专利名称：带金属凸块焊盘的载板芯片的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种系统级封装结构。属电子封装技术领域。 背景技术：
系统级封装(SiP，System in Package)是指将多个具有不同功能的有源与无源元 件，以及诸如微机电系统(MEMS)、光学(Optics)元件等其它元件组合在同一封装中，成为 可提供多种功能的单颗标准封装的组件，形成一个系统或子系统。系统级封装产品内大多 集成多个芯片、无源元件等，通过引线键合或倒装芯片的方式将芯片的焊盘与基板上的焊 盘连接起来，再通过基板上的电路线连接其它芯片、阻容或其它元器件，从而实现整个系统 的电气连接。由于市场对系统级封装产品的集成度要求越来越高，产品的外形尺寸也越来越 小，并且芯片功能也越来越复杂。很多系统级封装产品为了缩小外形尺寸、降低成本、增加 产品功能和提高产品的竞争力，大多会在封装体内采用芯片堆叠技术，将多颗芯片进行三 维空间上的堆叠，加上磨片工艺的成熟，芯片可以磨得很薄(通常在SOum以内)，这样可以 充分利用产品的有效集成空间，集成更多的元件。通常，复杂的系统级封装产品中常使用载 板芯片，以引线键合的方式实现复杂的芯片堆叠结构的各芯片、芯片与其它元件的电气连 接。然而当空间尺寸有限的封装产品要求集成的芯片、无源器件等数量过多时，即使采用芯 片堆叠方法解决了平面布局面积的不足，由于堆叠后还需要引线键合，而引线键合的弧高 较高，这样就使得总体高度超出了封装产品的高度规格，使得封装方案会无法实现；或者即 使芯片堆叠后引线键合高度在封装产品的高度规格之内，但是封装产品面积内的非芯片区 域仍不足以布局数量较多的无源元件、晶振等元器件，封装方案会无法实现。倒装芯片工艺是业内常用的工艺，一般倒装芯片工艺将芯片倒置于基板上，其所 占用的封装面积要比引线键合方式小很多；在相同的封装体积内，采用倒装芯片工艺可以 缩小芯片所占用的空间，而芯片所占用的空间原本是在封装体中占有大部分比例，这样就 可以大大增加封装产品的集成度，为实现复杂的系统级封装提供更大的可行性。可以尝试在载板芯片上倒装芯片和贴装无源元件的方法解决上述封装高度不足 或封装面积不足等封装方案尺寸不足等弊端，但是通过目前已有的载板芯片，封装工艺无 法实现，主要原因如下系统级封装中常采用载板芯片，目的是通过其实现芯片的焊盘转 移，从而将原本无法引线键合或引线键合较为困难的封装产品变得可行。载板芯片采用晶 圆工艺制作，其表面焊盘与一般芯片的焊盘制作工艺相同，材质均为铝金属，如图1(a)、图 1 (b)所示，芯片上表面为钝化层，在布局有焊盘的位置钝化层有开口，这样就使得芯片内部 与外界隔离。封装工艺中铝金属利于引线键合，为成熟工艺，但是其不利于倒装芯片焊接， 原因如下用于采用倒装工艺的芯片与一般的芯片有所不同，需要对其做再布线 (Redistribution, RDL)工艺和制作金属凸块(Bumping)工艺。再布线工艺是改变芯片原 始的焊盘布局，将分布在芯片四周一个面或多个面靠近边缘的焊盘转移至芯片表面区域，并且使焊盘均勻整的分布。通过金属凸块工艺在再分布后的焊盘上制作金属凸块；金属凸 块的材质业内通常采用锡或金或铜，或者其合金，再布线和制作金属凸块的芯片焊盘布局 如图2(a)、图2(b)所示。上述金属凸块材质与铝的可钎焊性差，即无法将载板芯片的铝焊 盘与倒装芯片的金属凸块实现焊接。
解决上述载板芯片铝焊盘与倒装芯片金属凸块钎焊性不佳的方法是，将载板芯片 的铝焊盘进行表面处理，视倒装芯片金属凸块的材质可选表面取镀锡或铜或金。这样，可通 过倒装芯片工艺实现载板芯片与倒装芯片的焊接。但是这会给产品整个封装工艺流程带来 弊端，具体原因如下业内封装工艺中，无源元件是通过表面贴装技术(Surface MountingTechnology, SMT)焊接于焊盘上，无源元件如图3(a)、3(b)所示，基板焊盘如图3(c)、3(d)所示，无源元 件和基板焊盘之间的焊接结构如图3(e)所示；倒装芯片是通过特定的设备，将基板焊盘上 涂助焊剂，然后将用于倒装的芯片置于基板上，相应的焊盘进行对接，继而回流，实现焊接， 如图4所示。倒装芯片焊接完成后，通常会进行底部填充工艺(Under fill)，以提高可靠 性。表面贴装工艺和倒装芯片工艺是业内成熟的封装工艺，有专用的设备、原材料。对于载 板芯片上需要倒装芯片和贴装无源元件的封装产品，其按照现有的封装设备、原材料，可能 的工艺流程是表面贴装技术贴装无源元件、回流、倒装芯片、回流，即无源元件经历了两次 回流。由于二次回流的高温过程会使得焊料金属融化蒸发，且向四周扩散，这就相当于降低 了焊盘处焊料的厚度，二次回流后会形成焊接不牢、相邻焊盘连接等缺陷，如图5所示，并 且会降低无缺陷产品的可靠性。
发明内容本发明的目的在于克服上述不足，提供一种能将载板芯片的焊盘与倒装芯片的金 属凸块实现焊接，同时倒装芯片和贴装无源元件工艺通过一次回流完成的带金属凸块焊盘 的载板芯片。本发明的目的是这样实现的一种带金属凸块焊盘的载板芯片，其特征在于所 述载板芯片包含有两类焊盘，其中第一类焊盘为金属凸块结构，用来与倒装芯片和无源元 件连接，第二类焊盘与通常的芯片焊盘相一致，为铝焊盘，用以引线键合；所述载板芯片的 第一类焊盘的材质为锡、铜或金。采用此载板芯片，结合专用的倒装芯片与表面贴装技术混用设备，工艺流程为载 板芯片的所有金属凸块焊盘上刷助焊剂，贴装用于倒装的芯片以及无源元件，一次回流焊 接。此方案通过在载板芯片上倒装芯片和贴装无源元件，实现在有限封装体内集成多个芯 片和无源元件，使原本存在空间不足的封装方案变得可行。本发明的有益效果是1、载板芯片，能在其上倒装芯片和贴装无源元件；2、倒装芯片和贴装无源元件工艺通过一次回流完成，缩短工艺流程，提高效率；3、减小缺陷发生的概率，提高产品可靠性；4、增加其它复杂的系统级封装产品方案的可行性。
图1(a)为以往载板芯片焊盘布局俯视图。图1(b)为图1(a)的侧视图。图2(a)为以往再布线和制作金属凸块的芯片焊盘布局俯视图。图2 (b)为图2 (a)的侧视图。图3(a)为以往无源元件俯视图。图3 (b)为图3 (a)的侧视图。图3(c)为以往基板焊盘布局俯视图。图3 (d)为图3 (c)的侧视图。图3(e)为以往无源元件表面贴装结构示意图。图4为以往倒装芯片于基板示意图。图5为以往二次回流后缺陷示意图。图6(a)为本发明带金属凸块焊盘的载板芯片焊盘布局俯视图。图6 (b)为图1 (a)的侧视图。图7 (a)为在本发明载板芯片上倒装芯片和贴装无源元件的系统级封装结构俯视 图。图7(b)为图7(a)的侧视图。
具体实施方式
如图7(a)和图7(b)所示，芯片Ul、U3面积较大，并且无源元件(Rl、CI、LI、C2) 数量较多，在尺寸有限的封装体内完成芯片、无源元件的布局是无法完成的。本实用新型涉 及的带金属凸块焊盘的载板芯片，所述结构包含有多颗芯片(U1、U2、U3)和多颗无源元件 (Rl、CI、LI、C2)，多颗芯片中至少有一颗载板芯片U2和一颗倒装芯片U3，将所述多颗芯片 进行三维空间上的堆叠。所述载板芯片U2包含有两类焊盘，如图6(a)和图6(b)所示，其 中第一类焊盘为金属凸块2结构，用来与倒装芯片U3和无源元件的电气连接，第二类焊盘 与通常的芯片焊盘相一致，为铝焊盘3，用来与其它芯片(U1、U3)和基板1的引线键合，将 所述倒装芯片U3和无源元件通过所述金属凸块2与载板芯片U2焊接；所述载板芯片U2的 第一类焊盘的材质为锡、铜或金。
权利要求一种带金属凸块焊盘的载板芯片，其特征在于所述载板芯片(U2)包含有两类焊盘，其中第一类焊盘为金属凸块(2)结构，第二类焊盘与通常的芯片焊盘相一致，为铝焊盘(3)；所述载板芯片(U2)的第一类焊盘的材质为锡、铜或金。
专利摘要本实用新型涉及一种带金属凸块焊盘的载板芯片，其特征在于所述载板芯片(U2)包含有两类焊盘，其中第一类焊盘为金属凸块(2)结构，第二类焊盘与通常的芯片焊盘相一致，为铝焊盘(3)；所述载板芯片(U2)的第一类焊盘的材质为锡、铜或金。本实用新型封装结构能将载板芯片的焊盘与倒装芯片的金属凸块实现焊接，同时倒装芯片和贴装无源元件工艺通过一次回流完成。
文档编号H01L23/12GK201601123SQ20102010283
公开日2010年10月6日 申请日期2010年1月27日 优先权日2010年1月27日
发明者李宗怿, 王新潮, 王春华, 陈一杲, 高盼盼 申请人:江苏长电科技股份有限公司