的金属线片。由此，能够避免短的金属线片从绝缘性片基板剥离，在相邻的行电极、列电极之间引发短路。
[0128]另外，在该实施方式2中，在构成行电极或列电极的网格状金属层中，令网格状金属层的金属线与行电极或列电极的理想轮廓的交叉位置存在2处的金属线的网格边部为在2处交叉位置Cpl和Cp2之间的中点位置Cpr分割的构造，但在此情况下，分割的位置并不限定于2处交叉位置Cpl和Cp2之间的中点位置，只要在2处交叉位置Cpl和Cp2之间即可。
[0129]进一步，在该实施方式2中，根据加工条件的不同，不是必须如实施方式I那样，使金属线的分割部与金属线彼此的交点部隔开规定距离。
[0130]例如，在交点部及其附近的金属线的膨胀程度小的情况下，在行电极或列电极与理想轮廓交叉的交叉位置存在2处的网格边部，通过在这2处交叉位置之间进行分割，能够避免易剥离的短的金属线片的产生，从而避免行电极、列电极的短路，并且能够抑制由该短的金属线片的随机剥离引起的浓淡不均。
[0131](实施方式3)
[0132]图9是说明作为本发明的实施方式3的输入装置的静电电容型触摸面板的图，图9(a)示出在通过网格状金属层的图案化形成该触摸面板的列电极时，网格状金属层的金属线与列电极的理想轮廓Sp2的交叉位置的金属线的分割部位，图9 (b)将与图9 (a)的A9部分对应的列电极的分割部Dp放大;^出。
[0133]该实施方式3的触摸面板在实施方式2的触摸面板的技术方案的基础上，构成为:在网格状金属层的金属线彼此的交点部Mcp与用于列电极的图案化的沿着其理想轮廓Sp2的分割带Db2重叠的部分，在从交点部Mcp隔开固定距离的3部位分割金属线Mw2。另外，行电极也为与列电极相同的构造。
[0134]也就是说，在与用于列电极的图案化的分割带Db2重叠的金属线彼此的交点部(特定交点部)Mcp，金属线Mw不被分割，将与该特定交点部连接的多个网格边部中的3个网格边部在从特定交点部隔开固定距离的附近位置分割。这里，使分割部Dp(即正方形区域Rs)从交点部Mcp隔开的距离，如实施方式I中说明的那样，至少为金属线彼此的交点部附近的比金属线彼此的交点部以外的部分粗的部分不被分割的程度的距离。
[0135]这样的列电极的掩模图案能够通过在实施方式I中说明的步骤S3、即设定正方形形状的占有区域的布局L3’的工序中，如图9 (a)的A9部分所示，在与分割带Db2重叠的特定交点部Mcp不配置用于金属线的分割的正方形区域Rs，而在与该特