触控显示面板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示触控领域，尤其涉及触控显示面板。
【背景技术】
[0002]随着人机交互技术的发展，触控技术越来越多地使用在各种显示器上。电容性触控技术由于其耐磨损、寿命长，用户使用时维护成本低，并且可以支持手势识别及多点触控的优点而被广泛地使用。
[0003]电容性触控技术根据不同对象之间的电容的检测方式，可以分为自电容式触控技术和互电容式触控技术。自电容式触控技术根据输入对象和电极之间的电容变化来检测输入对象在触摸屏上的存在、位置及运动。互电容式触控技术则根据输入对象导致的电极间的电容变化来检测输入对象在触摸屏上的存在、位置及运动。
[0004]然而，对于互电容式触控技术，需要将电极层划分为多个触控电极以检测显示面板不同位置的电容。这样，相邻触控电极之间会形成狭缝。尤其对于共用电极复用为触控电极时，由于共用电极上会具有一些供像素电极和源漏极连接的开口，而这样的设置会使得共用电极在这些开口与上述狭缝之间的关键尺寸(critical dimens1n，⑶)过细进而使得工艺难度增加、影响面板开口率、共用电极的电阻增加，而电阻的增加进一步造成共用电极上信号延迟增大等问题，进而影响触控显示面板的触控检测能力和显示效果。
【发明内容】
[0005]本发明为了克服上述现有技术存在的缺陷，提供一种触控显示面板，其改善触控显示面板的触控检测能力和显示效果。
[0006]根据本发明的一种方面，提供一种触控显示面板，包括:第一基板;薄膜晶体管，设置在所述第一基板之上;像素电极层，设置在所述薄膜晶体管之上，所述像素电极层通过接触孔连接所述薄膜晶体管的漏极或源极;共用电极层，设置在所述第一基板之上，位于所述像素电极层之下，所述共用电极层划分为多个共用电极，相邻所述共用电极之间形成狭缝，所述狭缝与位于所述狭缝之上的所述接触孔连接。
[0007]与现有技术相比，本发明通过相邻共用电极之间形成的狭缝与位于狭缝之上的接触孔连接，来改善触控显示面板的触控检测能力和显示效果，并具有如下优势:
[0008]I)增大了共用电极的关键尺寸，减少共用电极图案化制程工艺的难度；
[0009]2)减小共用电极的电阻，进而减少共用电极上的信号延迟。
【附图说明】
[0010]通过参照附图详细描述其示例实施方式，本发明的上述和其它特征及优点将变得更加明显。
[0011 ]图1示出了现有技术的触控显示面板的示意图。
[0012]图2示出了现有技术的触控显示面板AA’部分的示意性截面图。
[0013]图3示出了根据本发明第一实施例的触控显示面板的示意图。
[0014]图4示出了根据本发明第一实施例的触控显示面板BB’部分的示意性截面图。
[0015]图5示出了根据本发明第二实施例的触控显示面板的示意图。
[0016]图6示出了根据本发明第三实施例的触控显示面板的示意图。
[0017]图7示出了根据本发明触控驱动电极和触控感测电极的示意图。
[0018]图8示出了根据本发明触控显示面板的截面图。
[0019]图9示出了根据现有技术的共用电极的示意图。
[0020]图10示出了根据现有技术的共用电极的电阻等效图。
[0021 ]图11示出了根据本发明第一实施例的共用电极的示意图。
[0022]图12示出了根据本发明第一实施例的共用电极的电阻等效图。
【具体实施方式】
[0023]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式;相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略对它们的重复描述。
[0024]所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本发明的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员应意识到，没有特定细节中的一个或更多，或者采用其它的方法、组元、材料等，也可以实践本发明的技术方案。在某些情况下，不详细示出或描述公知结构、材料或者操作以避免模糊本发明。
[0025]本发明的附图仅用于示意相对位置关系，某些部位的层厚采用了夸示的绘图方式以便于理解，附图中的层厚并不代表实际层厚的比例关系。
[0026]应理解，当称元件或层在另一元件或层“之上”或者“连接”另一元件或层时，它可以直接在另一元件或层上或直接连接到另一元件或层，或者还可以存在插入的元件或层。
[0027]本发明现有技术可参考图1和图2所示的触控显示面板100。触控显示面板100包括基板190、多条栅极线140、多条数据线130、多个薄膜晶体管160、像素电极层120及共用电极层110。其中，像素电极层120通过第一接触孔121连接薄膜晶体管160的漏极或者源极162。共用电极层110划分为多个共用电极111，相邻共用电极111 (例如共用电极11 Ia和共用电极Illb)之间形成狭缝112。
[0028]由于共用电极层110位于像素电极层120和薄膜晶体管160的漏极或者源极162所在的金属层之间，第一接触孔121需要穿过共用电极层110，才能使得像素电极层120与薄膜晶体管160的漏极或者源极162连接，因此，共用电极111具有供第一接触孔121穿过的开口113。
[0029]然而，按现有技术的方式，在狭缝112和开口113之间的公共电极111的关键尺寸(如dl和d2所示)过细，增加共用电极111的制造工艺难度。同时，共用电极111这样的形状使得共用电极111的电阻相比其他没有开口的共用电极电阻更大，进而造成共用电极111上信号延迟。
[0030]为了改善现有技术的缺陷，本发明提供一种触控显示面板。首先参见图3和图4来描述本发明提供的触控显示面板的第一实施例。
[0031]在第一实施例中，触控显示面板200包括基板290、多个薄膜晶体管260、像素电极层220及共用电极层210。
[0032]多个薄膜晶体管260设置在基板290之上。优选地，每个像素区280中设置至少一个薄膜晶体管260 ο例如，在本实施例中，每个像素区280中仅设置一个薄膜晶体管260。而在一些变化例中，像素区280中也可以设置多个薄膜晶体管260。各薄膜晶体管260包括栅极261、源极263、漏极262。薄膜晶体管260的漏极262通过第一接触孔221与像素电极层220连接(在本实施例中以漏极262通过第一接触孔221与像素电极层220连接，但不构成对本实施例的限定，也可以是以源极263通过第一接触孔221与像素电极层220连接)。
[0033]在本实施例中，薄膜晶体管260为顶栅结构的薄膜晶体管。薄膜晶体管260的半导体层250位于薄膜晶体管260的栅极261所在的金属层和基板290之间。薄膜晶体管260的源极263和漏极262所在的金属层位于栅极261所在的金属层之上。薄膜晶体管260的源极263通过接触孔连接至半导体层250。薄膜晶体管260的漏极262通过接触孔连接至半导体层250。
[0034]薄膜晶体管260的结构并非以此为限，其也可以具有底栅结构。薄膜晶体管260的结构可随不同的实施例变化，在此不再一一赘述。
[0035]需要说明的是，在本实施例中，半导体层250的材料可以