电荷存储铁电存储器混合体和擦除方案的制作方法

文档序号:12142463阅读:来源:国知局
技术总结
描述了一种用于擦除包括多个存储器单元的铁电场效应晶体管(FeFET)存储器电路的技术,该存储器单元包括FeFET。每个FeFET包括栅极堆叠、源极、漏极、沟道和块体衬底区域,其中栅极堆叠包括栅极和设置在栅极与沟道之间的铁电层。根据沟道类型,向至少一个FeFET存储器单元的源极和漏极区施加正或负电压。在向FeFET存储器单元的源极和漏极区施加正电压期间,栅极和块体衬底区域保持在接地状态,以致使至少一个FeFET存储器单元的擦除。此外,描述了具有邻近栅极堆叠内的铁电层设置的电荷存储层的FeFET。

技术研发人员:斯特凡·费迪南德·米勒
受保护的技术使用者:纳姆实验有限责任公司
文档号码:201580039628
技术研发日:2015.07.23
技术公布日:2017.03.22

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