专利名称：环形接触式感应装置的制作方法
技术领域：
本实用新型是一种环形接触式感应装置，特别是一种可在接触时感应接触力而发出一回馈讯号，且可感应360度方向无死角接触方向的感应装置。
如
图1至图3所示，在这些晶粒31在封装过程中，将经过切割成复数个晶粒31先置放于黏性薄膜32上，再将其置放在工作平台2以机械手16经机械手行进路径161将其运送至输送装置15进行后续封装制程。
在工作平台2中X轴11与Y轴12作X轴及Y轴之平移21、22，Z轴1 3对Z轴作旋转方向23之运动。这些经过切割成复数个晶粒31被置放于上述工作平台2上以一固定位置之顶针41将其往上顶，以利吸取头14的吸取。
然而，在上述动作前机器须作一校正原点位置，亦或机器再运转一段时间后亦须重新校正原点位置。这些动作通常是由机械人员以人工目视的方式进行，但因碍于机械结构的限制，亦即顶针41仅能对Z轴13作上下运动且相对于一底座5的某固定位置，工作平台2为一可移动式单元。因此，工作平台2只允许在一限制范围内移动，若工作平台2移动超出此一限制范围，那么其平台边界24将撞击到顶针41，所以机械人员必须小心调整以避免顶针41撞击平台边界24。
为克服上述问题，在传统技术里，以软体来控制其边界条件。但由于机械人员作手动校正原点位置时的疏忽将原点偏离太过，使得这时软体误以为是新原点位置而改变其边界条件。但实际上真实的边界还是在相对于机械的某一位置上，因此，在手动调整时难免产生撞击顶针41，使得在校正原点位置时多出一项故障因素。
除了以软体来控制其边界条件外，有人想出另一方式，如图4、图5所示，顶针41旁加装四个(Sensor)感应器42藉以保护顶针41。虽然，其可作到保护顶针41之目的，但该(Sensor)感应器42须装设数个，有其死角未能全方位侦测，尤其当边界具有尖锐编缘时更易造成接触方向上的盲点，此外(Sensor)感应器42数量的增加不仅形成成本上增加且线路上亦更复杂，因此，元件增多故障几率也相对增加。
本实用新型是这样实现的，一种环形接触式感应装置包括一内环体，该内环体为一导电体，其外径上缘呈一圆锥状的内环体锥度，其下有一圈内环体逃料凹槽，内部具有一内环体中空部；一外环体，该外环体为一导电体，其内径上缘呈一圆锥状之外环体锥度，内部具有一外环体中空部，其内孔略中央位置有一圈外环体逃料凹槽，外环体套于内环体上，且留有一间隙供内、外环体两相互滑动位移； 一垫圈，该垫圈为一绝缘体，设于内环体的内环体逃料凹槽与外环体的外环体逃料凹槽之间；当外环体有一外力接触时，其外环体逃料凹槽推挤垫圈，使得外环体内径上缘呈一锥状的外环体锥度接触内环体外径上缘呈一锥状的内环体锥度，此时呈电导通状态，藉由内环体与外环体的电导通状态可回馈一讯号；此外，当外环体有一外力接触时，其外环体逃料凹槽推挤垫圈，使得外环体内径上缘呈一锥状的外环体锥度接触内环体外径上缘呈一锥状的内环体锥度，两锥度接触，可将外环体之水平方向位移量改变成为锥度方向的位移，外环体往上移动。
为了能更清楚地描述本实用新型所提出之环形接触式感应装置之作用原理，以下将配合图示详细说明。
图2为图1的工作平台运作方向的上视图。
图3为图1的3顶针顶出晶粒的放大图。
图4为现有的接触式感应装置的正视图。
图5为现有的接触式感应装置的上视图。
图6为本实用新型环形接触式感应装置的正视图。
图7为本实用新型环形接触式感应装置的上视图。
附图标号说明1工作平台及机械手；11X轴；12Y轴；13Z轴；14吸取；15输送装置；16机械手；161机械手行进路径；2工作平台；21X轴平移方向；22Y轴平移方向；23对Z轴旋转方向；24平台边界；3顶针顶出晶粒的放大图；31晶粒；32黏性薄膜；4接触式感应装置；41顶针；42(Sensor)感应器；5底座；6环形接触式感应装置；61内环体；610导线；611中空部；6111上内径；6112下内径；612逃料凹槽；613凸缘；614锥度；615逃料孔；62外环体；620导线；621中空部；622逃料凹槽；624锥度；63垫圈。
一内环体61，该内环体61为一导电体，并至少连接一内环体导线610。其特征为外径上缘呈一圆锥状的内环体锥度614，其下有一圈内环体逃料凹槽612，该内环体逃料凹槽612下方有一凸缘613，用以承载外环体62。又，内环体61内部具有一内环体中空部611，其中该内环体中空部611内固定于一装置元件(例如，顶针41)。该内环体中空部611分上内径6111与下内径6112。其中，上内径6111小于下内径6112，其功能在于限制其装置元件于一固定位置，上内径6111与下内径6112，有至少一逃料孔615，其功能在限制其装置元件的旋转。
一外环体62，该外环体62为一导电体，并至少连接一外环体导线620。其特征为内径上缘呈一圆锥状堵塞外环体锥度624，内部具有一外环体中空部621，其内孔略中央位置有一圈外环体逃料凹槽622，外环体62套于内环体61上，且留有一间隙供内、外环体61、62两工件滑动位移。
一垫圈63，该垫圈63为一绝缘体。其较佳实际例可为橡胶类及内部中空之弹性物质。设于内环体逃料凹槽612与外环体逃料凹槽622之间。
当外环体62有一外力接触时，其外环体逃料凹槽622推挤垫圈63，使得外环体62内径上缘呈一锥状的外环体锥度624接触内环体外径上缘呈一锥状的内环体锥度614，此时呈电导通状态，藉由内环体61与外环体62的电导通状态可回馈一讯号由内、外环体导线610、620送出。
此外，当外环体62有一外力接触时，其外环体逃料凹槽622推挤垫圈63，使得外环体62内径上缘呈一锥状的外环体锥度624接触内环体61外径上缘呈一锥状之内环体锥度614，两锥度接触，可将外环体62的水平方向位移量改变成为锥度方向的位移。因此，外环体62往上移动。
综上所述，本实用新型一种环形接触式感应装置，若以该装置取代前述之接触式感应装置将可感应360度无死角的各方向接触情况，且其外环体62内径上缘呈一锥状的外环锥度624接触内环体61外径上缘呈一锥状的内环锥度614时，即产生一讯号，此一讯号回馈至机器告知其停止工作平台2的动作，又如上述之内、外环体61、62皆有锥状接触面，其可吸引工作平台2停止时的残留冲量，进而保护其内的装置元件，不致撞击而毁损(此锥以工作平台及机械手为例，但也可实施在其他领域中)。
唯以上所述者，仅为本实用新型之较佳实施例，当不能以之限制本实用新型范围。即大凡依本实用新型权利要求所做之均等变化及修饰，仍将不失本实用新型之要义所在，亦不脱离本实用新型之精神和范围，故都应视为本实用新型的进一步实施状况。
权利要求1.一种环形接触式感应装置，其特征在于包括一内环体，该内环体为一导电体，其外径上缘呈一圆锥状的内环体锥度，其下有一圈内环体逃料凹槽，内部具有一内环体中空部；一外环体，该外环体为一导电体，其内径上缘呈一圆锥状之外环体锥度，内部具有一外环体中空部，其内孔略中央位置有一圈外环体逃料凹槽，外环体套于内环体上，且留有一间隙供内、外环体两相互滑动位移；一垫圈，该垫圈为一绝缘体，设于内环体的内环体逃料凹槽与外环体的外环体逃料凹槽之间；当外环体有一外力接触时，其外环体逃料凹槽推挤垫圈，使得外环体内径上缘呈一锥状的外环体锥度接触内环体外径上缘呈一锥状的内环体锥度，此时呈电导通状态，藉由内环体与外环体的电导通状态可回馈一讯号；此外，当外环体有一外力接触时，其外环体逃料凹槽推挤垫圈，使得外环体内径上缘呈一锥状的外环体锥度接触内环体外径上缘呈一锥状的内环体锥度，两锥度接触，可将外环体之水平方向位移量改变成为锥度方向的位移，外环体往上移动。
2.如权利要求第1所述的环形接触式感应装置，其特征在于内、外环体均为圆形环状，可感应360度无死角的各方向接触情况。
3.如权利要求第1所述的环形接触式感应装置，其特征在于外环体与内环体分别各连接至少一导线。
4.如权利要求第1所述的环形接触式感应装置，其特征在于内环体逃料凹槽下方有一凸缘。
5.如权利要求第1所述的环形接触式感应装置，其特征在于垫圈内部为一中空状。
6.如权利要求第1所述的环形接触式感应装置，其特征在于内环体的中空部，固定于一种装置元件。
7.如权利要求第6所述的环形接触式感应装置，其特征在于装置元件是一顶针，用于顶出晶粒。
8.如权利要求第6所述的环形接触式感应装置，其特征在于内环体的中空部，分两不同内径，上方内径小于下方内径，用于限制其装置元件于一固定位置。
9.如权利要求第8所述的环形接触式感应装置，其特征在于上内径与下内径，有至少一逃料孔，用于限制其装置元件的旋转。
专利摘要本实用新型是一环形接触式感应装置,包括:内环体、外环体及垫圈。其中,该内环体为一导电体,其外径上缘呈一锥状。外环体为一导电体,其内径上缘呈一锥状。一垫圈,该垫圈为一绝缘体,其系设于内环体与外环体之间。当外环体有一外力接触时,其推挤垫圈,使得外环体内径上缘呈一锥状的斜度接触外环体外径上缘呈一锥状的斜度,此时呈导通状态,藉由外环体与外环体之导通状态可回馈一讯号,使机械紧急停止。两斜度接触,外环体往上移动可吸收机械紧急停止时而未完全停止之残余冲量,不致于因撞击而毁损。
文档编号H01L21/00GK2488173SQ01229480
公开日2002年4月24日 申请日期2001年7月24日 优先权日2001年7月24日
发明者石敦智, 杨天德 申请人:华东半导体工业股份有限公司