专利名称：芯片多注射头塑封模的多油缸转进结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路芯片的封装模具，特别涉及芯片多注射头塑封模中的多 油缸转进结构。
背景技术：
在半导体集成电路制造技术中，塑料封装是指使用环氧树脂聚合物将已完成引线 键合的芯片和引线框架完全包封的过程。而塑料封装通常是通过塑封模采用压力注塑方式 来实现。为了提高生产效率一般采用多注射头塑封模，一次能够封装成型多个集成电路芯 片。图1为典型的多注射头塑封模结构原理示意图。从图中可以看出，多注射头塑封模由 上模1、下模2、两个注射头和单油缸转进结构组成，其中，上模1与下模2合模后形成四个 模腔3，晶片4与引线框架5连接好后位于模腔3中；注射头由料筒6、挤胶头7和挤胶杆8 组成，并构成塑封料饼9的注射结构；单油缸转进结构由转进板10、单油缸11、导柱12和底 板13组成，导柱12相对底板13固定，转进板10通过导套14滑动套装在导柱12上，单油 缸11缸体安装在底板13上，活塞杆与转进板10连接。多注射头塑封模工作时，首先将塑 封模模具加热到175士5°C并保温，然后把连接好晶片4的引线框架5(铜或铁镍合金)放入 模具，接下来将塑封料饼9 (环氧树脂)放入多个注射头内，并开始合模，然后高压油通过单 油缸11的活塞杆推动转进板10向上运动，转进板10在向上运动过程中，一方面推动所有 注射头分别向各自的模腔3中注射环氧树脂，另一方面通过导套14与导柱12配合保持所 有注射头运动平衡，直至所有注射头转进至顶部，并保持高压2分钟左右待环氧树脂固化 后开模，取出产品，即完成整个塑封过程。从理论上看，采用单油缸11推进的转进结构对转进板的运动平衡比较合理，但实 践中由于塑封模模具的体积均较大，转进板尺寸大约是600X500mm，传统单油缸推进的设 计方案是在转进板中心下方安装一个缸径120mm的油缸，通过此油缸将转进板向上平移推 进实现模具灌胶。但由于保持转进板平移的导向机构中存在间隙，加上多注射头的反作用 力不可能非常均勻，因此容易造成转进板10在向上运动的转进行程中左右或前后受力不 平衡，导致多注射头之间对模腔3的灌胶密度不一致，甚至转进板10在向上运动过程中偶 然会发生卡死的现象，影响了客户的产品生产。因此，如何解决这一问题是本实用新型研究 的课题。
发明内容本实用新型提供一种芯片多注射头塑封模的多油缸转进结构，旨在解决多注射头 塑封模中转进板的运动平衡问题。为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是一种芯片多注射头塑封模的多油缸转进结构，该结构包括一块水平设置的转进板，转进板的顶面与多注射头中的各个挤 胶杆连接，转进板与上下方向的导向机构连接，使转进板可沿上下方向作平行移动，其创新 在于在转进板下方至少设有两个油缸，各油缸的大小规格和结构相同，而且在转进板顶面向下投影的区域内对称或均勻布置；每个油缸的缸体均安装在一块底板上，每个油缸的活 塞杆均与上方的转进板连接；各油缸的进油通路和回油通路均布置在所述底板内部，其中， 各油缸之间的进油通路直径和长度相等，各油缸之间的回油通路直径和长度相等，而且各 油缸的进油通路在所述底板内部供用一条进油总通路，各油缸的回油通路在所述底板内部 供用一条回油总通路。上述技术方案中的有关内容解释如下1、上述方案中，所述导向机构可以有以下三种形式(1)导向机构由相对转进板对称设置的导柱和导套结构构成，导柱和导套两者中， 一者相对转进板定位，另一者相对底板定位，导柱与导套在转进板平行移动方向上滑动配合(2)导向机构由相对转进板对称设置的齿轮和齿条结构构成，齿轮和齿条两者中， 一者相对转进板定位，另一者相对底板定位，齿轮和齿条在转进板平行移动方向上啮合。(3)导向机构由第一导向机构和第二导向机构组成，其中，第一导向机构由相对转 进板对称设置的导柱和导套结构构成，导柱和导套两者中，一者相对转进板定位，另一者相 对底板定位，导柱与导套在转进板平行移动方向上滑动配合；第二导向机构由相对转进板 对称设置的齿轮和齿条结构构成，齿轮和齿条两者中，一者相对转进板定位，另一者相对底 板定位，齿轮和齿条在转进板平行移动方向上啮合。由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点1、本实用新型将原来单油缸推进的转进结构改为多油缸同时推进的转进结构，为 了解决多油缸推进时的同步问题，除了选择大小规格和结构相同的油缸而外，采用同路进 油和同路回油的设计方案，从而保证了各油缸动作的同步性和一致性，因此大大提高了转 进板的运动平衡性。经试验证明，改进后转进的平稳性相当好，综合性能比传统的单油缸转 进结构有明显的提升。2、本实用新型将各油缸的进油通路和回油通路由外部明管改为底板内藏式暗管， 并且供用一条进油总通路和一条回油总通路，而且从进油总通路分别到各油缸的进油通路 直径和长度相等，从回油总通路分别到各油缸的回油通路直径和长度相等，避免了明管配 管造成的长度误差和形状误差，确保各油缸动作的同步性和一致性。3、本实用新型由于取消了明管管接头的连接方式，极大提高油路的可靠性，完全 避免了因多管连接而在接头处发生漏油的现象。4、本实用新型由于油缸座落式安装在底板上，拧开少量螺栓即可拆卸油缸，给维 护和保养带来方便。
附图1为改进前典型的多注射头塑封模结构原理示意图；附图2为改进前单油缸外接式油管示意图；附图3为本实用新型多注射头塑封模结构原理示意图；附图4为本实用新型双油缸油路设计原理图；附图5为图4的右视图；附图6为本实用新型底板内的双油缸油路设计平面图；[0022]附图7为本实用新型双油缸转进结构实施例立体图；附图8为本实用新型双油缸转进结构实施例主视图；附图9为图8的仰视图；附图10为图8的右视图。以上附图中1、上模；2、下模；3、模腔；4、晶片；5、引线框架；6、料筒；7、挤胶头； 8、挤胶杆；9、塑封料饼；10、转进板；11、单油缸；12、导柱；13、底板；14、导套；15、第一油 缸；16、第二油缸；17、齿轮；18、齿条；19、油管；20、进油总通路；21、回油总通路；22、进油 通路；23、回油通路；24、工艺堵头；25、接头安装座；26、油管接头。
具体实施方式
以下结合附图及实施例对本实用新型作进一步描述实施例一种芯片多注射头塑封模的双油缸转进结构图3为本实用新型多注射头塑封模结构原理示意图，从图中可以看出，多注射头 塑封模由上模1、下模2、两个注射头和双油缸转进结构组成，其中，上模1与下模2合模后 形成四个模腔3，晶片4与引线框架5连接好后位于模腔3中。注射头由料筒6、挤胶头7 和挤胶杆8组成，并构成塑封料饼9的注射结构。本实施例双油缸转进结构包括一块水平 设置的转进板10，转进板10的顶面与多注射头中的各个挤胶杆8连接，转进板10与上下 方向的导向机构连接，使转进板10可沿上下方向作平行移动。在转进板10下方设有两个 油缸，即第一油缸15和第二油缸16。这两个油缸的大小规格和结构相同，而且在转进板10 顶面向下投影的区域内对称布置(见图7和图8)。每个油缸的缸体均安装在一块底板13 上(见图3 5)，每个油缸的活塞杆均与上方的转进板10连接。如图4和图5所示，两个油缸的进油通路22和回油通路23均布置在底板13内部， 油缸的进、出油孔均位于缸体底面上，缸体安装在底板13上时，进、出油孔处通过密封圈密 封(图中未画出)。图6为底板13内的双油缸油路设计平面图，图中两个圆圈表示第一油 缸15和第二油缸16的安装位置，20表示底板13内的进油总通路，21表示底板13内的回 油总通路，22表示油缸的进油通路，23表示油缸的回油通路，24表示工艺堵头(即加工时需 堵塞的工艺孔)。在底板13内部设计油路可以利用深孔加工技术来实现。从图中不难看出，两个油缸之间的进油通路22直径和长度相等，两个油缸之间的回油通路23直径和长度 相等，而且两个油缸的进油通路22在底板13内部供用一条进油总通路20，两个油缸的回油 通路23在底板13内部供用一条回油总通路21。进油总通路20和回油总通路21均通过图 5所示的接头安装座25和油管接头26与外部的油管19连接，其中，接头安装座25与底板 13之间的进、出油孔处通过密封圈密封(图中未画出)，该密封圈一般使用一、二年后由于 老化密封性能降低需要更换。本实施例油缸与底板13油路连接采用密封圈连接方式，使得 安装方便，无须螺纹连接式安装对安装人员的技术要求，拆卸维护快捷，而且无须拆卸整体 下模模具，只要拧开少量螺栓即可自由维护油缸。在本实施例双油缸转进结构中，转进板10的导向机构由第一导向机构和第二导 向机构组成，其中，第一导向机构见图3所示，由相对转进板10对称设置的导柱12和导套 14结构构成，导套14相对转进板10定位，导柱12相对底板13定位，导柱12与导套14在 转进板10平行移动方向上滑动配合。第二导向机构见图7 10所示，由相对转进板10对称设置的齿轮17和齿条18结构构成，齿条18相对转进板10定位，齿轮17相对底板13定位，齿轮17和齿条18在转进板10平行移动方向上啮合。 上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术 的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围。 从以上实施例描述中，本领域技术人员至少可以得出以下几点等效变化形式第一，将油缸 的个数改为三个、四个，甚至更多，只要通过底板内藏式暗管油路设计来保证各油缸动作的 同步性均可以实施；第二，导向机构可以单独采用一组导柱与导套配合的结构来实现，也可 以单独采用一组齿轮和齿条啮合的结构来实现，甚至可以采用滑槽与滑块配合的结构来实 现等等。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保 护范围之内。
权利要求一种芯片多注射头塑封模的多油缸转进结构，该结构包括一块水平设置的转进板(10)，转进板(10)的顶面与多注射头中的各个挤胶杆(8)连接，转进板(10)与上下方向的导向机构连接，使转进板(10)可沿上下方向作平行移动，其特征在于在转进板(10)下方至少设有两个油缸，各油缸的大小规格和结构相同，而且在转进板(10)顶面向下投影的区域内对称或均匀布置；每个油缸的缸体均安装在一块底板(13)上，每个油缸的活塞杆均与上方的转进板(10)连接；各油缸的进油通路和回油通路均布置在所述底板(13)内部，其中，各油缸之间的进油通路直径和长度相等，各油缸之间的回油通路直径和长度相等，而且各油缸的进油通路在所述底板(13)内部供用一条进油总通路，各油缸的回油通路在所述底板(13)内部供用一条回油总通路。
2.根据权利要求1所述的多油缸转进结构，其特征在于所述导向机构由相对转进板 (10)对称设置的导柱(12)和导套(14)结构构成，导柱(12)和导套(14)两者中，一者相对 转进板(10)定位，另一者相对底板(13)定位，导柱(12)与导套(14)在转进板(10)平行 移动方向上滑动配合。
3.根据权利要求1所述的多油缸转进结构，其特征在于所述导向机构由相对转进板 (10)对称设置的齿轮(17)和齿条(18)结构构成，齿轮(17)和齿条(18)两者中，一者相对 转进板(10)定位，另一者相对底板(13)定位，齿轮(17)和齿条(18)在转进板(10)平行 移动方向上啮合。
4.根据权利要求1所述的多油缸转进结构，其特征在于所述导向机构由第一导向机 构和第二导向机构组成，其中，第一导向机构由相对转进板(10)对称设置的导柱(12)和导 套(14)结构构成，导柱(12)和导套(14)两者中，一者相对转进板(10)定位，另一者相对底 板(13)定位，导柱(12)与导套(14)在转进板(10)平行移动方向上滑动配合；第二导向机 构由相对转进板(10)对称设置的齿轮(17)和齿条(18)结构构成，齿轮(17)和齿条(18) 两者中，一者相对转进板(10)定位，另一者相对底板(13)定位，齿轮(17)和齿条(18)在 转进板(10)平行移动方向上啮合。
专利摘要一种芯片多注射头塑封模的多油缸转进结构，包括一块转进板，其特征在于在转进板下方至少设有两个大小规格和结构相同的转进油缸，每个油缸的缸体均安装在一块底板上，各油缸的进油通路和回油通路均布置在所述底板内部，其中，各油缸之间的进油通路直径和长度相等，各油缸之间的回油通路直径和长度相等，而且各油缸的进油通路在所述底板内部供用一条进油总通路，各油缸的回油通路在所述底板内部供用一条回油总通路。本方案将原来的单油缸推进改为多油缸同步推进，解决了原来转进板偶然发生卡死的问题，大大提高了转进板的运动平衡性。
文档编号H01L21/56GK201570492SQ20092028273
公开日2010年9月1日 申请日期2009年12月24日 优先权日2009年12月24日
发明者时文岗, 陈胜华 申请人:苏州均华精密机械有限公司