专利名称：磁头的静止姿势角校正方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及磁头的静止姿势角校正方法及装置。
背景技术：
在浮起型磁头装置中，为实现高密度记录再现，高精度地保持由头支承装置支承的磁头的静止姿势角成为基本的要求事项。磁头装置的静止姿势角包括俯仰角和横摆角。
但是，磁头装置做成在头支承装置(吊架)的一端用粘接剂粘接磁头的结构，因此，由于该粘接结构有时静止姿势角从规定的角度产生偏移。
磁头装置是将经复杂的工艺制造的高价格的磁头安装在高精度、高价格的头支承装置构成，在磁头装置的阶段不允许静止姿势角不在规定角度内而作为不良品处理。
作为用于校正静止姿势角偏移的校正手段，已知使用了推压工具的机械性推压的校正手段。在采用该推压工具的静止姿势角校正方法中，通过推压安装了磁头的挠性体来弯曲挠性体，由此校正磁头的静止姿势角。
但是，通过机械性推压，对挠性体赋予很大的弯曲位移，也因挠性体具有的恢复力，弯曲还原。这意味着，必须用比赋予规定的静止姿势角的弯曲位移大很多的弯曲位移来弯曲挠性体。
当对挠性体赋予大的弯曲位移时，从负载梁对挠性体施加载荷的突起部(凹痕(デインプル))和挠性体之间产生缝隙，有时发生所谓凹痕浮现。一旦发生凹痕浮现，不能从负载梁对挠性体施加载荷，不能确保规定的磁头浮起特性。
另外，作为磁头的支承机构，已知将磁头安装在万向架的头/万向架组装体(Head Gimbal Assembly，下面称为HGA)、将HGA安装在臂的头/臂组装体(Head Arm Assembly，下面称为HAA)及将多个HAA层叠的头/层叠组装体(Head Stack Assembly，下面称为HSA)。
在此，HAS将两个一组的HAA组装成磁头相互面对，所以磁头进入到万向架的内侧，磁头的姿势角的检测及激光照射困难。
作为解决上述问题点的手段，专利文献1，2公开了如下技术通过对挠性体施加用于静止姿势角校正的弯曲，向弯曲区域照射激光并释放应力，以接近所施加的弯曲角度的角度进行弯曲。
的确，根据此现有技术，仅以小的弯曲角度弯曲头支承装置，能得到可以确保较大的静止姿势角变化量的突出的效果。但是，在HAS没有明确表示解决固有问题点的手段。
专利文献1日本特开2001-357644号公报专利文献2日本特开2001-357645号公报发明内容本发明的课题是提供一种磁头的静止姿势角校正方法及装置，在上述的先行技术上加以改良，在HSA中也能够自动校正静止姿势角。
为解决上述课题，涉及本发明的静止姿势角校正方法，对在头支承体的长度方向的一端侧即自由端侧设置的挠性体上安装的磁头静止姿势角进行校正时，首先，对用至少两个摄像装置拍摄上述磁头得到的图像信号进行分析并生成校正条件。然后，基于上述校正条件，对上述挠性体施加静止姿势角校正用的弯曲，向上述挠性体的产生弯曲的区域照射激光。
如上所述，在涉及本发明的静止姿势角控制方法中，首先，对用至少两个摄像装置拍摄上述磁头得到的图像信号进行分析并生成校正条件。拍摄磁头得到图像信号的优点是，使用CCD摄像机等的摄像装置，从任意方向拍摄检测对象的磁头，可以得到与其姿势角有关的信息。即，在成为检测对象的磁头隐藏在万向架的内侧的HAS中，也可以将CCD摄像机配置在HAS的侧向或前方等任意方向，生成磁头的图像信号，分析该信号，能够得到姿势角的信息。可以考虑使用激光自动准直器取代CCD摄像机，激光自动准直器的情况下，由于捕捉反射光，设置位置的自由度没有CCD摄像机高。
然后，分析如上述得到的图像信号生成校正条件，基于校正条件，对挠性体施加静止姿势角校正用的弯曲，向挠性体的产生弯曲的区域照射激光。
对挠性体施加了静止姿势角校正用的弯曲时，在挠性体产生与弯曲相应的应力。在本发明中，向挠性体的产生弯曲的区域照射激光。由此，照射了激光的产生弯曲的区域的应力，通过伴随激光照射的热而释放。因此，在接受此激光照射的区域的挠性体的恢复量减小，以接近施加的弯曲角度的角度弯曲。这意味着，即使赋予挠性体的弯曲变化量较小，也能对挠性体赋予较大的弯曲角度。由此，仅以较小的弯曲角度弯曲挠性体，可以确保较大的静止姿势角变化量。
作为成为姿势角校正的基础的磁头的拍摄方法，可考虑下面的方法。
(a)从在头支承体的长度方向所取的自由端的前方拍摄上述磁头，并且从与长度方向大致差90度的侧向拍摄上述磁头，分析由两个拍摄得到的图像信号，生成校正条件。
(b)从在头支承体的长度方向所取的自由端的前方拍摄上述磁头，并从方向与长度方向大致差90度的两侧向拍摄上述磁头，分析其图像信号，生成校正条件。
(c)从方向与头支承体的长度方向大致差90度的两侧向拍摄上述磁头，分析其图像信号，生成校正条件。
而且，作为姿势角的判定方法，根据ABS面相对于图像信号上假定为磁头的空气轴承面(下面称为ABS面)的倾斜角为零的基准线所成的角来确定姿势角的方法有效。具体地，根据基准线和ABS面的棱线形成的角确定姿势角。
上述静止姿势角校正方法，通过本发明公开的磁头静止姿势角校正装置实施。此磁头静止姿势角校正装置包括校正装置、激光振荡装置、摄像装置、及计算机系统。上述校正装置对上述挠性体施加弯曲。上述激光振荡装置向弯曲区域照射激光。上述摄像装置拍摄上述磁头，生成其图像信号。上述计算机系统分析从上述摄像装置供给的图像信号，生成校正条件。上述校正装置基于从上述计算机系统供给的校正条件，对上述挠性体施加弯曲。
根据上述的静止姿势角校正装置，显然可以自动执行涉及本发明的静止姿势角校正方法，但是，对于包括在此装置的构成要素，更优选的方式如下。
首先，摄像装置可以包括第1摄像装置和第2摄像装置。上述第1摄像装置从在上述长度方向所取的自由端的前方拍摄上述磁头；上述第2摄像装置从与上述长度方向大致差90度的侧向拍摄上述磁头。
根据摄像装置的上述配置，可以通过第1摄像装置得到与磁头的横摆角有关的信息，可以通过第2摄像装置得到俯仰角的信息。因此，可以将通过摄像装置得到的图像信号利用于横摆角及俯仰角的校正。
摄像装置还可以包括第3摄像装置。第3摄像装置从与上述第2摄像装置相对置的侧向拍摄上述磁头。根据此结构，可以由第2摄像装置及第2摄像装置的两者得到俯仰角的信息，可以执行高精度的俯仰角校正。
另外，作为其它方式，也可以是通过两个摄像装置从方向与上述长度方向大致差90度的两侧向拍摄上述磁头的结构。
下面，计算机系统作为一种优选方式，具有CPU和向对于上述磁头的静止姿势角的值的校正条件赋予等级并预先存储的存储部。上述CPU从上述存储部读取与从上述测量装置供给的测量值对应的上述校正条件，向上述校正装置供给读取出的校正条件。
根据这样的计算机系统可知构筑以CPU为中心的磁头静止姿势角校正系统，可以自动地、再现性好地校正磁头的静止姿势角。
在确定上述计算机系统的姿势角时，可以采用根据上述磁头的ABS面相对于在上述图像信号上假定为上述ABS面的倾斜角为零的基准线所成的角来确定姿势角的方法。
更具体的，上述计算机系统根据从上述空气支承面的2个棱线到上述基准线的距离的差确定横摆角。
上述校正装置可以具有可以将前端向上述挠性体的表面推压的多个可动性校正针。根据此校正装置，根据校正针的配置、校正针的推入量，可以容易调整俯仰角及横摆角。而且，上述校正条件可以包括对上述挠性体的上述校正针的抵接位置、上述校正针的推入量、激光照射位置的条件。
上述校正针优选与上述挠性体的表面具有规定的角度倾斜配置。根据此配置，在HSA中也可以使校正针抵接在挠性体，施加弯曲。而且，对于小型化的磁头及挠性体，也可以回避被设置多个的校正针相互的接触、重叠等的相互干扰。
发明效果如上所述，根据本发明，可以提供在HSA中也可以自动校正静止姿势角的磁头的静止姿势角校正方法及装置。
对于本发明的其他目的、结构及效果，参照实施方式的附图详细说明。
图1是表示直接使用于涉及本发明的姿势角校正方法的实施的姿势角校正装置的结构的图。
图2是表示涉及本发明的姿势角校正装置适用的摄像装置配置的图。
图3是表示第1摄像装置的图像的图。
图4是表示第2摄像装置的图像的图。
图5是表示第3摄像装置的图像的图。
图6是表示在涉及本发明的姿势角校正装置中包括的校正装置的针配置的图。
图7是表示在涉及本发明的姿势角校正装置中包括的激光振荡装置的配置的图。
图8是涉及本发明的姿势角校正方法的流程图。
图9是说明由第1摄像装置拍摄的图像和利用它的横摆角校正方法的图。
图10是说明由第2摄像装置拍摄的图像和利用它的俯仰角校正方法的图。
图11是说明由第3摄像装置拍摄的图像和利用它的俯仰角校正方法的图。。
图12是说明第2摄像装置及第3摄像装置的横摆角检测方法的图。
图13是说明对于姿势角的检测值的校正条件的等级赋予的图。
图14是说明校正装置的俯仰角调整方法的图。
图15是说明校正装置的另一个俯仰角调整方法的图。
图16是说明校正装置的横摆角调整方法的图。
图17是说明校正装置的另一个横摆角调整方法的图。
图18是表示向挠性体的激光照射位置的图。
图19是表示涉及本发明的姿势角校正装置的具体结构的平面图。
图20是图19表示的姿势角校正装置的正面图。
图21是图19、图20表示的姿势角校正装置的侧面图。
具体实施例方式
图1表示直接使用于涉及本发明的静止姿势角(下面称为姿势角)校正方法的实施的姿势角校正装置的结构的图，图2是适用涉及本发明的姿势角校正方法的磁头装置的平面图。图示的姿势角校正装置适用于HAS的姿势角校正。
HSA95是层叠了两个HAA951、HAA952的组装体，HAA951、952各自包括头支承装置1和磁头2。头支承装置包括负载梁11、挠性体12、臂13。负载梁11在通过中央的长度方向轴线L的自由端附近具有突起部111。图示的负载梁11在宽度方向的两侧具有弯曲部118(参照图1)，通过此弯曲部118增加刚性。
挠性体12由薄的弹簧板材构成，一个面安装在具有负载梁11的突起部111的一侧的面，从突起部111承受推压载荷。在挠性体12的另一面安装有磁头2。挠性体12在具有负载梁11的突起部111的侧，由点焊接等方法贴合。也可以使用铆接等方法取代点焊接。挠性体12在中央具有舌状部120。舌状部120的一端与挠性体12的横框部121结合。挠性体12的横框部121的两端与外框部123、124相连。在外框部123、124和舌状部120之间，在舌状部120的周围形成有槽122。在舌状部120的一面用粘接剂等安装了磁头2，突起部111的前端弹簧接触。
HAA951、952使磁头2的ABS面相互面对并利用结合部材953层叠。HSA95的多个例如在工件托盘971等上隔开间隔配置，工件托盘971放置在运送工具973上，由推动工具972向运送工具973推动。
在图1图示的姿势角校正装置用于对上述HAS的磁头2的姿势角进行校正。在姿势角中包括俯仰角及横摆角。俯仰角是在负载梁11的长度方向轴线L(参照图2)方向所取的与基准线交叉的角度，横摆角是围绕长度方向轴线L所取的角度。姿势角受到对头支承装置的磁头2的组装状态、头支承装置1的弯曲等的影响进行各种变化。涉及本发明的姿势角校正方法及校正装置用于将此姿势角设定为要求的值。
作为其方法，涉及本发明的姿势角校正装置，包括摄像装置A～C、校正装置92、激光振荡装置911、912、计算机系统94。下面，说明此结构及功能。
首先，摄像装置A～C包括第1摄像装置A、第2摄像装置B、第3摄像装置C。图3～图5是模式地表示第1摄像装置A、第2摄像装置B及第3摄像装置C的看法。当把图2的配置状态放在心上看这些图时，首先，第1摄像装置A如图2图示地从在长度轴线方向L所取的自由端的前方拍摄磁头2，得到如图3图示的图像。在图像中设定图像信号上假定为磁头2的ABS面的横摆角为零的基准线LA0。
第2摄像装置B如图2所示地从与长度轴线方向L大致差90度的侧向拍摄磁头2，得到如图4所示的图像。在图像中设定图像信号上假定为磁头2的ABS面的俯仰角为零的基准线LB0。
第3摄像装置C如图2所示地从与第2摄像装置B相反方向拍摄磁头2，如图5所示，得到与第2摄像装置B左右相反的图像。在图像中设定图像信号上假定为磁头2的ABS面的横摆角为零的基准线LC0。
根据摄像装置A～C的上述配置，可以通过第1摄像装置A得到与磁头2的横摆角有关的信息，可以通过第2摄像装置B及第3摄像装置C得到俯仰角的信息。因此，可以将通过摄像装置得到的图像信号用于横摆角及俯仰角的校正。
最低限度地，若有第2摄像装置B能检测出俯仰角，在图示中，除了第2摄像装置B以外，包括第3摄像装置。根据此结构，可以通过第2摄像装置B及第3摄像装置C两者得到俯仰角的信息，可以执行高精度的俯仰角校正。
另外，作为其它方式，可以从第2摄像装置B及第3摄像装置C两者得到横摆角的信息、磁头棱线的位置，可以计算出横摆角。此时，也可以省略横摆角测量用的第1摄像装置A。
(校正装置)图6是表示校正装置92的图。若参照图6，校正装置92具有可以将前端向挠性体12的表面推压的多个可动性校正针922～925。在此实施例中，校正装置92具有四个校正针922～925、和驱动部932～935。校正针922～925均为由驱动部932～935直线传送的可动针，在前端部可以接触到挠性体12的外框部123、124的位置配置。校正针922、924配置在挠性体12的一面侧(安装了磁头2的面侧)，校正针923、925配置在挠性体12的另一面侧。在图示中，校正针922和校正针923相对置，校正针924和校正针925相对置，但也可以不对置。即，也可以配置在相互不同的位置。校正针922～925优选与挠性体12的表面具有规定的角度倾斜配置。根据此配置，在HSA中也可以使校正针922～925与挠性体12抵接，施加弯曲。而且，对于小型化的磁头2及挠性体12，也可以回避被设置多个的驱动部932～935的相互接触、重叠等的相互干扰。
(激光振荡装置)图7是表示激光振荡装置的配置状态的图。激光振荡装置911、912向挠性体12的区域照射激光LA(参照图1)。激光振荡装置911、912可以使用包括YAG激光的各种激光。图示的激光振荡装置911、912在挠性体12中朝向弯曲的部分。在图示的实施例中，具备2个激光振荡装置911、912，其个数是任意的。而且，在实施例中，激光振荡装置911、912与挠性体12的表面具有规定的角度倾斜配置。根据该倾斜配置，在HAS中也不会由其他HAA妨碍，可以从斜方向向挠性体12的需要的部位照射激光。
(计算机系统)计算机系统94具有CPU941、和向对于磁头2的姿势角的值的校正条件赋予等级并预先存储的存储部942(例如ROM)。CPU941从存储部942读取与从摄像装置A～C供给的测量值对应的校正条件，向校正装置92供给读取的校正条件。校正装置92基于从计算机系统94供给的校正条件，对挠性体1212施加弯曲。计算机系统94是包括CPU941及存储装置的程序执行装置，除个人计算机或微型计算机以外，还包括称为顺序控制器单元(sequencer unit)的装置等。
下面，与上面例举的图、尤其是图1一起参照图8，说明涉及本发明的姿势角校正方法。图8是涉及本发明的姿势角校正方法的流程图。
首先，通过经过工件托盘971的设置、开始运行、工件托盘运入、工件固定等准备阶段，如图1所示，HSA95及工件托盘971放置在运送工具973上，由推动工具972推动。
在此状态下，通过摄像装置A～C检测磁头2的姿势角。下面参照图9～图12，说明由摄像装置A～C进行的磁头2的姿势角检测方法。由第1～第3的摄像装置A～C得到的图像信号，供给计算机系统94进行分析。然后，检测横摆角及俯仰角。
首先，参照图9说明横摆角的检测手法。横摆角通过分析第1摄像装置A的图像信号确定。横摆角基本上被确定为，ABS面相对于图像信号上假定为磁头2的ABS面的横摆角为零的基准线LA0所成的角。具体地，如图9所示，分析第1摄像装置A的图像信号，可以检测从ABS面的2个棱线LA1，LA2到基准线LA0的距离ΔA1、A2的差(ΔA1-ΔA2)，确定横摆角。
俯仰角通过分析第2摄像装置B、第3摄像装置C的图像信号确定。俯仰角确定为，ABS面相对于图像信号上假定为磁头2的ABS面的俯仰角为零的基准线LB0、LC0所成的角。具体地，第2摄像装置B的情况下，如图10所示，可以根据从ABS面的两个棱线LB1，LB2到基准线LB0的距离ΔB1、ΔB2的差(ΔB1-ΔB2)确定俯仰角。第3摄像装置B的情况下，如图11所示，可以根据从ABS面的2个棱线LC1，LC2到基准线LC0的距离ΔC1、ΔC2的差(ΔC1-ΔC2)确定俯仰角。
横摆角可以通过分析第2摄像装置B、第3摄像装置C的图像信号确定。图12是表示其具体例的图。若参照图12，横摆角相对于连接第2摄像装置B、第3摄像装置C的各个校正的原点的基准线LA0，确定为ABS面所成的角。具体地，根据从第2摄像装置B、第3摄像装置C的校正基准线LA0到ABS面的两个棱线LA1，LA2的距离ΔA3、ΔA4的差(ΔA3-ΔA4)，可以确定横摆角。
计算机系统94的CPU941，从存储部942读取与分析第1～第3摄像装置A～C的图像信号得到的横摆角(ΔA1-ΔA2)、及俯仰角(ΔB1-ΔB2)、(ΔC1-ΔC2)的测量值对应的校正条件，将读取的校正条件供给校正装置92。在校正装置92中，基于从计算机系统94供给的校正条件，对校正针922～925赋予校正移动工作，由此对挠性体12施加弯曲。校正条件包括对挠性体12的校正针922～925的抵接位置、校正针922～925的压入量、激光照射位置的条件。并且，校正条件可以包括激光LA的照射时间。
下面，说明由计算机系统94进行的校正条件的设定、及校正针922～925的移动控制。如上所述，在姿势角中包括俯仰角及横摆角，姿势角受到与头支承装置1对应的磁头2的装配状态、头支承装置1的弯曲等的影响进行各种变化。并且，俯仰角及横摆角以水平位置为基准值0，取正值及负值。因此，俯仰角及横摆角必须设定为正或负的规定值。
作为其手段，向对于磁头2的姿势角的值的校正条件赋予等级，并将它们预先存储在存储部942。图13是表示其概念的图表，在纵轴向对于俯仰角的测量值的校正条件如正侧等级(m1～m9)及负侧等级(-m1～-m9)那样赋予等级。而且，在横轴向对于横摆角的测量值的校正条件如正侧等级(n1～n9)及负侧等级(-n1～-n9)那样赋予等级。这些预先存储在存储部942。不过，等级数是任意的。然后，从第1～第3的摄像装置A～C供给姿势角的信号时，由CPU941从存储部942读取与供给的测量值对应的校正条件，向校正装置92供给所读取的校正条件。
例如图13所示时，对于横摆角的测量值的校正条件是正侧等级(n2)，对于俯仰角的测量值的校正条件是负侧等级(-m4)，从存储部942读取这些。
校正装置92基于从计算机系统94供给的校正条件，对支承磁头2的挠性体12施加弯曲。此时施加的弯曲，在图13的图表上，对横摆角来说是将正等级(n2)向原点OK返回的方向，对俯仰角来说是将负等级(-m4)向原点OK返回的方向。从计算机系统94向校正装置供给这样的校正条件，在校正装置92中执行校正针922～925的移动控制。
下面，具体说明使用了校正针922～925的姿势角校正方法。图14、图15是由图6表示的校正装置92进行的俯仰角校正方法的图。首先，如图14所示，使校正针923、925向方向P1直线移动，在其前端通过推动挠性体12的外框部123、124，可以校正俯仰角。将此时的俯仰角的校正方向P1设为正方向。
图15表示向负方向P2校正俯仰角的情况，使校正针922、924向方向P2直线移动，在其前端推动挠性体12的外框部123、124。由此，可以向负方向校正俯仰角P2。
图16、图17是表示由图6所示的校正装置92进行的横摆角校正方法的图。首先，如图16所示，使校正针923向方向P1直线移动，在其前端推动挠性体12的外框部123的同时，使校正针924向方向P2直线移动，在其前端推动挠性体12的外框部124。由此，可以向方向R1校正横摆角。此时的横摆角的校正方向R1为正方向。
图17表示向负方向R2校正横摆角的情况，使校正针922向方向P2直线移动，在其前端推动挠性体12的外框部123的同时，使校正针925向方向P1直线移动，在其前端推动挠性体12的外框部124。由此，可以向负方向R2校正横摆角。
在图14～图17所示的俯仰角及横摆角的校正过程中，从激光振荡装置911、912向挠性体12的表面照射激光LA。如图18所示，向挠性体12的产生弯曲的区域6照射激光LA。激光LA的照射，不是对一个点执行，而是在某个长度、隔开间隔对多个点(例如10个点)执行。激光LA也可以向挠性体12的背面照射。
通过图14～图17图示、说明的操作，对挠性体12施加机械性弯曲时，在挠性体12产生与弯曲相应的应力。在本发明中，向挠性体12的产生弯曲的区域6照射激光LA，被照射激光LA的区域6的应力，随着激光LA的照射的热而释放。因此，在受到该激光LA的照射的区域6，挠性体12的恢复量减小，以接近施加的弯曲角度的角度弯曲。这意味着，即使赋予挠性体12的弯曲变化量较小，对于挠性体12可以赋予较大的弯曲角度。在挠性体12的受照射的区域6由不锈钢构成时，例如在吹入N2的状态下照射激光LA，使其表面温度成为300～400℃。
通过上述过程，以挠性体12的较小的弯曲角度，可以确保较大的姿势角变化量。根据上述的姿势角校正装置构筑以CPU941为中心的姿势角校正系统，可以自动地、可靠地校正磁头2的姿势角。
如上所述，校正磁头2的姿势角之后，再次通过第1～第3摄像装置A～C检测磁头2的姿势角，用计算机系统94的CPU941判断检测出的姿势角是否在允许的角度范围内(图13的原点OK)。判断的结果，检测出的姿势角不在允许的角度范围内时，计算机系统94的CPU941向校正装置92再次供给校正条件。校正装置92基于从计算机系统94供给的校正条件，对校正针922～925赋予校正移动动作，由此对挠性体12施加弯曲。然后，由激光振荡装置911、912向挠性体12的弯曲部分照射激光LA。
重复上述的姿势角的检测、校正针的移动、激光照射的各过程，直到横摆角及俯仰角的校正条件达到图13的原点OK。然后，在判断为检测出的姿势角在允许的角度范围(图13的原点OK)时，设为校正结束，转移到下一个工件(HSA95)的处理，对于该工件执行上述的过程。结束准备的所有的工件的处理后，排出工件托盘，结束运行，取出工件托盘。
图19是表示涉及本发明的姿势角校正装置的具体的结构的平面图，图20是表示图19所示的姿势角校正装置的具体结构的正面图，图21是图19及图20所示的姿势角校正装置的侧面图。这些图是只抽出机械部分表示的图。在图中，对相当于前面所示的附图中出现的构成部分，赋予相同的附图标记。
激光振荡装置911、912在正交的三个轴X、Y、Z看，具备在X轴(横轴方向)及Y轴(深度方向)的两轴方向移动的XY台。
校正装置92具有4个校正针922～925、驱动部932～935。校正针922～925均倾斜配置，保持倾斜的状态，通过驱动部932～935在Y轴及Z轴方向驱动。
第1～第3摄像装置A～C由CCD摄像机构成，如下地配置在X轴、Y轴、Z轴、围绕X轴的θX、及围绕Y轴的θY的各方向上可以移动，并以此可以进行位置调整。
作为工件的HSA95，由工件托盘971、推动工具972及运送工具973支承(参照图1)，磁头2被运入由校正针922～925推动的位置、可以受到激光振荡装置911、912的激光照射的位置、及接受第1～第3摄像装置A～C的姿势角测量的位置。
根据图19～图21所示的姿势角校正装置，可以自动地、高效地执行参照图1～图18说明的姿势角校正。
以上，参照优选的实施例具体说明了本发明的内容，基于本发明的基本的技术思想及启示，若是本领域技术人员，显然可以采取各种变形方式。例如，校正装置92不受针的类型的限制，也可以是夹着挠性体12弯曲的类型。
权利要求
1.一种静止姿势角校正方法，是对在头支承体的长度方向的一端侧即自由端侧设置的挠性体上安装的磁头的静止姿势角进行校正的方法，其特征在于，包括以下步骤对使用至少2个摄像装置拍摄上述磁头得到的图像信号进行分析并生成校正条件；基于上述校正条件，对上述挠性体施加静止姿势角校正用的弯曲；向上述挠性体的产生弯曲的区域照射激光。
2.如权利要求1所述的静止姿势角校正方法，其特征在于，从在上述长度方向所取的自由端的前方拍摄上述磁头，从与上述长度方向大致差90度的侧向拍摄上述磁头，分析由两个拍摄得到的图像信号，生成校正条件。
3.如权利要求2所述的静止姿势角校正方法，其特征在于，从方向与上述长度方向大致差90度的两侧向拍摄上述磁头，分析其图像信号，生成校正条件。
4.如权利要求1所述的静止姿势角校正方法，其特征在于，从方向与上述长度方向大致差90度的两侧向拍摄上述磁头，分析其图像信号，生成校正条件。
5.如权利要求1至4中的任一项所述的静止姿势角校正方法，其特征在于，根据上述磁头的空气轴承面相对于在上述图像信号上假定为上述空气轴承面的倾斜角为零时的基准线所成的角，确定姿势角。
6.如权利要求5所述的静止姿势角校正方法，其特征在于，根据从上述空气轴承面的两个棱线到上述基准线的距离差确定横摆角。
7.一种静止姿势角校正装置，包括校正装置、激光振荡装置、至少两个摄像装置、及计算机系统，对在头臂组装体的挠性体上安装的磁头的静止姿势角进行校正，其特征在于，上述校正装置对上述挠性体施加弯曲；上述激光振荡装置向弯曲区域照射激光；上述摄像装置拍摄上述磁头，生成其图像信号；上述计算机系统分析从上述摄像装置供给的图像信号，生成校正条件；上述校正装置基于从上述计算机系统供给的校正条件，对上述挠性体施加弯曲。
8.如权利要求7所述的静止姿势角校正装置，其特征在于，上述摄像装置包括第1摄像装置和第2摄像装置；上述第1摄像装置从在上述长度方向所取的自由端的前方拍摄上述磁头；上述第2摄像装置从与上述长度方向大致差90度的侧向拍摄上述磁头。
9.如权利要求8所述的静止姿势角校正装置，其特征在于，还包括第3摄像装置，上述第3摄像装置从与上述第2摄像装置相对置的侧向拍摄上述磁头。
10.如权利要求7所述的静止姿势角校正装置，其特征在于，上述摄像装置包括2个摄像装置，上述2个摄像装置从方向与上述长度方向大致差90度的两侧向拍摄上述磁头。
11.如权利要求7至10中的任一项所述的静止姿势角校正装置，其特征在于，上述计算机系统具有CPU、和向对于上述磁头的静止姿势角的值的校正条件赋予等级并预先存储的存储部；上述CPU从上述存储部读取与从上述测量装置供给的测量值对应的上述校正条件，向上述校正装置供给读取出的校正条件。
12.如权利要求7至10中的任一项所述的静止姿势角校正装置，其特征在于，上述计算机系统根据上述磁头的空气轴承面相对于在上述图像信号上假定为上述空气轴承面的倾斜角为零时的基准线所成的角，确定姿势角。
13.如权利要求12所述的静止姿势角校正装置，其特征在于，上述计算机系统根据上述基准线和上述空气轴承面的棱线所成的角确定上述姿势角。
14.如权利要求7至10中的任一项所述的静止姿势角校正装置，其特征在于，上述校正装置具有可将前端推压在上述挠性体的表面的多个可动校正针；上述校正条件包括对上述挠性体的上述校正针的抵接位置、上述校正针的推入量、和激光照射位置的条件。
15.如权利要求14所述的静止姿势角校正装置，其特征在于，上述校正针与上述挠性体的表面具有规定的角度配置。
全文摘要
提供磁头的姿势角校正方法及装置，在HSA中也能够自动校正姿势角。用第1～第3的摄像装置(A～C)拍摄磁头(2)的姿势角。向计算机系统(94)供给该测量值，基于与测量值对应的校正条件，由校正装置(92)对挠性体(12)施加姿势角校正用的弯曲。然后，向生成挠性体(12)的弯曲的区域照射激光。
文档编号G11B21/24GK1945699SQ20061014219
公开日2007年4月11日 申请日期2006年9月29日 优先权日2005年10月5日
发明者进藤修, 水野亨, 中山均, 厚泽新次 申请人:Tdk株式会社