触控面板的制作方法_2

文档序号:8580576阅读:来源:国知局
基材。基材2的材料可以例举的是聚酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚碳酸酯、聚甲基丙烯酸甲酯、聚萘二甲酸乙二醇酯等透明材料。基材2的厚度优选的是10 μ m?2000 μ m左右。此外,可以将所述材料层叠为多层。此外,可以在基材2的表面和背面设置用于保护表面和背面的硬涂层、反射防止层、防污层、抗粘连层、接收层等功能层、或对基材2的表面和背面进行等离子处理等。基材2具有手指或导电性笔等能够触摸的中央的传感器区域R以及包围传感器区域R的周缘区域C。多列的第一电极3和第二电极4配置在传感器区域R内。
[0043]第一电极3沿基材2的一个面T的第一方向(图示例中左右的Y方向)隔开规定间隔成列配置,相邻的第一电极3之间电绝缘。各列的第一电极3分别具有多个第一电极单元30。另一方面,第二电极4沿基材2的一个面T的、与所述第一方向(Y方向)垂直交叉的第二方向(图示例中上下的X方向)隔开规定间隔成列配置,相邻的第二电极4之间电绝缘。各列的第二电极4分别具有多个第二电极单元40。另外,在本实施方式中,第一方向(Y方向)和第二方向(X方向)垂直,但是也可以以不垂直的角度在基材2的一个面T上配置第一电极3和第二电极4。
[0044]多个第一电极单元30以等间隔配置在基材2的一个面T的第二方向(X方向)上。第一电极单元30通过使多个相对于X方向朝向倾斜方向(U方向或V方向)的两种导线L1、L2(图3所示)交叉而形成为网眼状,是组合有多个格子K的形状。格子K在图示例中为正方形,但是并不限于此,也可以是菱形等任意形状。导线L1、L2的线宽例如为I ym?30 μ m左右,优选的是I μ m?15 μ m左右。此外,导线L1、L2的间距例如为50 μ m?500 μ m左右。此外,导线L1、L2的厚度例如为0.1 μπι?ΙΟμπι左右。由于具有这种尺寸的第一电极单元30的导线L1、L2的线宽非常细且间距相对于线宽非常大,所以不醒目。
[0045]多个第二电极单元40沿基材2的一个面T的第一方向(Y方向)等间隔配置。在本实施方式中,第一电极单元30和第二电极单元40的外形是菱形,第二电极单元40设置成以与设置在基材2的一个面T上的第一电极单元30不重叠的方式填充不存在第一电极单元30的空着的空间。由此,基材2的传感器区域R成为铺满多个第一电极单元30和多个第二电极单元40的状态。此外,在传感器区域R内设置有在铺满的各电极单元30、40之间延伸的间隙S1、S2。各间隙S1、S2分别沿相对于X方向为倾斜方向的U方向和V方向延伸并到达周缘区域C。第二电极单元40也与第一电极单元30同样,通过使多个两种导线L1、L2交叉而形成为网眼状。所述第二电极单元40的导线L1、L2与第一电极单元30的导线L1、L2的线宽、间距、厚度相同,第二电极单元40是组合有多个与第一电极单元30相同形状的格子K的形状。第二电极单元40的导线L1、L2由与第一电极单元30的导线L1、L2相同的材料形成。由此,由于可以将第二电极单元40与第一电极单元30 —同形成在基材2的一个面T上,所以能够高效形成。
[0046]另外,第一电极单元30和第二电极单元40的外形并不是必须为菱形,只要能够在第一电极单元30和第二电极单元40之间确保绝缘性并能够检测手指等的接触点,第一电极单元30和第二电极单元40的外形可以是任意形状。
[0047]此外,在所述的说明中,所谓的网眼状除了包含导线L1、L2以具有交点的方式交叉的情况以外,也包含由于在线交叉的部分中至少一方的线间断,所以线和线没有交点但交叉的情况(大体网眼状)。
[0048]优选的是,所述导线L1、L2分别相对于显示装置(未图示)的黑矩阵朝向倾斜方向(相对于X方向或Y方向倾斜的U方向或V方向)。由于如果导线L1、L2与黑矩阵朝向相同方向则容易产生波纹),所以通过采用上述方式防止产生波纹。由于所述理由,后述的布线5和辅助线6也相对于黑矩阵倾斜。
[0049]所述导线L1、L2例如可以使用光刻法形成在基材2上。例如,在将铜或银等金属薄膜成膜在基材2的一个面T上之后,在金属薄膜的表面薄薄地涂布感光性抗蚀剂并进行加热。通过在抗蚀剂的涂布面上配置图案掩模,并从其上方以规定时间照射紫外线来进行曝光,制作由曝光的部分和未曝光的部分构成的图案。此外,使用显影液除去未曝光部分的抗蚀剂来形成抗蚀图案,对金属薄膜的露出部分进行蚀刻并将其从基材2上除去,在基材2上形成导线L1、L2的布线图案。此后,通过除去金属薄膜上剩余的抗蚀剂,形成导线L1、L2。利用溅射或真空蒸镀等成膜方法进行金属薄膜的成膜。此外,使用利用酸或氧化剂等进行的湿式蚀刻、或者利用激光烧蚀或腐蚀性气体进行的干式蚀刻进行蚀刻。
[0050]另外,在形成导线L1、L2时,为了防止导线L1、L2的老化,优选的是在表面设置防锈层。例如可以在基材2的一个面T上形成金属薄膜时,通过将镍铜(NiCu)等具有防锈作用的金属作为薄膜堆积在金属薄膜的表面来形成防锈层。
[0051]此外,在形成导线L1、L2时,优选的是进行黒化处理,用于抑制使形成为网眼状图案的第一电极单元30和第二电极单元40的不可见性(难以看出电极有/无的差异)恶化的金属光泽。所述黒化处理例如可以通过如下方式进行:当在基材2的一个面T上形成金属薄膜时,使基材2的一个面T或成膜在基材2的一个面T上的金属薄膜的表面变色为黒色等能够抑制光反射的低反射色。例如在利用溅射或真空蒸镀等使金属薄膜成膜在基材2的一个面T上时,可以通过使氧气或氮气等气体流入室内,并将通过金属的氧化或氮化生成的生成物质作为薄膜堆积在金属薄膜的最下层或最表层上,由此使基材2的一个面T或金属薄膜的表面变色为黒色等低反射色。由此,蚀刻和抗蚀剂除去后的导线L1、L2在其表面或背面(与基材2的边界面)具有通过黒化处理形成的黒化层。其结果,由于能够抑制导线L1、L2的金属光泽,所以能够使第一电极单元30和第二电极单元40的不可见性良好。另外,在将金属薄膜成膜在基材2的一个面T上时,也可以通过将光反射率低的金属堆积在金属薄膜的表面或背面(与基材2的边界面)上,由此使基材2的一个面T或金属薄膜的表面变色为黒色等低反射色。
[0052]此外,也可以通过如下方式进行黑化处理:在形成导线L1、L2之后,通过将导线L1、L2的表面浸渍在硫酸或氢氧化钠水溶液等药液中而使其变色为黒色等低反射色。此外,也可以通过利用电镀等在导线L1、L2上堆积氧化铜等光反射率低的氧化物等来进行黒化处理。
[0053]另外,作为导线L1、L2的形成方法,也可以使用所述方法以外的光刻法。例如可以通过使用了银油墨这样的具有感光性的导电性油墨进行的光刻法,来形成导线L1、L2。此夕卜,作为导线L1、L2的形成方法并不限于利用光刻法的方法,也可以通过丝网印刷、凹版印刷、喷墨印刷等公知的印刷方法把包含银、金、白金、钯、铜、碳等极微细的导电性颗粒的导电性油墨、PEDOT、PSS这样的透明导电性树脂,以呈细线图案状的方式印刷在基材2上,由此形成导线L1、L2。
[0054]在各第一电极单元30和各第二电极单元40上连接有线状的布线5。各布线5以相互不交叉地延伸的方式从各第一电极单元30或各第二电极单元40引出到基材2的周缘区域C。在本实施方式中,与和周缘区域C相邻的各第一电极单元30和各第二电极单元40 (即,配置在带状的各第一电极3和各第二电极4两端的各第一电极单元30和各第二电极单元40)连接的布线5配置在传感器区域R的外侧并保持原样在周缘区域C内延伸。另一方面,与其他的各第一电极单元30和各第二电极单元40连接的布线5在第一电极单元30和第二电极单元40之间的间隙S1、S2内延伸并被引出到周缘区域C。例如,在图1和图3中,各布线5从各电极单元30、40的上侧端部被引出到在各电极单元30、40上方相邻的间隙S1、S2中的沿U方向延伸的间隙SI,并且在所述间隙SI内以直线状的方式延伸到周缘区域
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