专利名称：感测式封装件及其制法的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种半导体封装件及其制法，尤其涉及一种感测式刦 装件及其制法。
背景技术：
传统的图像感测式封装件(Image sensor package)主要是将感测芯 片(Sensorchip)接置于一芯片承载件上，并通过焊线加以电性连接该感 测芯片及芯片承载件后，在该感测芯片上方封盖住一玻璃，以供图像 光线能为该感测芯片所撷取。如此，该完成构装的图像感测式封装件 即可供系统厂进行整合至如印刷电路板(PCB)等外部装置上，以供如数 码相机(DSC)、数码摄影机(DV)、光学滑鼠、行动电话等各式电子产品 的应用。
请参阅图1，美国专利第6,060,340号案即揭露一种感测式封装件， 其将一预先制备的拦坝结构13通过胶粘剂16(adhesive)接置在一基板 11上，该拦坝结构13呈一墙状结构围绕一空间14以收纳感测芯片10 及焊线12于其中，该焊线12用以电性连接感测芯片IO至基板11。 一 玻璃15粘置在拦坝结构13上以封盖住该空间14，以使感测芯片10 及焊线12得与外界大气气密隔离，且可使光线穿透其中而到达感测芯 片10以供感测芯片10进行运作。然而，由于上述胶粘剂16具有较高 的吸湿性，当吸收有水气的胶粘剂历经后续工艺中的高温环境时，其 会导致气爆(popcorn)现象以及基板与拦坝结构间的脱层(delamination)， 因而损及封装件的可靠性。
还请参阅图2A及2B，美国专利第6,262,479及6,590,269号案揭 露另一种用以封装感测芯片但无需使用上述胶粘剂固定拦坝结构的感 测式封装件。首先，如图2A所示，进行一模压(molding)工艺以在基板 21上形成拦坝结构23，在模压中，使用一具有上模27及下模28的封 装模具，该上模27开设有一上凹模穴270，且有一凸出部271形成在 该上凹模穴270中；以将基板21夹置在上模27与下模28之间，使该
凸出部271与基板21触接而覆盖住基板21上预定用以置晶及焊线的 区域。接着，将一树脂化合物(如环氧树脂等)注入上凹模穴270中，以 在基板21上形成拦坝结构23。如图2B所示，将感测芯片20及焊线 22接置在该基板21上且为该拦坝结构23所围绕的外露区域；最后， 将玻璃25粘置在拦坝结构23上即完成该封装件。
然而，上述^装件仍会造成诸多缺点。例如该上模的凸出部用以 覆盖基板上预定区域以使该区域不为模压工艺中的树脂化合物所包 覆；然而该凸出部与基板间的夹持力(ckmpingforce)实不易控制，若凸 出部无法稳固地夹置在基板上，树脂化合物则极易在凸出部与基板间 产生溢胶，而污染板上预定用以置晶及焊线的区域；若凸出部过度地 压置在基板上，则会造成基板结构受损。再者，上述凸出式模具因需 形成对应基板预定区域尺寸的凸出部，是以制造成本颇高，况且，若 基板预定区域的尺寸改变，则需制备新的模具，使其具有对应尺寸的 凸出部，故会大幅增加生产成本且使封装件工艺更为复杂。
鉴此，美国专利第5,950,074则揭露另一种感测式封装件，其将一 种具流动性的胶体涂布在基板上以形成拦坝结构，以供玻璃接置其上， 进而覆盖住设在该拦坝结构内的感测芯片及焊线。
但前述现有技术中皆存在一共通问题，即该封装件的整体平面尺 寸包含有芯片尺寸、打线空间以及拦坝结构宽度，尤其是该拦坝结构 的设置所占用的面积，造成整体封装件尺寸需预留空间以供设置该拦 坝结构，是以无法满足封装件轻薄短小的需求。
请参阅图3，为此，美国专利第5,962,810号案揭示一种可縮小整 体尺寸的感测式封装件，其在基板31上接置一感测芯片30，并利用焊 线32电性连接该感测芯片30与基板31，接着在该焊线32上敷设流动 性胶体33而作为拦坝结构，由此完整包覆住该焊线32，之后在该感测 芯片30上涂布透明胶35，由此形成一可缩小整体尺寸的感测式封装 件。但前述现有技术中，不仅工艺成本高，且产品信赖性低，因此无 法为业界所普遍使用。
另外，请参阅图4，美国专利第5,534,725则揭示将玻璃45粘着在 感测芯片40上，以在封装该感测芯片40时，将该玻璃45顶抵于封装 模具(未图示)的上模内壁顶端，以便在完成封装模压作业而移除模具时，形成包覆该感测芯片40周围的封装胶体44，同时使玻璃45外露 山;N装胶休44。但前述技术中，因玻璃45是直接顶抵于妇装模具的上 模内壁顶端，因此容易因模压压力直接压着于该玻璃45而发生裂损， 甚而压损设在该玻璃45下方的感测芯片40，此外，若玻璃与封装模具 的上模内壁压合不确实而产生缝隙时，也将导致封装胶休溢胶至玻璃 45表面问题。
因此，如何提供一种感测式封装件及其制法，可縮小整体尺寸、 节省工艺成木、增加产品信赖性、以及避免玻璃或感测芯片裂损，甚 或封装胶体溢胶至玻璃等问题，确为相关领域上所需迫切面对的课题。
发明内容
鉴于前述习知技术的缺失，本发明的主要目的是提供一种无需设 置拦坝结构，且具轻薄短小特性的感测式封装件及其制法。
本发明的另一目的是提供一种可使感测芯片为封装胶体所包覆且 具高信赖性的感测式^]装件及其制法。
本发明的又一 目的是提供一种可使感测芯片为封装胶体所包覆且 具低工艺成木的感测式封装件及其制法。
本发明的另一 目的是提供一种可避免压损玻璃及感测芯片的感测 式封装件及其制法。
为达前述及其他目的，本发明的感测式封装件的制法主要包括 提供一具有多个感测芯片的晶片，以将具相对的第一表面及第二表面 的透光体接着在各该感测芯片上，其中该第一表面设有一覆盖层，以 及该第二表面设有一环状粘着层，以将该透光体藉由该环状粘着层接 置在该感测芯片上，其中该透光体的平面尺寸小于该感测芯片尺寸； 对该晶片进行切单作业，以形成多个接置有透光体的感测芯片；提供 一具多个基板的基板模块片，以将该感测芯片对应接置并电性连接至 各该基板上；进行封装模压作业，以在该基板模块片上形成一包覆该 感测芯片及透光体的封装胶体；沿该透光体边缘切割该封装胶体，其 中该切割深度至少到达设在该透光体上的覆盖层位置；以及进行移除 及切割作业，以移除该覆盖层及位于其上的封装胶体而外露出该透光 体，并沿各该基板间进行切割，以形成感测式封装件。
在本发明中该感测芯片具有主动面及相对的非主动面，且该感测 芯片以其非主动面对应接置于该基板上，并利用焊线而将该感测芯片 主动面电性连接至该基板，另该覆盖层与剁装胶体的接合性大于该覆 盖层与透光休的接合性，以便可同『j移除该覆盖层及遮覆其上的封装 胶体。
本发明也揭露一种感测式封装件，包括基板；感测芯片，接置 并电性连接至该基板上；透光休，接着在该感测芯片上，且该透光休 的平面尺寸小于该感测芯片平面尺寸；以及封装模压形成的封装胶体， 形成在该基板上且环绕该感测芯片及透光体周围，以外露出该透光休 的顶面，且该封装胶体与基板的侧边相互切齐。
本发明的感测式封装件的制法另一较佳实施例包括提供一具多 个基板的基板模块片，以将感测芯片接置并电性连接至该基板上；将 具相对的第一表面及第二表面的透光体接着在该感测芯片上，其中该 第一表面设有一覆盖层，以及该第二表面设有一粘着层，以将该透光 体通过该粘着层接置在该感测芯片上，且该透光体的平面尺寸小于该 感测芯片平面尺寸；进行封装模压工艺，以在该基板上形成包覆该感 测芯片及透光体的封装胶体；沿该透光体边缘切割该封装胶体，其中 该切割深度至少到达设在该透光体上的覆盖层位置；以及进行移除及 切割作业，以移除该覆盖层及位于其上的封装胶体而外露出该透光体， 并沿各该基板间进行切割，以形成感测式封装件。
因此，本发明的感测式封装件及其制法主要是先将设有覆盖层及 粘着层的透光体接着在具多个感测芯片的晶片上，其中该透光体的平 面尺寸小于该感测芯片尺寸，以对该晶片进行切单形成多个接置有透 光体的感测芯片，进而将该感测芯片接置并电性连接至基板模块片上 各基板上；或将感测芯片接置并电性连接至基板上，再将设有覆盖层 及粘着层的透光体通过该粘着层接置在感测芯片上；之后，即可进行 封装模压工艺，以在该基板上形成包覆该感测芯片及透光体的封装胶 体，并沿该透光体边缘切割该封装胶体，其中该切割深度至少到达设 在该透光体上的覆盖层位置，接着利用移除及切割作业，移除该覆盖 层及位于其上的JN装胶体而外露出该透光体，最后沿各该基板间进行 切割，形成感测式封装件，以供光线能通过该透光体而为该感测芯片
所撷取。
所以，本发明中由于未形成有传统的拦坝结构，故可提供具轻薄 短小特性的感测式妇装件，增加工艺可靠性及降低成木，同时，通过
预先在该透光体上设置覆盖层，以便在进行:H装模压工艺吋，可使:fel 装胶休覆盖至该透光休的覆盖层上，之后再移除该覆盖层及位于其上 的封装胶休，即可外露出该透光体，避免传统的在封装感测芯片时因 模压压力盲接压着在该玻璃而发生裂损，甚而压损设在该玻璃下方的 感测芯片，或发生^j装胶体溢胶至玻璃表面问题。此外，由于本发明 中利用传统的^装模压工艺以直接形成刦装感测芯片的刦装胶体，因 此不仅可节省工艺成本，同时通过封装模压工艺的使用将可配合批次
方式(batch- type)而在一具多个基板的基板模块片上大量制造生产，藉 以降低工艺成本及复杂性。
图1是美国专利第6,060,340号案所揭露的感测式封装件剖面示意
图2A及2B是美国专利第6，262,479及6,590,269号案所揭露的感 测式封装件剖面示意图3是美国专利第5,962，810号案所揭露的感测式封装件剖面示意
图4是美国专利第5,534，725号案所揭露的感测式封装件剖面示意
图5A至5F是本发明的感测式封装件及其制法第一实施例的剖面 示意图6A至6E是本发明的感测式封装件的制法第二实施例的剖面示 意图；以及
图7是本发明的感测式圭^J装件的制法第三实施例的剖面示意图。
主要元件符号说明
10 感测芯片
11 基板
12
13
14
15
20
21
22
23 25
27
270
271
28
30
31
32
33 35 40
44
45
50,60 5 OA 501，601 502,602
焊线
拦坝结构
空间
玻璃
基板 焊线
拦坝结构
玻璃
上模
上凹模穴
凸出部
下模
感测芯片
基板
焊线
胶体
透明胶
感测芯片
封装胶体
玻璃
感测芯片 日日斤 主动面 非主动面
503，603感测区
504,604煤垫
51,61基板
51A，61A基板模块片
52,62焊线
54,64,74刦装胶休
540凹槽
55,65,75透光体
551,651第一表面
552,652第二表面
56,66,76覆盖层
57，67粘着层
78夹具
具体实施例方式
以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术 人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其他优点与功 效。
第一实施例
请参阅图5A至5F，是本发明的感测式封装件的制法剖面示意图， 且可采用批次方式大量制造生产。
如图5A及5B所示，提供一具有多个感测芯片50的晶片50A，以 将具相对的第一表面551及第二表面552的透光体55接着在各该感测 芯片50上，其中该第一表面551设有一覆盖层56，以及该第二表面 552设有一环状粘着层57，以将该透光体55通过该环状粘着层57接 置在该感测芯片50上，其中该透光体55的平面尺寸小于该感测芯片 50尺寸；接着，对该晶片50A进行切单作业，以形成多个接置有透光体55的感测芯片50。
该感测芯片50具有一主动面501及一相对的非主动面502，且该 感测芯片50的主动面501上设有感测区503及焊垫504。另该感测芯 片50可先对其非主动面502进行薄化，并选择出良品芯片(gooddie)。
该透光体55例如是玻璃，该覆盖层56例如为贴片(tape)、环氧树 脂、或蜡(wax)等，以使该覆盖层56与透光体55的接合性小于后续覆 盖其上的封装胶休，该粘着层57呈环状以围束该感测区503周围。
如图5C所示，提供一具多个基板51的基板模块片51A，以将该 感测芯片50对应接置并电性连接至各该基板51上。
该感测芯片50以其非主动面502对应接置在该基板51上，并通 过焊线52连结该感测芯片50的焊垫504及基板51,以供该感测芯片 50与基板51相互电性耦合。
如图5D所示，进行封装模压作业，以在该基板模块片51A上形 成包覆该感测芯片50、焊线52、透光体55及设在该透光体55上的覆 盖层56的封装胶体54。
如图5E所示，利用如激光切割或研磨技术，以沿该覆盖层56周 围切割该封装胶体54，由此形成一凹槽540，其中该切割深度，即该 凹槽540的深度至少到达该覆盖层56位置，且以超过覆盖层56约 0.05~0.1mm为佳，另外该凹槽540距离该覆盖层56宽度可为0 0.1mm， 而以0.05mm为佳，此外该凹槽540也可延伸至该覆盖层56深度约至 O.lmm，而以0.05mm为佳，但应注意避免破坏该透光体55。
如图5F所示，进行移除及切割作业，以移除该覆盖层56及位于 其上的封装胶体54而外露出该透光体55，同时对应该基板模块片51A 以沿各该基板51间切割该基板51及封装胶体54，以形成结合有感测 芯片50及透光体55且也无需设置拦坝结构的感测式封装件。该移除 作业主要是利用该覆盖层56与封装胶体54的接合性大于该覆盖层56 与透光体55的接合性，以便可同时移除该覆盖层56及遮覆其上的封 装胶体54，进而外露出该透光体55，以供外在光线得以穿过该透光体 55到达该感测芯片50的感测区503而使感测芯片作动。
通过前述工艺，本发明也揭露一种感测式封装件，包括基板51; 感测芯片50，接置并电性连接至该基板51上；透光体55，接着在该
感测芯片50上，且该透光体55的平面尺寸小于该感测芯片50平面尺 寸；以及封装模压形成的封装胶休54，形成在该基板51上且环绕该感 测芯片50及透光休55周围，以外露出该透光体55的顶面，且该妇装 胶体54与基板51的侧边相互切齐。
另请参阅图6A至6E，是本发明的感测式^j装件的制法第二实施 例的剖面示意图。本实施例与前述实施例大致相同，主要差异是先将 感测芯片接置并电性连接至基板上，再于该感测芯片上接置设有覆盖 层及粘着层的透光体。
如图6A所示，提供一具多个基板61的基板模块片61A，以将感 测芯片60接置在该基板61上，该感测芯片60具有一主动面601及一 相对的非主动面602，且该感测芯片60的主动面601上设有感测区603 及焊垫604，该感测芯片60以其非主动面602对应接置在该基板61 上，并通过焊线62连结该感测芯片60的焊垫604及基板61，以供该 感测芯片60与基板61相互电性耦合。
如图6B所示，提供具有相对的第一表面651及第二表面652的透 光体65，且该透光体第一表面651设有一覆盖层66,该第二表面652 设有一环状粘着层67，以将该透光体65通过该粘着层67接置在该感 测芯片60上。
如图6C所示，进行封装模压工艺，以在该基板61上形成包覆该 感测芯片60、焊线62、透光体65及设在该透光体65上的覆盖层66 的封装胶体64。
如图6D所示，沿该透光体65边缘切割该封装胶体64，其中该切 割深度至少到达设在该透光体65上的覆盖层66位置。
如图6E所示，进行移除及切割作业，以移除该覆盖层66及位于 其上的封装胶体64而外露出该透光体65，同时对应该基板模块片61A 以沿各该基板61间切割该基板61及封装胶休64，以形成结合有感测 芯片60及透光体65且也无需设置拦坝结构的感测式封装件。
第三实施例
另请参阅图7，是木发明的感测式封装件的制法第三实施例的剖面 示意图。本实施例与前述实施例大致相同，主要差异在于本实施例中
为便于自透光休75上移除覆盖层76及位于该覆盖层76上的封装胶休 74部分，可在形成该封装胶体74时，対应该封装胶休74的顶面形成 凸部741，以便后续在透光体75周围切割刦装胶体74后，再予利用夹 具78夹持该凸部741而移除该覆盖层76及位于该覆盖层76上的^装 胶体74部分。
因此，木发明的感测式封装件及其制法主要是先将设有覆盖层及 粘着层的透光体接着在具多个感测芯片的晶片上，其中该透光休的平 面尺寸小于该感测芯片尺寸，以对该晶片进行切单形成多个接置有透 光体的感测芯片，进而将该感测芯片接置并电性连接至基板模块片上 各基板上，或将感测芯片接置并电性连接至基板上，再将设有覆盖层 及粘着层的透光体通过该环状粘着层接置在感测芯片上，之后，即可 进行封装模压工艺，以在该基板上形成包覆该感测芯片及透光体的封 装胶休，并沿该透光体边缘切割该封装胶体，其中该切割深度至少到 达设在该透光体上的覆盖层位置，接着利用移除及切割作业，移除该 覆盖层及位于其上的封装胶体而外露出该透光体，以及沿各该基板进 行切割，形成感测式封装件，以供光线能通过该透光体而为该感测芯 片所撷取。
因此，本发明中由于未形成传统的拦坝结构，故可提供具轻薄短 小特性的感测式封装件，增加工艺可靠性及降低成本，同时，通过预 先在该透光体上设置覆盖层，以在进行封装模压工艺时，可使封装胶 体覆盖至该透光体的覆盖层上，之后再移除该覆盖层及位于其上的封 装胶体，即可外露出该透光体，避免传统的在封装感测芯片时因模压 压力直接压着于该玻璃而发生裂损，甚而压损设在该玻璃下方的感测 芯片，或发生封装胶体溢胶至玻璃表面问题。此外，由于本发明中利 用传统的封装模压工艺以直接形成封装感测芯片的封装胶体，因此不 仅可节省工艺成本，同时通过封装模压工艺的使用将可配合批次方式 而在一具多个基板的基板模块片上大量制造生产，由此降低工艺成本 及复杂性。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明，木领域技术人员均可在不违背木发明的精神及范畴下，对上 述实施例进行修饰与改变。因此，木发明的权利保护范围，应如后述 的权利要求所列。
权利要求
1.一种感测式封装件的制法，包括提供一具多个基板的基板模块片，以将感测芯片接置并电性连接至该基板上；将具相对的第一表面及第二表面的透光体接着在该感测芯片上，其中该透光体第一表面设有一覆盖层，该第二表面设有一粘着层，以将该透光体通过该粘着层接置在该感测芯片上，且该透光体的平面尺寸小于该感测芯片平面尺寸；进行封装模压工艺，以在该基板上形成包覆该感测芯片及透光体的封装胶体；沿该透光体边缘切割该封装胶体，其中该切割深度至少到达设在该透光体上的覆盖层位置；以及进行移除及切割作业，以移除该覆盖层及位于其上的封装胶体而外露出该透光体，并沿各该基板间进行切割，以形成感测式封装件。
2. 如权利要求1所述的感测式封装件的制法，其中，该感测芯片 具有一主动面及一相对的非主动面，且该感测芯片的主动面上设有感 测区及焊垫。
3. 如权利要求2所述的感测式封装件的制法，其中，该感测芯片 以其非主动面接置在该基板上，并通过焊线连结该感测芯片的焊垫及 基板。
4. 如权利要求1所述的感测式封装件的制法，其中，该透光体为 玻璃，该覆盖层为贴片、环氧树脂、以及蜡的其中一种，以使该覆盖 层与透光休的接合性小于后续覆盖其上的封装胶体。
5. 如权利要求1所述的感测式封装件的制法，其中，在沿该透光 体周围切割该封装胶体时，形成一凹槽，该凹槽的深度至少到达该覆 盖层位置，且以超过覆盖层0.05至0.1mm为佳。
6. 如权利要求5所述的感测式封装件的制法，其中，该凹槽距离 该覆盖层宽度为不大于O.lmm，而以0.05mm为佳。
7. 如权利要求5所述的感测式封装件的制法，其中，该凹槽延仲 至该覆盖层深度不大于O.lmm，而以0.05mm为佳。
8. 如权利要求1所述的感测式封装件的制法，其中，该覆盖层与 :fel装胶休的接合性大于该覆盖层与透光体的接合性。
9. 如权利要求1所述的感测式封装件的制法，其中，该封装胶休 的顶面形成有凸部，以在透光休周围切割封装胶体后，再予利用夹具 夹持该凸部而移除该覆盖层及位于该覆盖层上的封装胶体。
10. —种感测式封装件，包括 基板；感测芯片，接置并电性连接至该基板上；透光体，接着在该感测芯片上，且该透光体的平面尺寸小于该感 测芯片平面尺寸；以及封装模压形成的封装胶体，形成在该基板上且环绕该感测芯片及 透光体周围，以外露出该透光体的顶面，且该封装胶体与基板的侧边 相互切齐。
11. 如权利要求10所述的感测式封装件，其中，该感测芯片具有 一主动面及一相对的非主动面，且该感测芯片的主动面上设有感测区 及焊垫。
12. 如权利要求ll所述的感测式封装件，其中，该感测芯片以其 非主动面接置在该基板上，并通过焊线连结该感测芯片的焊垫及基板。
13. 如权利要求IO所述的感测式封装件，其中，该透光体为玻璃。
全文摘要
感测式封装件及其制法，将二表面分别设有覆盖层及粘着层的透光体粘着在具有多个感测芯片的晶片上，并对该晶片切单形成多个接置有透光体的感测芯片，再将该感测芯片接置并电性连接至具多个基板的基板模块片的基板上，或先将感测芯片接置并电性连接至基板上，再将设有覆盖层及粘着层的透光体粘着在感测芯片上；之后进行封装模压工艺，以在该基板上形成包覆该感测芯片及透光体的封装胶体，并沿该透光体边缘切割该封装胶体，其切割深度至少到达设在该透光体上的覆盖层位置，接着移除该覆盖层及位于其上的封装胶体而外露出该透光体，最后沿该基板周围进行切割，以形成未设有拦坝结构的具轻薄短小特性的感测式封装件，由此降低工艺成本及复杂性。
文档编号H01L21/50GK101192545SQ20061014946
公开日2008年6月4日 申请日期2006年11月21日 优先权日2006年11月21日
发明者张正易, 张泽文, 詹长岳, 黄建屏 申请人:矽品精密工业股份有限公司