悬臂探针与垂直探针共享的测试接口板的制作方法

文档序号:6882362阅读:326来源:国知局
专利名称:悬臂探针与垂直探针共享的测试接口板的制作方法
技术领域
本实用新型涉及的是一种与晶圆测试的探针适配卡有关,特别是指用以结合 探针的测试接口板。
背景技术
按,在晶圆制造完成后,必须再经由测试以确保其特性正确。而一般测试晶 圓是利用一探针卡,其探针卡主要是由一基板PCB与一探针座所构成,凭借将探 针座上的探针与基板上的焊点接触使所述的各探针与晶圆接触后的电气特性能传 导至所述的基板上,再由所述的基板传输至测试机台中加以检测。
惟,由于基板主要用以作为探针座上的探针与测试机台间的电气传导媒介, 因此所述的基板必须具有能与所述的探针座上的探针加以连结的焊点,但因目前 探针的型态主要分为悬臂式与垂直式二种,因此所述的基板上所设置的焊点位置 与型态也必须因应所欲连结的探针型式而有所不同,以能与探针座加以连结。然 而,此种仅专用在悬臂式探针或垂直式探针的基板一般称的为专用板,在运用上 过在狭隘,而有难以作为广泛运用的缺陷。
发明内容
本实用新型的主要目的在于,提供一种悬臂探针与垂直探针共享的测试接口 板,是能供悬臂探针或垂直探针所共享,以增加运用的范围。
缘以,为达成上述的目的,本实用新型所提供一种悬臂探针与垂直探针共享 的测试接口板,其包含有一基板、 一垂直探针连结区与一悬臂探针连结区;所述 的基板为一PCB板,具有一第一面与一相背在第一面的第二面;所述的垂直探针 连结区,具有若干布设在所述的基板第一面中央位置的第一垂直探针连结焊点与 若干布设在所述的基板第二面的第二垂直探针连结焊点,且所述的第一垂直探针 连结焊点与所述的第二垂直探针连结焊点呈电性连接;所述的悬臂探针连结区, 具有若干布设在基板第一面而位于所述的第一垂直探针连结焊点外周围的第一悬臂探针连结焊点与若干布设在所述的基板第二面的第二悬臂探针连结焊点,且所 述的第 一 悬臂探针连结焊点与所述的第二悬臂探针连结焊点呈电性连接;以供使 用者依需求而在以第一垂直探针连结焊点与一垂直式探针座连接或以第一悬臂探 针连结焊点与一悬臂式探针座连接,而能增加测试接口板的运用范围。
本实用新型的优点在于,由于本实用新型在基板上同时设置可分别供垂直式探 针与悬臂式探针连接的垂直探针连结区与悬臂探针连结区,使无论欲连接垂直式 探针或悬臂式探针时,都可以本实用新型的测试接口板作为连接接口,而无需另 外制造对应的专用板,使本实用新型所能运用的范围大为增加。


图1是本实用新型一较佳实施例的结构示意图; 图2是图1所示较佳实施例与一垂直式探针座连接的示意图; 图3是图1所示较佳实施例与一悬臂式探针座连接的示意图; 图4是图1所示较佳实施例与一悬臂式探针座连接的示意图。 附图标记说明100-悬臂探针与垂直探针共享的测试接口板;lO-基板;11 -第一面;12-第二面;13-透孔;20-垂直探针连结区;21-第一垂直探针 连结焊点;30-悬臂探针连结区;31 -第一悬臂探针连结焊点;50 -垂直探针 座;51-垂直探针;60-转接板;70-悬臂探针座;71 -悬臂探针。
具体实施方式
为能更详细说明本实用新型的特征,举本实用新型 一较佳的实施例并配合图 式说明如下;其中请参阅图1,是本实用新型所提供一较佳实施例悬臂探针与垂直探针共享的 测式接口板100,其主要包含有一基板10、 一垂直探针连结区20与一悬臂探针连 结区30;其中所述的基板10,为一PCB板,具有一第一面11与一相背在第一面11的第 二面12。所述的垂直探针连结区20,具有若干布设在所述的基板IO第一面11中央位 置的第一垂直探针连结焊点21与若干布设在所述的基板IO第二面12预定位置处 的第二垂直探针连结焊点图中未示,且所述的第一垂直探针连结焊点21是与所述 的第二垂直探针连结焊点呈电性连接。
所述的悬臂探针连结区30,具有若千布设在基板IO第一面11而位于所述的 第一垂直探针连结焊点21外周围的第一悬臂探针连结焊点31与若干布设在所述 的基板10第二面12预定位置处的第二悬臂探针连结焊点图中未示,且所述的第 —悬臂探针连结焊点31是与所述的第二悬臂探针连结焊点呈电性连接。是以,上述即为本实用新型所提供一较佳实施例悬臂探针与垂直探针共享的 测试接口板100的各部构造介绍,接着再将其使用方式与特点介绍如下请参阅图2所示,当欲由本实用新型的测试接口板100与一垂直式探针座50 连结时,由于垂直式探针座50需凭借一转接板60作为与测试接口板100连结的 媒介,因此首先将所述的垂直式探针座50的垂直探针51与转接板60电性连接, 再将所述的转接板60与位于基板10第一面11上的垂直探针连结焊点21电性连 接,再将第二垂直探针连结焊点利用跳线的方式与测试机台电性连接,使所述的 垂直探针51与晶圆图中未示接触而进行测试时,能由所述的垂直探针51将晶圓 的电气特性传导至所述的转接板60,再由所述的转接板60传导至所述的第一垂 直探针连结焊点21上,而再由所述的第一垂直探针连结焊点21传导至所述的第 二垂直探针连结焊点,尔后再由所述的第二垂直探针连结焊点将晶圓的电气特性 传导至测试机台上进行检测。请参阅图3所示,当欲由本实用新型的测试接口板100与一悬臂式探针座70 连结时,首先将所述的悬臂式探针座70的悬臂探针71与基板IO第一面11上的 悬臂探针连结焊点31电性连接,再将第二悬臂探针连结焊点利用跳线的方式与测 试机台电性连接,使所述的悬臂探针71与晶圓图中未示接触而进行测试时,能由 所述的悬臂探针71将晶圓的电气特性传导至所述的第一悬臂探针连结焊点31上, 而再由所述的第一悬臂探针连结焊点31传导至所述的第二悬臂探针连结焊点,尔 后再由所述的第二悬臂探针连结焊点将晶圓的电气特性传导至测试机台上进行检 测。请参阅图4所示, 一般用以连接悬臂式探针座70时,会在所述的基板10的 中央位置加以形成出一透孔13,以利于基准点的对准。致此,由于本实用新型在基板上同时设置可分别供垂直式探针与悬臂式探针 连接的垂直探针连结区与悬臂探针连结区,使无论欲连接垂直式探针或悬臂式探 针时,都可以本实用新型的测试接口板作为连接接口 ,而无需另外制造对应的专 用板,使本实用新型所能运用的范围大为增加。
以上i兌明对本新型而言只是"i兌明性的,而非限制性的,本领域普通^支术人员 理解,在不脱离以下所附权利要求所限定的精神和范围的情况下,可做出许多修 改,变化,或等效,但都将落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1. 一种悬臂探针与垂直探针共享的测试接口板,其特征在于其包含有 一基板,具有一第一面以及一与第一面相背的第二面;一垂直探针连结区,具有复数布设在所述的基板第一面中央位置的第一垂直 探针连结焊点,复数布设在所述的基板第二面的第二垂直探针连结焊点,且所述 的第一垂直探针连结焊点与所述的第二垂直探针连结焊点呈电性连接;一悬臂探针连结区,具有复数布设在基板第一面,而位于所述的第一垂直探 针连结焊点外周围的第一悬臂探针连结焊点,与复数布设在所述的基板第二面的 第二悬臂探针连结焊点,且所述的第一悬臂探针连结焊点与所述的第二悬臂探针 连结焊点呈电性连接。
2. 根据权利要求1所述悬臂探针与垂直探针共享的测试接口板,其特征在于 所述的基板为一PCB板。
专利摘要本实用新型为一种悬臂探针与垂直探针共享的测试接口板,其包含一基板,具有一第一面以及第二面;一垂直探针连结区,具有复数布设在基板第一面中央位置的第一垂直探针连结焊点,复数布设在基板第二面的第二垂直探针连结焊点,且第一垂直探针连结焊点与第二垂直探针连结焊点呈电性连接;一悬臂探针连结区,有复数布设在基板第一面,位于第一垂直探针连结焊点外周围的第一悬臂探针连结焊点,与复数布设在基板第二面的第二悬臂探针连结焊点,且第一悬臂探针连结焊点与所述的第二悬臂探针连结焊点呈电性连接。从而依需求在第一垂直探针连结焊点与一垂直式探针座连接或以第一悬臂探针连结焊点与一悬臂式探针座连接,而能增加测试接口板的运用范围。
文档编号H01L21/66GK201021931SQ20072014133
公开日2008年2月13日 申请日期2007年3月14日 优先权日2007年3月14日
发明者苏仁彬 申请人:连陞科技有限公司
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