专利名称：用于半导体二极管的酸洗槽的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于半导体二极管的酸洗槽，属于半导体二极管的清洗技术 领域。
背景技术：
在半导体二极管的制作过程中，需要对半导体二极管酸洗后再进行封装。因此半 导体二极管清洗是否干净，直接影响半导体二极管的性能。在清洗过程中，通常将半导体二 极管插装在酸洗槽的插孔内，将腐蚀性的含硫酸的酸洗液到入酸洗槽内对半导体二极管浸 泡，将酸洗液倒出后再用去离子水对半导体二极管进行冲洗。而酸洗槽通常由酸洗盘和安 装在酸洗盘下部的四个耐腐蚀的支腿构成，酸洗盘的槽底设有多个插装半导体二极管的工 件插装孔以及螺钉安装孔，而支腿的上部设有螺纹孔，螺钉穿过酸洗盘的螺钉安装孔再旋接 在支腿的螺纹孔内，将支腿连接在酸洗盘的下部。但酸洗过程中，酸洗槽需要经常盛装和倒掉 酸洗液，使得酸洗液经常会流到螺钉处，而腐蚀掉螺钉，使支腿脱落，造成酸洗槽无法使用。
发明内容本实用新型的目的是提供一种结构简单，安装方便，能将支腿可靠安装酸洗盘上， 不会被酸洗液腐蚀的用于半导体二极管的酸洗槽。本实用新型为达到上述目的的技术方案是一种用于半导体二极管的酸洗槽，包 括酸洗盘和四个以上耐腐蚀的支腿，酸洗盘的凹槽底板上设具有三排以上横向和纵向设置 的工件插装孔，其特征在于所述酸洗盘的四周具有安装孔，支腿上部具有小于支腿的安装 轴，且支腿的安装轴与酸洗盘的工件插装孔紧密配合。本实用新型在酸洗盘的四周设有安装孔，而支腿上部设有安装轴，使安装轴直接 紧配安装在酸洗盘的安装孔内，将支腿安装在酸洗盘上，由于没有螺钉，在酸洗过程中，酸 洗槽内的酸洗液流入支腿顶部后，支腿也不会被酸洗液腐蚀，结构简单，安装方便，而将支 腿可靠安装酸洗盘上。
以下结合附图对本实用新型的实施例作进一步的描述描述。
图1是本实用新型的结构示意图。图2是图1的俯视结构示意图之一。图3是本实用新型结构示意图之二。其中1_支腿，1-1-安装轴，2-酸洗盘，2-1-凹槽底板，2-2-工件插装孔，2-3-安 装孔，3-半导体二极管。
具体实施方式
见图1、2所示，本实用新型的用于半导体二极管的酸洗槽，包括酸洗盘2和四个以
3上耐腐蚀的支腿1，酸洗盘2的凹槽底板2-1底板上设具有三排以上横向和纵向设置的工件 插装孔2-2，工件插装孔2-2内可安装半导体二极管3，酸洗盘2的四周具有安装孔2-3，支 腿1上部具有小于支腿尺寸的安装轴1-1，支腿1的安装轴1-1与酸洗盘2的工件插装孔 2-2紧密配合，见图2所示，本实用新型支腿1的安装轴1-1采用圆柱形与酸洗盘2的安装 孔2-3的圆孔紧密配合，或支腿1的安装轴1-1采用可多边形与酸洗盘2上多边形安装孔 2-3紧密配合。见图1、2所示，本实用新型为方便将支腿1安装在酸洗盘2，酸洗盘2上的 安装孔2-3为锥度在1 5°的锥孔，而支腿1的安装轴1-1也为对应的锥轴，使锥轴与锥 孔紧密配合而连接，支腿1上的轴肩对酸洗盘2底面相接。见图3所示，本实用新型为防止 支腿1的转动，该酸洗盘2上的安装孔2-3具有定位面，同样，支腿1上部的安装轴1-1也 具有定位面，通过支腿1的安装轴1-1与酸洗盘2的安装孔2-3的紧密相配，且支腿1上的 轴肩对酸洗盘1底面相接，将支腿1可靠地安装在酸洗盘2上。
权利要求一种用于半导体二极管的酸洗槽，包括酸洗盘(2)和四个以上耐腐蚀的支腿(1)，酸洗盘(2)的凹槽底板(2 1)上设具有三排以上横向和纵向设置的工件插装孔(2 2)，其特征在于所述酸洗盘(2)的四周具有安装孔(2 3)，支腿(1)上部具有小于支腿(1)尺寸的安装轴(1 1)，且支腿(1)的安装轴(1 1)与酸洗盘(2)的安装孔(2 3)紧密配合。
2.根据权利要求1所述的用于半导体二极管的酸洗槽，其特征在于所述酸洗盘(2) 上的安装孔(2-3)为锥度在1 5°的锥孔，所述支腿(1)的安装轴(1-1)也为对应的锥 轴，且支腿(1)上的轴肩对酸洗盘(2)底面相接。
3.根据权利要求1所述的用于半导体二极管的酸洗槽，其特征在于所述酸洗盘(2) 上的安装孔(2-3)具有定位面，所述支腿(1)的安装轴(1-1)也具有对应的定位面，且支腿 (1)上的轴肩对酸洗盘(2)底面相接。
专利摘要本实用新型涉及一种用于半导体二极管的酸洗槽，包括酸洗盘和四个以上耐腐蚀的支腿，酸洗盘的凹槽底板上设具有三排以上横向和纵向设置的工件插装孔，所述酸洗盘的四周具有安装孔，支腿上部具有小于支腿尺寸的安装轴，且支腿的安装轴与酸洗盘的工件插装孔紧密配合。本实用新型直接将安装轴紧配安装在酸洗盘的安装孔内，由于没有螺钉，酸洗过程中，酸洗槽的酸洗液流入支腿顶部后，支腿不会被酸洗液腐蚀，结构简单，安装方便，能将支腿可靠安装酸洗盘上。
文档编号H01L21/00GK201655760SQ20102014252
公开日2010年11月24日 申请日期2010年3月26日 优先权日2010年3月26日
发明者张心波 申请人:张心波