半导体存储装置的制作方法

文档序号:23708565发布日期:2021-01-23 15:14阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种半导体存储装置,其特征在于包括:第1存储单元,具备电荷储存层;第1位线,连接在所述第1存储单元;及读出放大器,对所述第1位线施加电压;数据的写入动作重复编程动作及验证动作的组,所述第1位线在所述重复的第1组的编程动作时被设为电气地浮动且设为第1电位,在所述第1组之后的第2组的编程动作时,通过利用所述读出放大器施加第2电压,而设为低于所述第1电位的第2电位,在所述第2组之后的第3组的编程动作时,通过利用所述读出放大器施加第3电压,而设为高于所述第1电位及第2电位的第3电位。2.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于:所述第1组为所述重复的最初的组。3.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于:所述第3组在通过验证之后执行。4.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于:在所述第2组与所述第3组之间执行的第4组的编程动作时,所述第1位线通过利用所述读出放大器施加第4电压,而设为高于所述第1电位及第2电位的第4电位。5.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于:在所述第2组与所述第3组之间执行的第4组的编程动作时,所述第1位线通过利用所述读出放大器施加第4电压,而设为低于所述第1电位的第4电位。6.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于:在所述第1组之前执行的第4组的编程动作时,所述第1位线通过利用所述读出放大器施加第4电压,而设为低于所述第1电位的第4电位。7.根据权利要求1所述的半导体存储装置,其特征在于:在所述第1组之前执行的第4组的编程动作时,所述第1位线通过利用所述读出放大器施加第4电压,而设为高于所述第1电位及第2电位的第4电位。8.一种半导体存储装置,其特征在于包括:第1至第3存储单元,具备电荷储存层;第1位线,连接在所述第1存储单元;第2位线,连接在所述第2存储单元;第3位线,连接在所述第3存储单元;及读出放大器,对所述第1至第3存储单元施加电压;数据的写入动作重复编程动作及验证动作的组,在所述写入动作的任一个组中,在所述编程动作时,利用所述读出放大器对所述第1位线施加第1电压,对所述第2位线施加小于所述第1电压的第2电压,对所述第3位线施加小于所述第1电压且大于所述第2电压的第3电压。9.根据权利要求8所述的半导体存储装置,其特征在于:所述第2位线在所述写入动作的第1组中被施加所述第2电压,在所述第1组之前执行的第2组中利用所述读出放大器施加所述第3电压,
在所述第1组之后执行的第3组中利用所述读出放大器施加所述第1电压。
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