专利名称：探针测试卡的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种探针测试卡，特别是关于一种电路板上电极构造的改良，借助创新的排列，令制作时可采用复制方式来配线，易于规划，容易侦错，且可增进工作效率的一种探针测试卡。
公知芯片在测试时，是将芯片测试机台(IC tester)经过特殊的设计，在其检测头装上一探针测试卡(Probe card)，而该探针测试卡的构造如
图1及图2所示，是在一电路板1a上设有圆形排列的复数个电极2a，而该电极2a则分别连接有以金线制成细如毛发的探针3a，使得该探针3a的另一端悬空，能用来侦测晶圆4a上芯片5a的接点(pad)6a，以便直接对该芯片5a输入信号或侦读输出值，再透过电子显微镜和机器手臂的控制，使得所有在同一晶圆4a上的芯片5a可以逐一地被测试。
但是，该探针3a连接时往往造成下列的问题1、常须要割线或跳线，才可制造出顺序性的配线来(如图3所示)。
2、跳线后制作时常焊错，以致制造工时增长且成本增高。
3、电气特性无法确时掌握，以致复制时困难度增加。
4、除错工时增长。
5、线上维修保养困难。
于是，由上可知，上述公知的探针测试卡，在实际使用上，显然具有不便与缺点存在，而可待加以改善。
因此，本实用新型设计人有感上述缺点可改善，乃特潜心研究并配合学理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺点的本实用新型。
本实用新型的主要目的，在于将圆形排列方式的电极改成采用平行排列方式，来避免繁杂的联机方式，使得探针连接时易于处理，并可大大增进制作的功效。
为了达成上述目的，本实用新型主要是提供一种探针测试卡，包括一电路板、复数个电极及复数条探针，其中，该电极设于该电路板上，呈平行方向排列，可为纵向平行、横向平行或斜向平行方向的排列方式，而该探针的一端分别连接该电极，另一端则悬空，可用以侦测芯片。
为了使贵审查员能更进一步了解本实用新型为达成预定目的所采取的技术、手段及功效，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，相信本实用新型的目的、特征与特点，当可由此得一深入且具体的了解，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型的保护范围加以限制。
图面说明图1为公知探针测试卡实施形态的斜视图。
图2为公知探针测试卡的平面图。
图3为公知须割线或跳线的探针测试卡的平面图。
图4为本实用新型规划连接芯片C1的平面图。
图5为本实用新型规划连接全部芯片的平面图。
图6为本实用新型第二实施例的平面图。
图7为本实用新型第三实施例的平面图。
图8为本实用新型第四实施例的平面图。
附图标记说明公知1a电路板2a电极3a探针 4a晶圆5a芯片 6a接点本实用新型1电路板 2 电极3探针 4 芯片5接脚请同时参阅图4及图5所示，本实用新型是一种探针测试卡，是在一电路板1上设有纵向水平排列的256个电极2(分别为电极0～255)，各电极2分别连接探针3的一端，使得该探针3的另一端悬空，且以并行处理的方式来侦测晶圆(图中未示出)上的芯片4(分别为芯片C1～C8)。
据此，该探针3连接时，可先选取电极0～17中的14个电极2，分别连接探针3，使得该探针3的另一端对应至待测芯片C1的14个接脚5，然后，重复上述的连接方式，使电极32～49中所选取的14个电极2分别连接探针3，使得该探针3的另一端对应至待测芯片C2的14个接脚5，依此类推，便可得到良好的配线规划，而不会发生传统割线或跳线的困扰，且容易侦错。
此外，如图6所示，为本实用新型的第二实施例，芯片4有32个接脚5，则同样的可以选取电极0～49中32个电极2，分别连接探针3，使得该探针3的另一端对应至待测芯片C1的32个接脚5，然后，重复上述的连接方式，将电极64～144中所选取的32个电极2分别连接探针3，使得该探针3的另一端对应至待测芯片C2的32个接脚，依此类推，便可得到良好的配线规划，故，使用者可依据待测芯片4的接脚5总数来选取适合的电极2数目的探针测试卡来作测试。
又，如图7及图8所示，为本实用新型的第三实施例及第四实施例，该电极2呈纵向平行方式或斜向平行方式排列，其探针3连接方式与上述相同；另一方面，在第四实施例中，为配合晶圆上芯片4的排列方式，其采用并行处理斜向测试方式来测试该芯片4。
由上可知，本实用新型探针测试卡具有如下的特点(1)配线明显易见。
(2)缩短探针测试卡的制造时间。
(3)增加并行处理数目。
(4)由于电气特性掌握性好且软件撰写容易，大幅降低工时，故可增加效率及产值。
(5)降低芯片量产测试成本。
综上所述，本实用新型完全符合专利申请的要件，故依法提出申请，敬请详查并请早日授与专利，以保障本实用新型设计人的权益。
以上所述，仅为本实用新型最佳的具体实施例的详细说明，但本实用新型的特征并不局限于此，并非用以限制本实用新型，本实用新型的所有保护范围应以权利要求书为准，凡符合本实用新型权利要求的精神与其类似变化的实施例，皆应包含于本实用新型的保护范围中，任何熟悉该项技艺者在本实用新型的领域内，可轻易思及的变化或修饰皆可涵盖在本实用新型的保护范围。
权利要求1.一种探针测试卡，包括一电路板；复数个电极，设于该电路板上；及复数条探针，其一端分别连接该电极，另一端悬空可用以侦测芯片；其特征在于该电极呈平行方向排列。
2.如权利要求1所述的探针测试卡，其特征在于所述电极呈纵向平行方向排列。
3.如权利要求1所述的探针测试卡，其特征在于所述电极呈横向平行方向排列。
4.如权利要求1所述的探针测试卡，其特征在于所述电极呈斜向平行方向排列。
专利摘要本实用新型提供了一种探针测试卡,包括一电路板、复数个电极及复数条探针,其中该复数个电极设于该电路板上,且该探针的一端分别连接该电极,另一端悬空,可用以侦测芯片,而本实用新型的特征是在于该电极可呈纵向、横向或斜向平行方向排列,使该探针连接时好规划,制造出顺序性的配线,不易有跳线及割线的情形发生,且维修保养容易,进而减少除错工时。
文档编号H01L21/66GK2466661SQ01203939
公开日2001年12月19日 申请日期2001年2月5日 优先权日2001年2月5日
发明者陈文祺 申请人:陈文祺