专利名称：用于制造场致发光显示设备的装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于制造场致发光显示设备的装置，尤其是，涉及一种用于能够均匀地分布施加于掩模的压力，以形成精确的和可靠的像素来制造场致发光显示设备的装置。
背景技术：
近来，已经开发了具有较小重量和体积的各种各样种类的平板显示设备以代替具有庞大的重量和体积的阴极射线管(CRT)。液晶显示器、场致发射显示器、等离子显示板和场致发光显示器(在下文中称为“EL”显示设备)是这样的平板显示设备的例子。
在这些平板显示设备之中，该EL显示设备是自发光的设备，其中光是通过重新结合空穴与电子来从荧光材料中发出的。该EL显示设备被划分为使用非有机材料作为荧光材料的非有机EL显示设备，和使用有机材料作为荧光材料的有机EL显示设备。
与需要额外的光源的无源发光设备，诸如液晶显示器相比较，该EL显示设备是有优势的，其中对于与该阴极射线管相同的电平，该响应时间是短的。此外，该EL显示设备具有很多的优点，诸如低压驱动、自发光、薄膜形状、宽阔的视角、短的响应时间、高对比度等等，从而期望是下一代显示设备。
图1是示出用于举例说明有机EL显示设备发光原理的通常的有机场致发光单元结构的剖面图。该有机场致发光的单元包括一个安排在正极104和负极112之间的有机发光层110，并且该有机发光层110由电子注入层10a、电子传输层10b、发光层10c、空穴传输层10d和空穴注入层10e组成。
一旦电源电压被施加于该正极104和该负极112，从该负极112产生的电子经由该电子注入层10a和该电子传输层10b朝着发光层10c输送。此外，从该正极104产生的空穴经由该空穴注入层10e和该空穴传输层10d朝着发光层10c输送。因此，经由该电子传输层10b提供的电子在该发光层10c中与经由该空穴传输层10d提供的空穴碰撞并且重新结合，光从其中发出。这个光经由该正极104被散发到外部以显示图像。
图2是示出该有机EL显示设备的图。
在图2中示出的该有机EL显示设备中，第一电极104(在下文中称为“正极”)和第二电极112(在下文中称为“负极”)以相互交叉的方向形成在该衬底102上。
该正极104形成在该衬底102上，彼此间隔一定距离。具有多个开口的绝缘层(未示出)形成在该衬底102(该正极104被形成在其中)上，其中每个开口对应于场致发光单元区域。侧壁108形成在该绝缘层上，以分隔形成在其上的该有机发光层110和该负极112。每个侧壁108在垂直于该正极104的方向上形成，并且具有一个反梯形结构，其中上端侧面大于下端侧面。在该侧壁108形成在该绝缘层上之后，由有机材料组成的该有机发光层110和该负极112顺序地形成在该整个绝缘层上。如图1所示，顺序地形成该空穴注入层10c、空穴传输层10d、发光层10c、电子传输层10b和电子注入层10a，以形成每个有机发光层110。
在这里，通过使用在该制造装置中提供的拉伸的掩模，在该EL单元区域上形成红色(R)发光层、绿色(G)发光层和蓝色(B)发光层。
在图1中示出的该有机EL显示设备的发光层10c使用网格掩模经由热淀积和真空淀积处理形成。该网格掩模具有形成在其上的多个网格，并且对应于形成在该衬底上的该发光层。该制造的网格掩模通过掩模夹紧/拉伸装置拉伸为预定的尺寸，然后固定到该制造装置的掩模框上。在形成该发光层的过程中，固定到该掩模框上的该掩模放置在该衬底的表面上，从而该发光层10c形成在该衬底的表面上，该衬底的表面对应于形成在该掩模上的该网格。
多个夹子被安装在该掩模夹紧/拉伸装置上。通过在该掩模被借助于该夹子夹紧的状态拉伸该夹子，该掩模被拉伸。在这个过程中，压力在该掩模的边缘施加在对应于每个夹子的部分上。如果由于某种原因施加于该掩模一个部分的压力大小不同于施加于另一个部分的压力大小，则根据该网格的位置，施加于一个网格的张力大小不同于施加于另一个网格的张力大小。因此，该网格的拉伸量必然彼此不同。
如果该网格的拉伸量彼此不同，由该网格形成的该发光层的尺寸(区域)也变得彼此不同。因此，每个发光层没有正确地形成在预定的位置上，并且在该显示设备中该发光区域的尺寸(区域)是彼此不同的。
发明内容
本发明意欲解决在形成该发光层的过程中出现的上述问题。因此，本发明的目的是提供一种用于制造场致发光设备的装置，其可以均匀地分布施加于该掩模的压力，以形成精确的和可靠的发光层。
为了实现以上所述的目的，一种按照本发明的用于制造场致发光设备的装置包括安排在掩模的边缘上用于夹紧该掩模的多个夹子；形成在每个夹子上并且与该掩模接触的多个钳夹；和用于给该夹子供给电力以拉伸该掩模的电源单元。在这里，每个夹子由上面部分和下面部分构成，并且至少两个钳夹每个形成在每个夹子的上面和下面部分相应的表面上。
该钳夹以直线形式安排在每个夹子上，或者以之字形状态排列在每个夹子上。此时，该钳夹通过彼此均等的间距排列。此外，该钳夹可以随机地排列在该夹子上。
附图的简要说明从结合以下的附图的详细说明中将更清楚地了解本发明。
图1是举例说明常规的有机场致发光显示设备的一个像素的图；图2是示出常规的有机场致发光显示设备的图；图3是示出按照本发明用于制造有机场致发光显示设备的装置的图；图4是沿着在图3中的线条I-I提取的剖面图；图5是举例说明在图4中示出的掩模上均匀分布由多个钳夹所引起的压力的示意图；和图6和图7是示出该钳夹的不同的排列状态的图。
具体实施例方式
在下文中将参考那些伴随的附图详细描述本发明的优选实施例。
图3是示出用于制造有机EL显示设备的装置一部分的图，也就是说，按照本发明的掩模夹紧/拉伸装置。
在图3中示出的该掩模夹紧/拉伸装置130包括安排在掩模160的长边和短边上以夹紧该掩模的夹子163；用于提供电源以拉伸该掩模160的电源单元165；和为将从该电源单元165提供的电力传送给该夹子163而安装的电力传输单元169。上述的掩模夹紧/拉伸装置130是由夹持器(未示出)支撑的。
该掩模160是用来形成有机EL显示设备的R(红色)、G(绿色)和B(蓝色)发光层10c(在图1中)的网格掩模，并且被分成有效区域160a和除了该有效区域160a之外的非有效区域160b。
多个阵列区域P1形成在该有效区域160a上，并且该衬底(未示出)经由该阵列区域P1有选择地暴露，以形成R(红色)、G(绿色)和B(蓝色)像素的发光层10c。此外，多个点161形成在该有效区域160a的外部边缘上，以当该掩模160被拉伸的时候提供基准。也就是说，用户基于在该掩模160上标记的该点161来决定拉伸限制，然后通过一个对应于该拉伸限制的压力来拉伸该掩模160。非有效区域160b是除了该有效区域160a之外的该掩模160的边缘区域，并且该夹子163夹紧该非有效区域160b，使得当该掩模被拉伸的时候，该张力首先施加于该非有效区域160b。
例如，大约十个(10)夹子163(夹子组)安排在该掩模160的每个长边上，并且大约八个(8)夹子(夹子组)被安排在该掩模的每个短边上。此外，调节螺丝安装在每个夹子163上，用于调整该夹子163的摩擦阻力。
如图3所示，三个电源单元165安排在该掩模169的每个边上，并且每个电源单元165由电动机166和滚珠螺杆盒167构成，该电动机166与该电力传输单元169耦合，该滚珠螺杆盒167与该电动机166耦合，用于将该电动机166的旋转运动转换为直线运动。
每个电力传输单元169包括连接到该电源单元165的滚珠螺杆盒167的连接杆171，和连接到该连接杆171的连接引脚172。每个夹子163与每个连接引脚172连接。
图4是沿着在图3中的线条I-I提取的剖面图。每个夹子163由上面部分163a和面对上面部分的下面部分163b构成。
两个(2)或更多的钳夹175均形成在上面部分163a和下面部分163b的内表面上。每个钳夹175放置在上面部分163a/下面部分163b和该掩模160之间，以将传送给该夹子163的电力传送给该掩模160。由于多个钳夹175安排在每个夹子163上，并且每个钳夹175具有相对小的尺寸，有可能防止该压力集中在该掩模160的某个区域上。
下面将详细描述每个钳夹175的功能。
如图4所示，在上面和下面部分163a和163b的每个上安排四个(4)钳夹175，并且每个钳夹175具有相对小的尺寸。多个钳夹175经由有限区域与该掩模160接触，从而有可能防止该压力集中在该掩模160的某个区域上。
也就是说，如图4所示，经由每个夹子163施加于该掩模160的压力被分成四个均等的部分，从而该经分布的压力施加于对应于每个钳夹175的该掩模160的一个区域。
图5是举例说明由在图4中示出的掩模上均匀分布由多个钳夹所引起的压力的示意图。
如图5所示，该压力均匀分布在该掩模160的整个区域上，从而该掩模160的不均匀的失真，也就是说，形成在该掩模160上的该网格的不均匀的失真被减到最小。因此，可以经由该掩模160形成均匀的和可靠的有机发光层。
图6和图7是示出该钳夹的不同的排列状态的图。
在这里，四个(4)或更多的钳夹175可以如图6所示以直线形式排列在该夹子163上，或者如图7所示以之字形状态排列在该夹子上。此外，该钳夹175可以随机地排列在该夹子163上。优选地，形成在每个夹子163上的该钳夹175安排为具有彼此均等的间距。
具有上述结构的该掩模夹紧/拉伸装置130是如下工作的。
首先，在该掩模160加载到某个系统上之后，通过垂直移动，该掩模安排在该夹子163放置在其上的区域上。
接下来，该夹子163向前移动以夹紧该掩模160，并且驱动该电动机166。每个电动机166的旋转运动经由每个滚珠螺杆盒167被转换为直线运动，然后传送给该相应的电力传输单元169。
此时，一旦向其传送该电动机166的电源的每个电力传输单元169向后移动，该夹子163也向后移动。因此，与每个夹子163的钳夹175接触的该掩模160通过该夹子163向外拉伸。
然后，一旦该掩模160拉伸和扩大为设计的尺寸，将掩模框(未示出)安排在该掩模160下面，并且然后通过激光焊接将该掩模160固定到该掩模框上。在形成该发光层的过程中使用固定到该掩模框上的该掩模160。也就是说，该掩模160固定到其上的该掩模框被放置在该衬底下面，并且经由形成在掩模160上的该网格有选择地通过有机材料蒸气，并且到达该衬底的预定发光区域。因此，在该衬底上形成对应于该掩模160的网格的该有机发光层图案。
如上所述，在用于制造有机场致发光显示设备的装置中，四个(4)或更多对的钳夹安排在用来夹紧该掩模的每个夹子上。因此，有可能防止该压力集中在该掩模的特定区域上，并且均匀地分布该压力，从而可以均匀地和精确地拉伸该掩模。因此，可以通过使用上述的掩模精确地在该衬底的预定区域上形成该发光层，以增强该有机场致发光显示设备的可靠性。
为了说明性的目的已经描述了本发明的优选实施例，并且那些本领域技术人员应该理解，不脱离如在伴随的权利要求中公开的本发明的精神和范围，各种各样的修改、添加和替换是可允许的。
权利要求
1.一种用于制造场致发光显示设备的装置，包括安排在掩模的边缘上用于夹紧该掩模的多个夹子(夹子组)；形成在每个夹子上并且与该掩模接触的多个钳夹；和用于给该夹子供给电力以拉伸该掩模的电源单元，其中所述每个夹子由上面部分和下面部分构成，并且至少两个钳夹均形成在该上面和下面部分的相应的表面上。
2.根据权利要求1的用于制造场致发光显示设备的装置，其中该掩模具有多个网格，并且用于制造有机场致发光显示设备。
3.根据权利要求2的用于制造场致发光显示设备的装置，其中由该掩模形成的网格对应于衬底的发光区域，以形成该有机场致发光显示设备的R(红色)、G(绿色)和B(蓝色)像素的发光层。
4.根据权利要求1的用于制造场致发光显示设备的装置，进一步包括电力传送单元，每个被放置在安排在该掩模的每个边上的夹子组和相应的电源单元之间，以使该夹子直线移动。
5.根据权利要求1的用于制造场致发光显示设备的装置，其中该钳夹以直线形式排列在每个夹子上。
6.根据权利要求5的用于制造场致发光显示设备的装置，其中该钳夹通过彼此均等的间距排列。
7.根据权利要求1的用于制造场致发光显示设备的装置，其中该钳夹以之字形状态排列在每个夹子上。
8.根据权利要求7的用于制造场致发光显示设备的装置，其中该钳夹通过彼此均等的间距排列在该夹子上。
9.根据权利要求1的用于制造场致发光显示设备的装置，其中该钳夹随机地排列在该夹子上。
全文摘要
公开了用于制造有机场致发光设备的装置，其可以均匀地分布施加于该掩模的压力。按照本发明的用于制造有机场致发光设备的装置包括安排在掩模的边缘上用于夹紧该掩模的多个夹子；形成在每个夹子上并且与该掩模接触的多个钳夹；和用于给该夹子供给电源以拉伸该掩模的电源单元。每个夹子由上面部分和下面部分构成，并且至少两个钳夹均形成在该上面和下面部分的相应的表面上。该钳夹被直线形式排列在每个夹子上，或者以之字形状态排列在每个夹子上。此时，该钳夹通过彼此均等的间距排列。此外，该钳夹可以随机地排列在该夹子上。
文档编号H01L21/00GK1838845SQ20061006827
公开日2006年9月27日 申请日期2006年3月22日 优先权日2005年3月22日
发明者朴钟贤, 卓润兴 申请人:Lg电子株式会社