专利名称：用于倒装芯片封装的组合倒置的制作方法
技术领域：
本发明一般涉及集成电路(IC)封装。更具体而言，描述了用于将管芯贴装到衬底的方法和装置。
背景技术：
存在很多用于将集成电路(IC)管芯贴装到印刷电路板(PCB)或 其他所需衬底上的常规方法。通常，管芯被封装成塑料或陶瓷封装。 这种封装通常使用金属引线框。每个引线框一般包括与管芯上的相关 I/O焊盘电连接的多个引线。所述引线框一般还包括相关的金属接触， 用于将所述封装电连接到PCB上的接触。备选地，管芯本身可以直接 连接到PCB上的接触。可以被封装或直接连接到PCB的一种类型的管芯已知为倒装芯片 类型的管芯。倒装芯片管芯一般具有在管芯有源表面上的接触焊盘上 形成的焊料凸点。在从晶片切割之后，在封装或贴装到合适的衬底之 前，管芯可以倒置也可以不倒置。在贴装过程中，焊料凸点直接连接 到衬底上的接触焊盘。合适的衬底包括引线框、球栅阵列(BGA )和PCB。尽管现有的倒装芯片封装方法和系统工作良好，但仍在继续努力 以研发更有效的方法和系统。发明内容描述了 一种将多个集成电路管芯固定到引线框面板的方法。每个 集成电路管芯包括有源表面和背面。管芯的有源表面包括多个接触焊 盘，所述接触焊盘具有其上形成的焊料凸点。所述方法包括放置多个 管芯到载体上指定的位置，使得管芯的有源表面朝上避开所述载体。 包括多个器件区域的引线框面板被放置在填充了管芯的载体上。使用 这种布置，管芯有源表面上的焊料凸点邻近相关器件区域的相关引线 放置并与之接触。在引线框面板被放置之后，焊料凸点被回流，以将 管芯贴装到该引线框面板。使用这种布置，管芯上的接触焊盘可以机 械地并电学地耦合到所述引线框面板的相关器件区域的引线。在回流 之后，引线框面板和贴装的管芯可以从所述载体上分离。在一个优选实施例中，所述载体可以在贴装其他管芯中被再利用。
在另 一实施例中，描述了适于在贴装集成电路管芯到引线框面板 中使用的载体。所述引线框面板包括器件区域阵列，每个器件区域包 括多个引线。所述载体包括托架，该托架包括相关载体器件区域的相 关阵列。每个载体器件区域的尺寸被适当地设计以接收相关的集成电 路管芯。更具体而言，当管芯被合适地放置在每个载体器件区域中且 当引线框面板邻近所述载体被合适地放置时，引线框器件区域的引线 与相关管芯上接触焊盘顶部的相关焊料凸点相邻并接触。
为更好地理解本发明，在下面将结合附图进行详细描述，附图中 图1示出了根据本发明一个实施例，用于贴装焊料凸点管芯的工 艺的流程图2A-2C示出了根据本发明一个实施例，适于在贴装倒装芯片管 芯中使用的引线框面板的示意性顶视图。
图3A-3C示出了根据本发明一个实施例，适于在贴装倒装芯片管 芯中使用的载体的示意性顶视图。
图4A-4D示出了根据本发明一个实施例，图1中工艺过程的不同 阶段的示意性侧视图。
图5A-5B示出了根据本发明另一实施例，适于在贴装倒装芯片管
芯中使用的载体的示意性顶视图和側视图。
图6A-6D示出了根据本发明另一实施例，图1中工艺过程的不同
阶段的示意性侧视图。
贯穿附图，相同的参考数字表示相应的部分。
具体实施例方式
本发明一般涉及集成电路(IC)封装。更具体而言，描述了用于 贴装多个管芯到衬底的方法和装置。
在下面的描述中，提出了很多特定细节以提供对本发明的彻底理 解。然而对于本领域技术人员来说，很明显，可以在不具备这些部分 或全部特定细节的条件下实行本发明。在其他实例中，并没有具体地 描述已知的工艺步骤以避免混淆本发明。
下面的描述集中于使用引线框以引线上倒装芯片(FC0L)封装形 式来封装倒装芯片形式的管芯。然而，可以预期，本发明可以有利地在将各种管芯封装成各种封装配置中实行，在所述封装配置中，管芯 上的焊料凸点直接电连接到衬底上的金属接触。将参考图1-6描述本发明的各个实施例。本发明的方案提供了使 用常规贴片机封装倒装芯片管芯的方法和装置。更具体而言，描述了 使用并不配置为用作倒装芯片贴片机的贴片机，用于拾取和放置倒装 芯片管芯到合适衬底上的方法和装置。一般而言，倒装芯片贴片机明显比常规(非倒装芯片)贴片机更 昂贵。举例来说，倒装芯片贴片机目前可能花费约高达$500， 000，而 相比而言，常规贴片机大体为$150， 000 ~$200， 000。而且，常规贴片 机一般比倒装芯片贴片机明显更快。举例来说，常规贴片机可以每小 时贴装高达10, 000 ~ 15， 000个管芯。相反，倒装芯片贴片机每小时能 够贴装小于4， 000个管芯。不过，倒装芯片贴片机确实提供诸如处理 高管脚数器件的能力之类的优点。然而，这些高管脚数能力对于很多 应用并不需要。更具体而言，很多应用，例如适合用在微型表面安装 器件(SMD)中的使用管芯的那些应用需要很少的管脚数。由此希望调 整封装工艺，使得高速常规贴片机可用于贴装倒装芯片管芯到衬底。首先参考图1，然后进一步参考图2-4的视图，将描述根据本发 明的一个实施例，贴装倒装芯片集成电路管芯到衬底的工艺100。所述 方法有助于多个管芯到衬底的相关器件区域的同时大批量放置，用于 后续的贴装。具体而言，多个管芯首先被放置到暂时的载体上。然后 衬底被放置到该载体和管芯上，使得每个管芯与衬底的相关器件区域 相邻。在一个优选实施例中，所述衬底是引线框面板。在所述实施例中， 所述引线框面板是引线框条的形式。图2A示出了以条形形式布置的引 线框面板200的示意性顶视图。引线框面板200被配置为具有器件区 域的很多二维阵列202的金属结构。如接下来更详细的图2B-C所示， 每个二维阵列202包括多个器件区域204，每个器件区域都被配置用于 单个IC封装，且每个器件区域都通过精细连接杆(fine tie bar) 206 相连。每个器件区域204包括多个引线208，每个引线都在一端被连接 杆206支撑。每个引线208包括在引线末端处的接触区域210。在其他实施例中，衬底可以是适于用在球栅阵列(BGA)或平面栅 格阵列(LGA)封装中的衬底。工艺100从102以放置单独的焊料凸点管芯402到载体300上开 始。图4A示出填充了管芯402的载体300的剖面的侧视图。在一个优 选实施例中，使用常规贴片机，每个管芯402被放置到载体300上。 更具体而言，在管芯被放置到载体300上之前，并不像倒装芯片贴片 机所做的那样，该贴片机不倒置每个管芯402。在所示实施例中，管芯 402被放置到载体300上，使得管芯的有源表面向上而避开载体。在所 示实施例中，每一个管芯还包括管芯有源表面上的多个焊球、接触或 焊料凸点404，所述管芯意在被直接安装到引线框面板200的接触区域 210上。焊料凸点404可以直接在管芯的I/O焊盘上形成，或者使用 常规再分布技术再分布到备选接触焊盘。此外，可以在使焊料凸起以 产生焊料凸点404之前，在管芯402的接触焊盘上形成凸点下金属化 堆栈(UBM )。
假设载体300具有各式各样的结构形式和配置。优选地，载体300 由金属框构造。举例来说，载体300可以由类似于用在构造金属引线 框中使用的铜或铜合金制成。图3A示出了以条形形式布置的载体300 的一个实施例。图3B-3C随后示出了图3A中所示的载体300更详细 的视图。
在所示实施例中，载体300包括很多二维阵列302。每个阵列302 包括多个管芯保持腔304。每个管芯保持腔304被配置以接收单个管芯 402。举例来说，每个保持腔可以是载体中的凹陷区域。备选地，每个 腔304可以是完全穿透所述载体延伸的通孔。优选地，二维阵列302 对应于相关引线框面板200的相关二维阵列202。此外，每个管芯保持 腔304优选地对应于相关引线框面板200上的相关器件区域204。更 具体而言，配置载体300使得当相关引线框面板200被反转并放置到 填充的载体顶部时，引线框面板上的器件区域204与栽体上的管芯402 直接相邻放置。
在一些实施例中，每个管芯402通过放置到腔的底面306上的液 体薄膜被"保持"在其相关腔304中。液体薄膜的表面张力帮助管芯 402保持在腔304中适当的位置。所述薄膜可以由任意合适的液体形 成。优选的液体将具有低的粘性且将在回流过程中蒸发而没有任何残 留物。举例来说，水溶助焊剂工作良好。在一个备选实施例中，每个 腔304可以包括腔底面上的入口。每个入口可以经由真空线耦合到真空源。这样，管芯402可以通过真空被固定在腔304中。
在一些实施例中，胶带被固定到载体300的背面。该胶带在其中 每个腔304包括足够大的通孔以接收相关管芯的实施例中极其有用。 这样，在载体中该胶带支撑了管芯403。附加地，管芯402的背面可以 粘合到该胶带，以在引线框面板被放置在载体300上时保持所述管芯 在适当的位置。
一般地，在104，助焊剂被应用到衬底上的接触区域210和/或焊 料凸点404。在某些实施例中，栽体300和贴装的管芯402被倒置并 浸润在助焊剂的容器中以将助焊剂施加到管芯上的焊料凸点404。在另 一实施例中，引线框面板200上的接触区域210使用助焊剂制备。助 熔接触区域210可以使用压印传递(stamp transfer)法完成，该方 法类似于很多常规贴片机在常规贴片过程中应用环氧树脂所使用的方 法。在该实施例中，包括单个管脚或多个管脚的装置可以用于输送助 焊剂到引线框面板200上的每个接触区域210。更具体而言，管脚或多 个管脚的端头可以浸润到助焊剂容器中。然后，管脚或多个管脚可以 被压印到引线框面板200的接触区域210上，由此传递了助焊剂到(多 个)接触区域。在优选实施例中，管脚"床"可用于同时输送助焊剂 到每个引线框接触区域210。在该"组合助熔"方法中，管脚床被浸润 到助焊剂容器中。布置所述管脚床，使得当被压印到引线框面板200 上时，每个管脚向相关的接触区域210同时施加助焊剂。
接着，在106，引线框面板200放置在载体300上，如图4B所示。 在某些实施例中，这可能需要反转引线框面板200。在所示实施例中， 引线框面板200包括贴装到引线框面板的背部底面与载体300相对的 胶带406。举例来说，胶带406 —般是高温带，例如聚酰亚胺带，适于 在引线框面板的封装过程中使用。引线框面板200被直接放置在管芯 402上。更具体而言，引线框面板200被直接设置在载体300支撑的 管芯402有源表面上的焊料凸点404上。尽管在图4B中所示的特定剖 面中没有明显地示出，但应当理解引线框面板200的器件区域204中 的引线被连接杆206支撑。
如本领域中公知的，引线框面板条200通常包括位于面板侧面上 的支撑轨中的对准孔212。对准孔212 —般用于在封装引线框面板和管 芯402的过程中使引线框面板200对准于具有相关对准管脚的模具。在一个优选实施例中，载体300还包括对应于引线框面板200中相关 对准孔212的对准管脚306。以这种方式，引线框面板200可以相对 于载体300精确地放置。
在引线框面板200处于栽体300上之后，在步骤108，栽体、管 芯402和引线框面板一般被放置在回流炉中用于焊料凸点404的回 流。在所示实施例中，在将引线框面板200设置在载体300上之前， 在管脚306上放置垫片。举例来说，所述垫片可以是放置在管脚306 之上或环绕管脚306的环形垫片。所述垫片可以有利地用于回流过程 当焊料凸点熔化时控制焊料凸点404的塌陷。更具体而言，焊料凸点 404回流过程中，焊料凸点将熔化并在引线框面板200的重力下倒塌。 然而，当在载体300和引线框面板200之间使用垫片时，引线框面板 将塌向所述垫片。这样，可以选择垫片的厚度以获得管芯402和引线 框面板200之间的精确受控的平衡高度。而且，应当意识到垫片有利 于跨越每个单独器件区域204以及跨越整个引线框面板200的均匀生 成的平衡高度。
在回流工艺中，在其中液体用于将管芯402保持在腔304中适当 位置的实施例中，液体薄膜蒸发。在其中真空用于固定管芯402的实 施例中，在回流之前所述真空可以从载体300去耦。在将引线框面板 200放置到管芯402上以后，引线框面板本身的重量足以保持管芯在适 当的位置。
在回流之后，如图4C所示，管芯402经由焊料凸点4(H机械地并 电连接到引线框面板2t)0。应当意识到放置在管脚306上的垫片可用于 控制回流过程中焊料凸点404的塌陷，这样允许控制生成的平衡高度。 在IIO，如图4D所示，引线框面板200和贴装的管芯402从载体300 分离。在一个优选实施例中，载体300然后可以在贴装另外很多管芯 到另一引线框面板中再利用。在其中胶带被粘合到载体300背面的实 施例中，所述胶带被去除并替代。在112，在从载体分裂之后，使用塑 封材料，填充的引线框面板200可以放置在模具中用于封装。优选地， 整个填充的引线框面板200被基本同时封装。接着，在114，封装的引 线框面板然后可以被切割，以提供多个单独的IC封装。 一般而言，在 116，单独的IC封装然后被测试。
在一个备选实施例中，参考图5-6，描述了同样由金属框构造的载体500。图5A示出了载体500的顶视图，而图5B示出了载体的侧 视图。然而，并不包括多个腔304，载体500包括多个大的剪切区域 502。在一个优选实施例中，载体500包括用于相关引线框面板200的 器件区域的每个二维阵列202的剪切区域502。每个剪切区域502优 选地在几何上类似并可以稍大于相关二维阵列202。一层带504被粘合 到载体500的背面以至少覆盖每个剪切区域502。在该实施例中，不是 将管芯402放置在相关腔304中，管芯被直接放置在带504上，如图 6A所示。以这种方式，管芯402的背面变得粘合到带504，消除用于 固定管芯到载体500的真空或液体的需要。接着，如前所述，引线框 面板200被放置在管芯402和载体500上，如图6B所示。同样，载体 500可以包括对应于引线框面板200中相关对准孔212的管脚506。载 体500、管芯402以及引线;^匡面板200然后可以被方t置在回流炉中。 应当注意，带504优选地是能够承受回流过程中经历的高温的高温带。 举例来说，可以使用高温聚酰亚胺带。
在一个实施例中，在回流过程中管芯402保持粘合到带5(M。在回 流过后，如图6C所示，管芯402经由焊料凸点404被机械地和电连接 到引线框面板200。同样，应当意识到，放置在管脚506上的垫片可用 于控制回流过程中焊料凸点404的塌陷，由此允许控制生成的平衡高 度。如图6D所示，引线框面板200和贴装的管芯402可以从栽体500 分离。 一旦分离，新的一层带504可以粘合到载体500的背面。接着， 载体500可以在贴装很多新的管芯402到新引线框面板200中使用。 应当意识到，由于载体500的开放属性和带504的使用，载体500可 用于贴装管芯402到各种引线框配置。
应当意识到，使用常规贴片机，所述方法以及载体300和500可 以用在贴装焊料凸点管芯到各种衬底中。而且，应当意识到，所述方 法允许与常规贴片机基本完全的集成。
用于解释目的，前面的描述使用了特定的术语以彻底理解本发 明。然而，对于本领域技术人员而言，很明显，并不需要这些特定细 节也可实施本发明。这样，本发明特定实施例的前述描述用于说明和 描述目的。它们并不是穷举地，或它们并不意在将本发明限制为所公 开的精确形式。对于本领域技术人员而言，很明显，考虑到上面的教 导，可以进行很多修改和变化。选择和描述了实施例以最好地理解本发明原理和它的实际应用， 从而使本领域技术人员能够最好地利用本发明以及针对预期的特定用 途而做出各种改进的实施例。意图在于，本发明的范围由下面的权利 要求和它们的等效表述限定。权利要求
1.一种固定多个集成电路管芯到引线框面板的方法，每个集成电路管芯包括有源表面和背面，所述有源表面具有多个接触焊盘，所述接触焊盘具有其上形成的焊料凸点，所述方法包括a)将多个管芯放置到载体上指定的位置，其中所述管芯的有源表面避开所述载体；b)使引线框面板与所述载体邻近放置，该引线框面板包括多个器件区域，每个器件区域包括多个引线且每个器件区域对应于位于所述载体上的相关管芯，其中所述管芯的有源表面上的焊料凸点与相关器件区域的相关引线相邻并接触；和c)回流所述焊料以固定所述管芯到所述引线框面板。
2. 如权利要求1中所述的方法，进一步包括d)在焊料固化之 后，从所述载体分离所述引线框面板和贴装的管芯。
3. 如权利要求2中所述的方法，进一步包括 当使用新的管芯和引线框面板重复步骤(a) - (d)时，再利用所述载体以使用集成电路器件填充附加的引线框面板。
4. 如权利要求2或3中所述的方法，进一步包括封装所述引线框 面板部分和贴装的管芯以及切割封装的引线框面板部分以产生多个单独 的集成电路封装。
5. 如前面权利要求中任一项所述的方法，其中所述载体上每个指 定的位置包括尺寸经过适当设计的凹陷的腔，以接收相关的管芯，每个 腔的底面具有布置在其上的液体薄膜，所述方法进一步包括使用来自于 液体薄膜的表面张力来保持所述管芯在它们相关腔中合适的位置。
6. 如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中所述载体上每个 指定的位置包括与每个指定的位置相连的真空源，所述方法进一步包括 使用所述真空源来适当地保持所述管芯在它们相关的位置。
7. 如权利要求1-4中任一项所述的方法，其中所述载体上每个 指定的位置包括粘合到所述载体的胶带，所述方法进一步包括粘合管芯 的背面到所述胶带。
8. 如前面权利要求中任一项所述的方法，其中在回流之前，所述 引线框面板的器件区域并不物理地接触所述载体。
9. 一种适于在贴装集成电路管芯到引线框面板中使用的载体，该引线框面板包括器件区域阵列，每个器件区域包括多个引线，该栽体包括托架，该托架包括相关栽体器件区域的相关阵列，每个栽体器件区 域的尺寸被合适地设计以接收相关的集成电路管芯，其中当管芯被合适地放置在每个栽体器件区域中且当引线框面板邻 近载体被合适地放置时，引线框器件区域的引线与相关管芯上的接触焊 盘的顶部上的相关焊料凸点相邻并接触。
10. 如权利要求9中所述的载体，进一步包括多个对准管脚，所述 对准管脚外围环绕所述托架放置并对应于相关引线框面板中的对准孔， 其中当所述引线框面板被放置在所述栽体上时，载体的管脚穿过引线框 面板的孔，由此使所述引线框面板对准于所述载体。
11. 如权利要求10中所述的载体，进一步包括放置在所述载体管 脚之上并环绕所述载体管脚的多个垫片。
12. 如权利要求9-11中任一项所述的载体，其中每个载体器件区 域包括尺寸经过适当设计的凹陷的腔以接收相关的管芯。
13. 如权利要求12中所述的载体，进一步包括与每个腔互连的真 空源，以助于保持所述管芯在它们相关的腔中合适的位置。
14. 如权利要求12中所述的载体，进一步包括沉积在所述腔的底 面上的液体薄膜，其中每个管芯通过来自于所述液体薄膜的表面张力被 保持在每个腔中合适的位置。
15. 如权利要求12中所述的载体，其中每个载体器件区域包括尺 寸经过适当设计的通孔以接收相关的管芯，所述载体进一步包括粘合到 用作管芯支撑表面的托架背面的胶带。
16. 如权利要求9 - 15中任一项所述的载体，其中所述托架的印迹 基本与相关引线框面板的印迹相同，且其中所述托架基本由金属或金属 合金形成。
17. —种适于在贴装集成电路管芯到引线框面板中使用的载体，该 引线框面板包括器件区域阵列，引线框面板中的每个器件区域包括多个 引线，该载体包括具有通孔的托架，所述通孔的尺寸经过合适地设计以接收多个管芯^胶带，粘合到用作多个管芯支撑表面的托架背面，其中多个管芯可以被放置在阵列形式的通孔中，使得管芯的背面粘合到所述带，以使用管芯填充所述载体；以及其中当引线框面板邻近填充的载体被合适地放置时，所述引线框器 件区域的引线与它们相关管芯上的相关焊料凸点相邻并接触。
18. 如权利要求17中所述的载体，其中所述托架的印迹基本与相 关引线框面板的印迹相同，且其中所述托架基本由金属或金属合金形 成。
19. 如权利要求17或18中所述的载体，进一步包括多个对准管 脚，所述对准管脚外围环绕所述托架放置并对应于相关引线框面板中的 对准孔，其中当所述引线框面板被放置在所述载体上时，所述载体的管 脚穿过所述引线框面板的孔，由此使所述引线框面板对准于所述载体。
20. 权利要求19中所述的载体，进一步包括放置在所述载体管脚 上并环绕所述载体管脚的多个垫片。
全文摘要
本发明涉及用于倒装芯片封装的组合倒置。本发明描述了用于封装集成电路的改进的方法和装置。更具体而言，描述了用于固定多个集成电路管芯到引线框面板的方法和装置。每个集成电路管芯包括具有多个焊料凸点的有源表面。所述引线框面板包括器件区域阵列，每个器件区域包括多个引线。所述方法包括将多个管芯放置到载体上指定的位置使得管芯的有源表面朝上。所述载体包括托架，该托架包括载体器件区域的相关阵列。引线框面板可以被放置在所述载体之上，使得所述管芯的有源表面上的焊料凸点与相关器件区域的相关引线相邻并接触。
文档编号H01L21/60GK101276768SQ20071014225
公开日2008年10月1日 申请日期2007年8月31日 优先权日2007年3月26日
发明者A·S·普拉布, A·波达, J·A·巴扬, W·K·王 申请人:国家半导体公司