专利名称：一种用于固晶机的晶圆推顶装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于晶固机的晶圆推顶装置，尤其涉及一种在半导体封装中将晶片与聚酯薄膜层脱离的装置。
背景技术：
目前，在半导体行业封装中固晶机将晶圆1与聚酯薄膜层2脱离的推顶系统主要以伺服电机5带动凸轮4托动凸轮式推顶轴组件3和推顶针将晶圆向上顶出，使晶片与聚酯薄膜层脱离的方法为主，其工作原理是利用真空吸附聚酯薄膜，再使推顶针向上顶出而使晶片脱离，如图1、图2所示所示。其存在不良缺点有二 其一，推顶针极易磨损。依靠马达带动凸轮托动推顶针将晶片向上顶出，真空吸咀下压吸取晶片时，极易造成压坏晶片及磨损推顶针，因此大大降低了固晶机的工作效率和质量。其二，机构复杂，造价成本重。考虑推顶针将晶片向上顶出时避免与真空吸咀相碰撞，定位准确度需达微米级，通常采用伺服电机控制系统，大大增加设备造价成本。
实用新型内容本实用新型为了克服现有技术的不足，提供了一种结构简单，节省了原有的伺服电机控制系统的晶圆推顶装置。本实用新型所要解决的技术方案为一种用于固晶机的晶圆推顶装置，包括推顶轴芯外筒组件、下部安装于推顶轴芯外筒组件内的上下活动推顶轴芯组件、安装于上下活动推顶轴芯组件上部的固定推顶针组件、嵌装于上下活动推顶轴芯组件内并穿过推顶轴芯外筒组件底部的滚珠式花键组件，固定推顶针组件与滚珠式花键组件连接，其中前述的推顶轴芯外筒组件包括一推顶轴芯外筒、推顶轴芯外筒连接有连接调气阀和气咀。推顶轴芯外筒组件其作用是作为推顶轴芯活塞的外筒，与推顶轴芯活塞配合可以上下滑动并密封。前述的上下活动推顶轴芯组件包括一中空的推顶轴芯，推顶轴芯连接有推顶轴活塞，推顶轴活塞外环设有密封圈，推顶轴活塞上设有气动电磁阀，推顶轴芯的顶部设有一小孔。上下活动推顶轴芯组件其作用是利用真空吸附聚酯薄膜，当聚酯薄膜封闭推顶轴芯上的小气孔时，使推顶轴芯的内腔抽空而使聚酯薄膜往下拉动。前述的固定推顶针组件包括设于推顶轴芯空腔内的推顶针压帽，推顶针压帽安装固定有对应推顶轴芯顶部小孔的推顶针。固定的推顶针组件其作用是当推顶轴芯的内腔抽空而使聚酯薄膜往下拉动时，推顶针露出推顶轴芯面将晶片脱离聚酯薄膜，推顶针露出高度可通过微调螺丝调整。前述的滚珠式花键组件包括穿过推顶轴芯外筒和推顶轴芯与推顶针固定连接的滚珠式花键轴芯、设于推顶轴芯外筒内并套紧滚珠式花键轴芯的滚珠式花键外筒，外套于滚珠式花键轴芯上的定位圆筒，定位圆筒位于滚珠式花键外筒和推顶轴芯外筒之间，定位圆筒上环设有弹簧；滚珠式花键轴芯露于推顶轴芯外筒的一端上依次套有推顶针高度微调螺母和推顶针高度微调螺丝。滚珠式花键组件其作用是使推顶轴芯部组相对于推顶针部组能上下垂直滑动，并且配合精密无间隙。前述的推顶轴芯顶部的小孔孔径略大于推顶针针端的直径并可使推顶针的针头露出小孔。本实用新型的基本原理是推顶针固定不动，利用真空吸附聚酯薄膜，当聚酯薄膜封闭推顶轴芯上的小气孔时，使推顶轴芯的内腔抽空而使聚酯薄膜往下拉动，从而使推顶针露出推顶轴芯面将晶片脱离聚酯薄膜层。本实用新型的晶圆推顶装置在方案上弃用推顶针将晶片向上顶出脱离聚酯薄膜层的方法，将原来推顶针顶出活动改为不动，通过原有的真空吸附聚酯薄膜，当推顶轴芯组的内腔抽空时，使聚酯薄膜吸附在推顶轴芯的平面上，同时下拉聚酯薄膜低于推顶针，从而使推顶针顶出晶片脱离聚酯薄膜层。此装置结构简单，节省了一组伺服电机控制系统，在原来的真空气路上并可实现。本实用新型晶圆推顶装置的结构设计实用、简单，将半导体行业封装中固晶机的工作效率和质量大大改良提高。
图1是现有技术中的凸轮式晶圆推顶装置的结构示意图。图2是图1中A处的局部放大图。图3是本实用新型的晶圆推顶装置的结构示意图。图4是本实用新型的晶圆推顶装置的结构分解图。图5是本实用新型的晶圆推顶装置的结构剖视图。附图中零件的标号如下1、晶圆，2、聚酯薄膜层，3、凸轮式推顶轴组件，4、凸轮、5、伺服电机，6、固定的推顶针组件，7、上下活动推顶轴芯组件，8、滚珠式花键组件，9、推顶轴芯外筒组件，10、推顶轴芯，11、推顶针压帽，12、推顶针，13、密封圈，14、推顶轴活塞，15、滚珠式花键轴芯，16滚珠式花键外筒，17弹簧，18、定位圆筒，19、推顶轴芯外筒，20、推顶针高度微调螺母，21、推顶针
高度微调螺丝。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型晶圆推顶装置进一步说明。如图3、图4、图5所示，一种用于固晶机的晶圆推顶装置，包括推顶轴芯外筒组件 9、下部安装于推顶轴芯外筒组件9内的上下活动推顶轴芯组件7、安装于上下活动推顶轴芯组件上部的固定推顶针组件6、嵌装于上下活动推顶轴芯组件内并穿过推顶轴芯外筒组件底部的滚珠式花键组件8，固定推顶针组件与滚珠式花键组件连接，其中前述的推顶轴芯外筒组件包括一推顶轴芯外筒19、推顶轴芯外筒连接有连接调气阀和气咀。前述的上下活动推顶轴芯组件包括一中空的推顶轴芯10，推顶轴芯连接有推顶轴活塞14，推顶轴活塞外环设有密封圈13，推顶轴活塞上设有气动电磁阀，推顶轴芯的顶部设有一小孔。前述的固定推顶针组件6包括设于推顶轴芯空腔内的推顶针压帽11，推顶针压帽安装固定有对应推顶轴芯顶部小孔的推顶针12，小孔的孔径略大于推顶针针端的直径并可使推顶针的针头露出小孔。前述的滚珠式花键组件8包括穿过推顶轴芯外筒19和推顶轴芯10与推顶针12固定连接的滚珠式花键轴芯15、设于推顶轴芯外筒19内并套紧滚珠式花键轴芯15的滚珠式花键外筒16，外套于滚珠式花键轴芯15上的定位圆筒18，定位圆筒18位于滚珠式花键外筒16和推顶轴芯外筒19之间，定位圆筒18上环设有弹簧17 ；滚珠式花键轴芯15露于推顶轴芯外筒19的一端上依次套有推顶针高度微调螺母20和推顶针高度微调螺丝21。如图4、图5所示，首先将滚珠式花键组件8微调高度的一端穿入定位圆筒18和弹簧17，再插入推顶轴芯外筒19底部的孔中，固定上推顶针高度微调螺母20和推顶针高度微调螺丝21，在滚珠式花键组件8的另一端放入推顶针12和固上推顶针压帽11，又将密封圈 13套在推顶轴活塞14上，旋入推顶轴芯10，最后压入推顶轴芯外筒19中，压入过程中要小心，不要碰撞推顶针12的尖部，并且推顶针12的尖部不能高出推顶轴芯10的平面。推顶轴芯的真空气室和推顶轴活塞的真空气室的气路由一个气动电磁阀的通断来控制。
权利要求1.一种用于固晶机的晶圆推顶装置，包括推顶轴芯外筒组件(9)、下部安装于推顶轴芯外筒组件(9)内的上下活动推顶轴芯组件(7)、安装于上下活动推顶轴芯组件上部的固定推顶针组件(6)、嵌装于上下活动推顶轴芯组件内并穿过推顶轴芯外筒组件底部的滚珠式花键组件(8)，固定推顶针组件与滚珠式花键组件连接，其特征在于所述的推顶轴芯外筒组件包括一推顶轴芯外筒(19)、推顶轴芯外筒连接有连接调气阀和气咀；所述的上下活动推顶轴芯组件包括一中空的推顶轴芯(10)，推顶轴芯连接有推顶轴活塞(14)，推顶轴活塞外环设有密封圈(13)，推顶轴活塞上设有气动电磁阀，推顶轴芯的顶部设有一小孔；所述的固定推顶针组件包括设于推顶轴芯空腔内的推顶针压帽(11)，推顶针压帽安装固定有对应推顶轴芯顶部小孔的推顶针(12)；所述的滚珠式花键组件包括穿过推顶轴芯外筒和推顶轴芯与推顶针固定连接的滚珠式花键轴芯(15)、设于推顶轴芯外筒内并套紧滚珠式花键轴芯的滚珠式花键外筒(16)，外套于滚珠式花键轴芯上的定位圆筒(18)，定位圆筒位于滚珠式花键外筒和推顶轴芯外筒之间，定位圆筒上环设有弹簧(17)；滚珠式花键轴芯露于推顶轴芯外筒的一端上依次套有推顶针高度微调螺母(20)和推顶针高度微调螺丝(21)。
2.根据权利要求1所述的晶圆推顶装置，其特征在于所述的推顶轴芯顶部的小孔孔径略大于推顶针针端的直径并可使推顶针的针头露出小孔。
专利摘要本实用新型所公开的一种用于固晶机的晶圆推顶装置，包括推顶轴芯外筒组件、下部安装于推顶轴芯外筒组件内的上下活动推顶轴芯组件、安装于上下活动推顶轴芯组件上部的固定推顶针组件、嵌装于上下活动推顶轴芯组件内并穿过推顶轴芯外筒组件底部的滚珠式花键组件，固定推顶针组件与滚珠式花键组件连接。该实用新型的推顶装置结构简单，节省了一组伺服电机控制系统，在原来的真空气路上并可实现。本实用新型晶圆推顶装置的结构设计实用、简单，将半导体行业封装中固晶机的工作效率和质量大大改良提高。
文档编号H01L21/68GK202003972SQ20102025704
公开日2011年10月5日 申请日期2010年7月13日 优先权日2010年7月13日
发明者朱亦武 申请人:江门市新侨光电科技有限公司