专利名称：料盘储存机构以及使用所述的机构的芯片检选机的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及的是一种储存机构以及芯片检选机，尤其是指同时具有储存 满料料盘以及储存未满料盘的 一种料盘储存机构，以及使用所述的机构的芯片检选机。
背景技术：
请参阅图l所示，所述的图为现有的料盘供给装置示意图。所述的料盘供给 装置1包括有一津牛盘供应部10(Tray loader)、 一料盘存放部U(Tray storage)、 一 料盘传送部12(Tray feeder)以及一芯片取放部13。所述的料盘供给装置1的动作 流程如下，所述的料盘传送部12由所述的料盘供应部10中取出空的料盘9，然 后移动至适当的位置。随后，所述的芯片取放部13会进行芯片检选，并将芯片放 置在所述的料盘14中。在正常流程下，检选完毕的后，满载的料盘14会被所述 的料盘传送部传12送至所述的料盘存放部11储存，以待进行下一段制程。接着， 所述的料盘传送部12由所述的料盘供应部10重新加载另一空料盘进行下一回检 选流程。然而，在芯片检选过程中，因分Bin或Wafer还换等原因造成未满料的料盘 必须载出至所述的料盘存放部11时，因所述的料盘存放部11并无料盘暂存区的 设计，此一未满料的料盘将无法重新加载补满。由于所述的未满的料盘堆栈在所 述的料盘存放部11中，因此需要由操作人员将其取出，然后以人工方式将其补满。 由于前述的动作容易造成后续人为作业补料错误以及料盘管理的困难。综合上述，因此亟需一种料盘储存机构，来解决现有技术所产生的问题。发明内容本实用新型的主要目的是提供一种料盘储存机构以及使用所述的机构的芯片 检选机，其是利用至少两层配重持驻区分满料区与暂存区的阶梯状料盘储存机构， 可确保满料盘出料功能并提升空间配置利用效率，可达到有效的料盘管理并避免人为作业补料的错误的目的。本实用新型的主要目的是提供一种料盘储存机构以及使用所述的机构的芯片 检选机，其是利用至少一个以阶梯状排列的料谈储存机构，使得芯片检选机的空 间利用还精简，可达到提升空间配置利用效率的目的。为了达到上述的目的，本实用新型提供一种料盘储存机构，包括 一承栽座 体；以及至少一个料盘储存部，其是设置在所述的承载座体上，以提供承载料盘,为了达到上述的目的，本实用新型还提供一种料盘储存机构，包括 一承载 座体； 一第一料盘储存部，其是设置在所述的承载座体上，所述的第一料盘储存 部可存放至少一个满栽料盘；以及一第二料盘储存部，其是设置在所述的承栽座 体上且位于所述的第一料盘储存部的下方，所述的第二料盘储存部可以存放一未 满料盘。较佳的是，所述的承载座体是具有四个承载支撑架体，所述的四个支撑架体 之间具有一容置空间，以提供容置所述的至少一个满载料盘与所述的未满料盘。 所述的第二料盘储存部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑构件以提供支撑 所述的未满料盘。其中所述的支撑构件是可在所述的支撑架体上进行转动。所述 的第二料盘储存部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑部以提供支撑所述的未满料盘，所述的支撑部具有 一支撑件，其是可进行转动，所述的支撑件上具 有一凹槽； 一弹片，其是设置在所述的支撑件下方，以局限所述的支撑件的转动 角度；以及一定位构件，其是设置在所述的支撑件的一侧且可进行转动，所述的 定位构件还具有 一 凸块以在特定位置在所述的凹槽相扣合，以定位所述的支撑件 的位置。此外，在另一实施例中，所述的支撑部具有 一支撑件，其是可提供承 载料盘；以及一汽缸体，其是与所述的支撑件相连接，以提供所述的支撑件进行 线性位移运动。为了达到上述的目的，本实用新型还提供一种芯片检选机，其是包括至少一 导轨； 一移栽座，其是设置在所述的导轨上，所述的移载座可在所述的导轨上进 行线性位移运动；至少一移载臂，其是设置在所述的移载座上，所述的移载臂可 以进行至少一轴的位移运动；以及至少一个料盘储存机构，其是排列在所述的至 少一移载臂的一侧，所述的料盘储存机构还包括有 一承栽座体； 一第一料盘储 存部，其是设置在所述的承载座体上，所述的第一料盘储存部可存放至少一个满 载料盘；以及一第二料盘储存部，其是设置在所述的承栽座体上且位于所述的第一料盘储存部的下方，所述的第二料盘储存部可以存放一未满料盘。所述的承载 座体是具有四个承栽支撑架体，所述的四个支撑架体之间具有一容置空间，以提 供容置所述的至少一个满栽料盘与所述的未满料盘。其中所述的第二料盘储存部 在所述的四个支撑架体上分别具有 一 支撑郜以提供支撑所述的未满料盘，所述的支撑部具有 一支撑件，其是可进行转动，所述的支撑件上具有一凹槽； 一弹片， 其是设置在所述的支撑件下方，以局限所述的支撑件的转动角度；以及一定位构 件，其是设置在所述的支撑件的一侧且可进行转动，所述的定位构件还具有一凸 块以在特定位置在所述的凹槽相扣合，以定位所述的支撑件的位置。为了达到上述的目的，本实用新型还提供一种芯片检选机，包括至少一导 轨； 一移载座，其是设置在所述的导轨上，所述的移载座可在所述的导轨上进行 线性位移运动；至少一移栽臂，其是设置在所述的移载座上，所述的移栽臂可以 进行至少一轴的位移运动；以及至少一个料盘储存机构，其是呈阶梯状排列在所 述的至少一移载臂的一侧，所述的料盘储存机构还包括有 一承栽座体； 一第一 料盘储存部，其是设置在所述的承栽座体上，所述的第一料盘储存部可存放至少 一个满载料盘；以及一第二料盘储存部，其是设置在所述的承载座体上且位于所 述的第 一料盘储存部的下方，所述的第二料盘储存部可以存放一未满料盘。与现有技术比较本实用新型的有益效果在于，本实用新型的料盘储存机构以 及使用所述的机构的芯片检选机具有确保满料盘出料功能并提升空间配置利用效 率，可达到有效的料盘管理并避免人为作业补料的错误风险以及空间配置效率精 简的优点。
图1为现有的料盘供给装置示意图；图2为本实用新型的料盘储存机构示意图；图3为本实用新型的料盘储存机构的较佳实施例侧视示意图；图4为本实用新型的料盘储存机构的另一较佳实施例立体示意图；图5为本实用新型的料盘储存机构的又一较佳实施例侧视示意图；图6A至图6B为本实用新型的料盘储存机构的支撑构件动作示意图；图7为本实用新型的芯片检选机的较佳实施例示意图；图8 A为本实用新型的芯片检选机的另 一 较佳实施例示意图；图8B为本实用新型的芯片检选机的料盘储存机构示意图；图9A至图9B为图4的料盘储存机构的支撑构件动作示意图。附图标记说明l-料盘供给装置；10-料盘供应部；ll-料盘存放部；12-料盘 传送部；13-芯片取放部；14-料盘；2-料盘储存机构；20-承栽座体；21-料盘储 存部；3-料盘储存机构；30-承栽座体；301-支撑架体；302-凹槽；31-第一料盘储 存部；310-支撑构件；32-第二料盘储存部； 320-支撑构件；33、34-料盘检知 传感器；4-芯片检选机；40、 41、 42、 43-料盘储存机构；411-第一料盘储存部； 412-第二料盘储存部；410-支撑构件；44-导轨；45-移载座；46、 47-移载臂；50-第一料盘储存部；51-第二料盘储存部；510-支撑部；5100-支撑件；5101-凹槽； 5102-定位件；5103-凸块；5104-弹片；52-承栽座体；520-支撑架体；60-第一料 盘储存部；61-第二料盘储存部；610-支撑部；6100-支撑件；6101-气压缸；62-承 栽座体；7-芯片检选机；70、 41、 42、 43-料盘储存机构；74-导轨；75-移载座； 76、 77-移载臂；90-满载料盘；91-未满料盘；92-料盘；93-料盘工作栽台。
具体实施方式
以下结合附图，对本新型上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。 请参阅图2所示，所述的图为本实用新型的料盘储存机构示意图。所述的料 盘储存机构2包括有一承栽座体20。所述的承载座体内具有至少一个料盘储存部 21，其是设置在所述的承载座体20内，以提供承栽料盘。在本实施例中所述的承 载座体20具有两个料盘存放部21,并将其分为满栽料盘存放区以及未满料盘的 暂存区。请参阅图3所示，所述的图为本实用新型的料盘储存机构的较佳实施例侧视 示意图。所述的料盘储存机构是包括有一第一料盘储存部50以及一第二料盘储存 部51。所述的第一料盘储存部50,其是设置在一承栽座体52上，所述的第一料 盘储存部50可存放至少一个满载料盘90。所述的第二料盘储存部51，其是设置 在所述的承栽座体52上且位于所述的第一料盘储存部50的下方，所述的第二料 盘储存部51可以存放一未满料盘91。其中所述的第二料盘储存部51在所述的四个支撑架体520(图中仅示两个)上 分别具有一支撑部510以提供支撑未满料盘91，所述的支撑部510具有一支撑件 5100、 一弹片5104以及一定位构件5102。所述的支撑件5100设置在支撑架体上 且具有一凹槽5101，在本实施例中，所述的支撑件5100是通过重力作动来进行 转动。所述的弹片5104,其是设置在所述的支撑件5100下方，以局限所述的支 撑件5100的转动角度。所述的定位构件5102,其是设置在所述的支撑件5100的 一側且可进行转动，所述的定位构件5102还具有一凸块5103以在特定位置在所述的凹槽5101相扣合，以定位所述的支撑件5100的位置，使所述的支撑件510() 呈水平状态以支撑所述的未满料盘91 。请参阅图4所示，所述的图为本实用新型的料盘储存机构的另一较佳实施例 立体示意图。所述的料盘储存机构3，包括 一承载座体30; —第一料盘储存部 31，其是设置在所述的承载座体30上，所述的第一料盘储存部31可存放至少一 个满载料盘90;以及一第二料盘储存部32，其是设置在所述的承载座体3()上且 位于所述的第一料盘储存部31的下方，所述的第二料盘储存部32可以存放一未 满料盘91。在所述的承载座体30上是具有四个承载支撑架体301,分别设置在料盘的四 个角落，所述的四个支撑架体301之间具有一容置空间，以提供容置所述的至少 一个满栽料盘90与所述的未满料盘91。所述的支撑架体301与料盘角落之间具 有一凹槽302,以提供容置料盘的角落并且拘束料盘在适当的位置上。其中所述 的第一料盘储存部31在所述的四个支撑架体301上分别具有一支撑构件310以提 供支撑所述的至少一个满载料盘卯。所述的支撑构件310是可在所述的支撑架体 301上进行转动。所述的第二料盘储存部32在所述的四个支撑架体301上分别具 有一支撑构件320以提供支撑所述的未满料盘91。其中所述的支撑构件320是可 在所述的支撑架体301上进行转动。所述的承载座体30的一侧设置有两料盘检知 传感器33、 34，以检测所述的第一料盘储存部以及所述的第二料盘储存部内是否 有料盘的存在。请参阅图5所示，所述的图为本实用新型的料盘储存机构的又一较佳实施例 侧视示意图。在本实施例中，所述的料盘储存机构是包括有一第一料盘储存部60 以及一第二料盘储存部61。所述的第一料盘储存部60与第二料盘储存部61是设 置在承载座体62上，其基本上与前述的实施例相同，差别的是在于所述的第二料 盘储存部61以一支撑部610以提供支撑未满料盘91,所述的支撑部610具有一 支撑件6100与一气压缸6101。所述的支撑件61()0,在本实施例是通过气压缸6101 的作动而控制所述的支撑件以线性位移运动产生开合的动作，使得料盘承载台(图 中未示)可以取出未满料盘91。请参阅图6A与图6B所示，所述的图为本实用新型的料盘储存机构的支撑构 件动作示意图。其中图6A为料盘放置过程示意图，而图6B为料盘取出过程示意 图。在图6A(a)中，起初料盘工作载台93将料盘91移至所述的料盘储存机构下方如图6A(b)所示，然后顶升所述的料盘91通过位于弹片5104上的支撑件5100， 使所述的支撑件5100往上旋转。然后如图6A(c)所示，使所述的料盘91至所述的 支撑件5100的上方。的后如图6A(d)所示，料盘工作载台93下降，使所述的料 盘91的重力作用在所述的支撑件5100上，进而带动所述的支撑件5100转动，使 所述的支撑件5100上的凹槽与所述的定位构件5102上的凸块结合，维持所述的 支撑件510 0在水平状态以支撑所述的料盘。如图6B(a)所示，起初料盘工作载台93将料盘顶升。然后如图6B(b)所示， 当料盘91接触到上方的定位构件5102时，会推动定位构件5102转动一个角度使 定位构件5102的凸块与支撑件5100的凹槽分离。此时，下方支撑件5100会因重 力关系向下旋转，停止在弹片5104处。然后如图6B(c)所示，最后料盘工作载台 93就将料盘91往下带出，则可以取出料盘供捡晶机将未满的料盘重新置放。若 需将芯片分类，只需再增加储存格数量，料盘工作载台顶升行程不变。因此本专 利为设计一组机构，位于暂存区内方便料盘放置与取出，改善传统机构的不便与 有效节省使用的空间，此供应机构可达满盘出料的需求，还可广泛应用在1C相关 制程的设备中。请参阅图7所示，所述的图为本实用新型的芯片检选机的较佳实施例示意图。 所述的芯片检选才几7包括有至少一导轨74、 一移载座75、两移载臂76、 77以及 至少一个料盘储存机构70~73。所述的移载座75，其是设置在所述的导轨74上， 所述的移载座75可在所述的导轨74上进行线性位移运动。所述的移载臂76、 77， 其是设置在所述的移载座75上，所述的移载臂76、 77可以进行至少一轴的位移 运动。在本实施例中，所述的两移载臂76、 77可进行二轴的位移运动，但不在此 限。所述的料盘储存机构70~73，为图3的机构。其取放料盘的方式如图6A以 及图6B所示，在此不做赘述。请参阅图8 A所示，所述的图为本实用新型的芯片检选机的另 一较佳实施例 示意图。利用前述的料盘存放机构，与相关的构件组成一芯片选取机。所述的芯 片检选机4包括有至少一导轨44、 一移载座45、两移载臂46、 47以及至少一个 料盘储存机构40 43。所述的移载座45，其是设置在所述的导轨44上，所述的 移栽座45可在所述的导轨44上进行线性位移运动。所述的移载臂46、 47，其是 设置在所述的移载座45上，所述的移载臂46、 47可以进行至少一轴的位移运动, 在本实施例中.所述的两移载臂46、 47可进行二轴的位移运动，但不在此限，所述的至少一个料盘储存机构40~43,其是呈阶梯状排列在所述的移载臂46、 47的一侧，每一个料盘储存机构40- 43的结构是与图4的结构相同，在此 不作赘述。在本实施例中，使用四个料盘储存机构40~43，分别用在储存空的料 盘、A级芯片料盘、B级芯片料盘42以及C级芯片料盘43的承载。如图8 B所示，以储存A级料盘的料盘储存机构41来作说明，由于所述的料 盘储存机构41具有两层储存区域411、 412的料盘储存机构，使得所述的移载臂 46、 47可以将满载料盘卯上推至于所述的第一料盘储存部4U内，而未满料的 料盘91则存在所述的第二料盘储存部412内以作暂存，当有需要时所述的第二料 盘储存部412内暂存的料盘可以重新被所述的移载臂46或47取出，再重新加载 进行拣晶动作以达到满载出料的需求。此外本实施例中的四个料盘储存机构40 43采阶梯状设计，可让移载臂46或47取出暂存区的未满料盘时所需的运动空间 还为精简，以提升机台的空间配置利用效率。接下来说明如何将料盘放置在所述的料盘储存机构中，请参阅图9A以及图9 B所示，当所述的移载臂46将料盘92移动至所述的料盘储存机构的下方时，所 述的移载臂46会上升而与所述的支撑构件410 (与图4的310、 320相同)相接 触时，会将支撑构件410顶开。如图8B所示，当所述的移载臂46持续上升而超 越了所述的支撑构件410时，所述的支撑构件410会恢复至原来位置，此时所述 的移载臂46再下降，即可将所述的料盘92放置在所述的支撑构件410上 综合上述，本实用新型的料盘储存机构以及使用所述的机构的芯片检选机具 有确保满料盘出料功能并提升空间配置利用效率，可达到有效的料盘管理并避免 人为作业补料的错误风险以及空间配置效率精简的优点。因此可以满足业界的需 求，进而提高所述的产业的竟争力，诚已符合实用新型专利法所规定申请实用新 型所需具备的要件，故依法呈提实用新型专利的申请。以上说明对本新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员 理解，在不脱离以下所附权利要求所限定的精神和范围的情况下，可做出许多修 改，变化，或等效，但都将落入本实用新型的保护范围内。
权利要求1. 一种料盘储存机构，其特征在于其包括一承载座体；以及至少一个料盘储存部，其是设置在所述的承载座体上，以提供承载料盘。
2、 根据权利要求1所述的料盘储存机构，其特征在于所述的承载座体具有 四个承载支撑架体，所述的四个支撑架体之间具有一容置空间，以提供容置所述 的料盘。
3、 根据权利要求1所述的料盘储存机构，其特征在于所述的料盘储存部还 具有至少一个支撑构件以提供支撑所述的料盘，所述的支撑构件是在所述的支撑 架体上进行转动。
4、 根据权利要求1所述的料盘储存机构，其特征在于所述的料盘储存部具 有至少一个支撑部以提供支撑所述的料盘，所述的支撑部具有一支撑件，其提供承载料盘以及进行转动，所述的支撑件上具有一凹槽； 一弹片，其设置在所述的支撑件下方，以局限所述的支撑件的转动角度；以及一定位构件，其设置在所述的支撑件的一侧且进行转动，所述的定位构件还 具有 一 凸块在特定位置在所述的凹槽相扣合，以定位所述的支撑件的位置。
5、 根据权利要求1所述的料盘储存机构，其特征在于所述的料盘储存部具 有至少一个支撑部以提供支撑所述的料盘，所述的支撑部具有一支撑件，其提供承载料盘；以及一汽缸体，其与所述的支撑件相连接，以提供所述的支撑件进行线性位移运动。
6、 一种料盘储存机构，其特征在于其包括 一承载座体；一第一料盘储存部，其是设置在所述的承栽座体上，所述的第一料盘储存部 可存放至少一个满栽料盘；以及一第二料盘储存部，其是设置在所述的承载座体上且位于所述的第一料盘储 存部的下方，所述的第二料盘储存部存放一未满料盘。
7、 根据权利要求6所述的料盘储存机构，其特征在于所述的承载座体具有 四个承载支撑架体，所述的四个支撑架体之间具有一容置空间，以提供容置所述的至少 一 个满载料盘与所述的未满料盘。
8、 根据权利要求6所迷的料盘储存机构，其特征在于所迷的第一料盘储存 部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑构件，提供支撑所述的至少一个满载 料盘，所迷的支撑构件是在所迷的支撑架体上进行转动。
9、 根据权利要求7所述的料盘储存机构，其特征在于所述的第二料盘储存 部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑构件，提供支撑所述的未满料盘，所 述的支撑构件在所述的支撑架体上进行转动。
10、 根据权利要求6所述的料盘储存机构，其特征在于所迷的第一料盘储 存部的一側还具有一料盘检知传感器，以感测所述的第一料盘储存部上是否有满 载料盘，所述的第二料盘储存部的一侧还具有一料盘检知传感器，以感测所述的 第二料盘储存部上是否有所述的未满料盘。
11、 根据权利要求7所述的料盘储存机构，其特征在于所述的第二料盘储 存部在所述的四个支撑架体上分别具有 一 支撑部以提供支撑所述的未满料盘，所 述的支撑部具有一支撑件，其是进行转动，所述的支撑件上具有一凹槽；一弹片，其设置在所述的支撑件下方，以局限所述的支撑件的转动角度；以及一定位构件，其设置在所述的支撑件的一側且进行转动，所述的定位构件还 具有 一 凸块以在特定位置在所述的凹槽相扣合，以定位所述的支撑件的位置。
12、 根据权利要求7所述的料盘储存机构，其特征在于所述的第二料盘储 存部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑部以提供支撑所述的未满料盘，所 述的支撑部具有一支撑件，其是提供承载料盘；以及一汽缸体，其与所述的支撑件相连接，以提供所述的支撑件进行线性位移运动。
13、 一种芯片检选机，其特征在于其包括 至少一导轨；一移载座，其是设置在所述的导轨上，所述的移载座在所述的导轨上进行线 性位移运动；至少一移载臂，其是设置在所述的移载座上，所述的移载臂进行至少一轴的^f立移运动；以及至少一个料盘储存机构，其排列在所述的至少一移载臂的一側，所述的料盘 储存机构还包括有 一承栽座体；一第一料盘储存部，其设置在所述的承载座体上，所述的第一料盘储存部存 放至少一个满栽料盘；以及一第二料盘储存部，其设置在所述的承载座体上且位于所述的第一料盘储存 部的下方，所述的第二料盘储存部存放一未满料盘。
14、 根据权利要求13项所述的芯片检选机，其特征在于所述的承栽座体具 有四个承载支撑架体，所述的四个支撑架体之间具有一容置空间，以提供容置所 述的至少一个满载料盘与所述的未满料盘。
15、 根据权利要求13项所述的芯片检选机，其特征在于所述的第二料盘储 存部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑部以提供支撑所述的未满料盘，所述的支撑部具有一支撑件，其进行转动，所述的支撑件上具有一凹槽；一弹片，其设置在所述的支撑件下方，以局限所述的支撑件的转动角度；以及一定位构件，其设置在所述的支撑件的一侧且进行转动，所述的定位构件还 具有一凸块以在特定位置在所述的凹槽相扣合，以定位所述的支撑件的位置。
16、 根据权利要求14项所述的芯片检选机，其特征在于所述的第二料盘储 存部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑部，以提供支撑所述的未满料盘， 所述的支撑部具有一支撑件，其提供承栽料盘；以及一汽缸体，其与所述的支撑件相连接，以提供所述的支撑件进行线性位移运动。
17、 根据权利要求14所述的芯片检选机，其特征在于所述的至少一个料盘 储存机构是呈现阶梯状排列。
18、 根据权利要求17所述的芯片检选机，其特征在于所述的第一料盘储存 部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑构件以提供支撑所述的至少一个满栽 料盘，所述的支撑构件在所述的支撑架体上进行转动。19、根据权利要求17所述的芯片检选机，其特征在于所述的第二料盘储存部在所述的四个支撑架体上分别具有一支撑构件，以提供支撑所述的未满料盘， 所述的支撑构件是可在所述的支撑架体上进行转动。
专利摘要本实用新型为一料盘储存机构以及使用所述的机构的芯片检选机，其中所述的料盘储存机构包括一承载座体以及至少一个料盘储存部，料盘储存部设置在承载座体上；实施例一，料盘储存机构是利用至少一个支撑部来支撑料盘，支撑部具有一支撑件、一弹片与一定位构件；支撑件可进行转动且具有一凹槽；弹片设置在支撑件下方；定位构件设置在所述的支撑件的一侧且可进行转动，并以一凸块以在特定位置在所述的凹槽相扣合，以定位支撑件；实施例二中，所述的至少一个呈阶梯状排列的料盘储存机构，来进行芯片检选与存放。从而确保满料盘出料与提升空间利用效率，可达到有效的料盘管理并避免人为作业补料的错误风险。
文档编号H01L21/00GK201087900SQ20072014827
公开日2008年7月16日 申请日期2007年5月15日 优先权日2007年5月15日
发明者廖述茂, 洪周男, 石敦智, 陆苏龙 申请人:均豪精密工业股份有限公司