一种硅晶承载装置的制作方法

文档序号:7192678阅读:176来源:国知局
专利名称:一种硅晶承载装置的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种承载装置,具体而言,是关于一种方形太阳 能电池硅晶的承载装置。
背景技术
目前,太阳能电池的生产和应用是世界上增长最快的产业之一。
太阳能电池大都采用半导体材料制造,其中多晶硅电池约占5 0 %左右, 是太阳能电池中成本^^、产量增长最快的一个品种。。
在太阳能硅电池的生产工艺中,需要使用硅晶承载器,在一定温 度下的NaOH溶液、HCI溶液、HF溶液中对硅晶进行清洗。该承载器 需满足硅晶转换的要求,并长期使用不变形,使用时不污染硅晶。
现有的硅晶承载器都是用于半导体硅晶及晶片的承载,这些硅晶 均为圆形,其承载结构无法满足方形硅晶的承载要求;同时,现有承 载器构造过于复杂,本身重量过重;承载器的结构形状不利于清洗液 的顺畅流动,容易造成清洗液滞留在硅晶上。
此外,现有的硅晶承载器其生产工艺需要用液体和气体对承载器 内硅晶浸泡洗涤,其中的化学洗液含有强酸、强碱等腐蚀性液体,且 需在高温(180°C )下使用。
因此,盛装硅晶的承载器,要求不但能够长期耐受清洗液的温度、 清洗液的酸、碱腐蚀,还要有较强的刚性、强度精确的外形尺寸和严 格的产品重量,以满足硅晶生产线和清洗设备的要求。

实用新型内容
鉴于上述方形硅晶承载器的特殊需求以及现有技术存在的不足, 本实用新型提出了一种硅晶承载装置,该承载装置结构简洁,利于清洗液流动,且本身重量和尺寸较小,长期使用不会变形、不会污染硅 片。
一种硅晶承载装置,其特征在于,该装置包括有第一端板、第二 端板,在第一端板和第二端板之间上端平行设置有第一限位杆、第二 限位杆,且第一端板、第一限位杆、第二端板、第二限位杆依次呈矩
形固定连接,形成容置硅晶的空间;在第一端板和第二端板之间下端 设置有至少一用以支撑硅晶的、与第一限位杆和第二限位杆平行的支 撑杆;所述第一限位杆、第二限位杆相对之一侧均开设有用以装卡硅
晶的牙口;所述第一端板、第二端板上端之两侧均开设有卡勾。
进一步,所述第一限位杆、第二限位杆之间的距离为所承载的硅 晶的长度。
进一步,所述支撑杆与第一限位杆、第二限位杆之间的距离小于 或等于所承载的硅晶的高度。
进一步,所述第一端板、第二端板的材料为聚四氟乙烯。 进一步,所述第一限位杆、第二限位杆、支撑杆的材料为氟塑料。 进一步,所述第一端板、第二端板的下端均开设有导流孔。 进一步,所述牙口是平滑结构。
进一步,在第一限位杆、第二限位杆与支撑杆之间有水平平行设 置的第三限位杆、第四限位杆,分别位于第一限位杆、第二限位杆的 正下方。
采用本实用新型的硅晶承载装置,由于其结构主要为端板和杆结
构组成,结构简洁,刚性较强,使得其本身重量和尺寸较小;此外, 由于在承载装置底部开设有导流孔,保证了清洗液的通畅流动,有效 的避免了清洗液滞留。
以下结合附图对本实用新型的硅晶承载装置的结构特征和性能加 以详细说明。

图1为本实用新型的硅晶承载装置的立体视图。
具体实施方式
请参阅图l,为本实用新型的硅晶承载装置示意图。
该承载装置包括有第一端板1、第二端板2,在第一端板l和第二 端板2之间上端水平平行设置有第一限位杆3、第二限位杆4,且第一 端板l、第一限位杆3、第二端板2、第二限位杆4依次呈矩形固定连 接,形成容置硅晶(图中未示出硅晶)的空间。第一限位杆3、第二限 位杆4之间的距离为所承载的硅晶的长度。
在第一端板1和第二端板2下端设置有至少一用以支撑硅晶的、 与第一限位杆3和第二限位杆4平行的支撑杆5。该支撑杆5与第一限 位杆3、第二限位杆4之间的距离小于或等于所承载的硅晶的高度。
为了保证承载装置能够满足硅晶的高温、强酸、强碱和高刚度生 产工艺要求(在150° C以下的NaOH溶液、HC1溶液、HF溶液中对硅 晶进行清洗、转换),第一端板l、第二端板2的材料为聚四氟乙烯, 第一限位杆3、第二限位杆4、支撑杆5的材料为氟塑料。
在所述第一限位杆3、第二限位杆4相对之一侧均开设有用以装卡 硅晶的牙口 6,该牙口 6是平滑过渡的,使得方形硅晶在硅晶承载装置 内可以随意插入、取出,硅晶在进出承载器方向并不完全垂直时,可 以自动调整至正确位置,顺利进出,没有阻碍,也不至于损坏硅晶。
在第一端板l、第二端板2上端之两侧均开设有卡勾7。该卡勾7 用来放置夹持工具以操作和紧固该硅晶承载装置。
在第一端板l、第二端板2的下端均开设有导流孔8。由于方形硅 晶底部平直,很容易造成清洗液滞留。因此,在承载装置底部开设导 流孔8之后,能够将清洗液通畅导出,避免滞留。
为了在清洗时,更好的固定硅晶,在第一限位杆3、第二限位杆4 与支撑杆5之间有水平平行设置的第三限位杆9、第四限位杆IO,分 别位于第一限位杆3、第二限位杆4的正下方。
综合以上,本实用新型提供的硅晶承载装置,由于其结构主要为端板和杆结构组成,结构简洁,刚性和强度都较高,使得其本身重量 和尺寸较小;此外,由于在承载装置底部开设有导流孔,保证了清洗 液的通畅流动,有效的避免了清洗液滞留。
权利要求1、一种硅晶承载装置,其特征在于,该装置包括有第一端板、第二端板,在第一端板和第二端板之间上端平行设置有第一限位杆、第二限位杆,且第一端板、第一限位杆、第二端板、第二限位杆依次呈矩形固定连接,形成容置硅晶的空间;在第一端板和第二端板之间下端设置有至少一用以支撑硅晶的、与第一限位杆和第二限位杆平行的支撑杆;所述第一限位杆、第二限位杆相对之一侧均开设有用以装卡硅晶的牙口;所述第一端板、第二端板上端之两侧均开设有卡勾。
2、 如权利要求1所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述第一限位杆、 第二限位杆之间的距离为所承载的硅晶的长度。
3、 如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述支撑杆 与第 一 限位杆、第二限位杆之间的距离小于或等于所承载的硅晶的高度。
4、 如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述第一端 板、第二端板的材料为聚四氟乙烯。
5、 如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述第一限 位杆、第二P艮位杆、支撑杆的材料为氟塑料。
6、 如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述第一端 板、第二端板的下端均开设有导流孔。
7、 如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,所述牙口是 平滑结构。
8、 如权利要求1或2所述的硅晶承载装置,其特征在于,在第一限位 杆、第二限位杆与支撑杆之间有水平平行设置的第三限位杆、第四限 位杆,分別位于第一限位杆、第二限位杆的正下方。
专利摘要本实用新型提供了一种硅晶承载装置,该装置包括有第一端板、第二端板,在第一端板和第二端板之间上端平行设置有第一限位杆、第二限位杆,且第一端板、第一限位杆、第二端板、第二限位杆依次呈矩形固定连接,形成容置硅晶的空间;在第一端板和第二端板之间下端设置有至少一用以支撑硅晶的、与第一限位杆和第二限位杆平行的支撑杆;第一限位杆、第二限位杆相对之一侧均开设有用以装卡硅晶的牙口;第一端板、第二端板上端之两侧均开设有卡勾。该承载装置结构简洁,利于清洗液流动,本身重量和尺寸小,长期使用不会变形、不会污染硅片。
文档编号H01L31/18GK201430157SQ20092013378
公开日2010年3月24日 申请日期2009年7月5日 优先权日2009年7月5日
发明者鹏 成 申请人:深圳市明鑫高分子技术有限公司
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