1.一种半导体装置，包括：
测试模式的控制电路，所述测试模式的控制电路检测半导体装置在既定的观测期间中进行既定的动作时的内部电压而进行波形观测；以及
比较单元，所述比较单元在所述观测期间中将所述内部电压与既定的基准电压进行比较而输出比较结果信号，并使所述基准电压变化而进行所述比较，并将所述观测期间的内部电压的电压波形的比较结果信号输出到测试装置。
2.如权利要求1所述的半导体装置，其中，所述控制电路将所述比较结果信号直接输出到所述测试装置。
3.如权利要求1所述的半导体装置，其包括：
取样电路，其将所述比较结果信号以根据所述半导体装置的内部时钟的既定的时间间隔进行取样而转换成二值化数据；以及
输出锁存器，其将所转换的二值化数据仅暂时地存储既定的延迟时间而输出。
4.如权利要求3所述的半导体装置，其中，所述控制电路根据输入的参数数据设定：
(A)对应所述取样电路的时间间隔的时间分辨率；以及
(B)对应暂时存储到所述输出锁存器的所取样的二值化数据数的时钟数。
5.如权利要求3所述的半导体装置，其中，所述控制电路与对应所述测试装置的触发信号同步而输出所转换的二值化数据。
6.如权利要求5所述的半导体装置，其中，所述触发信号为所述半导体装置的状态信号(R/B)。
7.如权利要求3所述的半导体装置，其中，所述控制电路根据从所述测试装置输入的暂停点的数据，使所述比较单元的比较暂时停止后启动。
8.如权利要求1所述的半导体装置，其更具备：
取样电路，其将所述比较结果信号以根据所述测试装置的内部时钟的既定的时间间隔进行取样而转换成二值化数据；以及
输出锁存器，其将所转换的二值化数据仅暂时地存储既定的延迟时间而输出。
9.如权利要求8所述的半导体装置，其中所述测试装置的时钟作为读出使能信号(/RE)或输出使能信号而输入到所述半导体装置。
10.如权利要求1所述的半导体装置，其中，
所述半导体装置具有多个内部电压，且
所述控制电路根据输入的选择指令，选择所述多个内部电压中的一个内部电压而输出到所述比较单元。
11.如权利要求1所述的半导体装置，其更包括：
电阻分压电路，所述电阻分压电路插在输出所述内部电压的电路和所述比较单元之间，且将所述内部电压以既定的分压比进行电阻分压而输出。
12.如权利要求1所述的半导体装置，其中所述比较单元兼用为微调所述内部电压的比较单元。
13.如权利要求1所述的半导体装置，其中所述基准电压从所述测试装置输入到所述半导体装置。
14.如权利要求1所述的半导体装置，其更包括：电压产生电路，其在所述控制电路的控制之下产生所述基准电压。
15.如权利要求1所述的半导体装置，其中所述半导体装置为非挥发性半导体存储装置。
16.一种测试装置，包括：其用于如权利要求1至15中的任一项所述的半导体装置，包括：
显示单元，所述显示单元接收所输出的比较结果信号或二值化数据并显示为内部电压的观测电压波形。
17.如权利要求16所述的测试装置，更包括：存储单元，其存储所接收的比较结果信号的数据或二值化数据。
18.一种测试系统，包括：如权利要求1至15中的任一项所述的半导体装置以及如权利要求16或17所述的测试装置。