专利名称：一种硅片的气流冲洗机构的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种冲洗机构，特别涉及一种硅片的冲洗机构，属于硅片加工的技术 领域。
背景技术：
由于硅片体积小，厚度薄，因此，硅片之间极易产生静电。将硅片从盒子内倒出时， 由于静电作用，常常有硅片粘贴在盒子内，造成硅片的浪费。传统的方法是采用吹风机将这 些贴在盒子内的硅片吹出，该方法虽可取出硅片，但操作不方便，且硅片吹出后容易到处乱 飞。不易收集。为了解决上述技术问题，近来，出现了一种硅片气流冲洗装置，包括盒体、封闭空 腔、气流通道及气源，盒体与气流通道相对的设置在封闭空腔上，所述盒体的开口端与所述 气流通道的出气口相对，所述气流通道的进气口与气源通。盒体的开口端连接与封闭空腔 的通道相通，通常通过盒体的外周面与封闭空腔通道的内周面紧密配合来实现盒体与封闭 空腔的连接。该结构的硅片冲洗装置，由于是通过盒体的外周面与封闭空腔的通道的内周 面紧密配合实现连接的，使用时间了以后，封闭空腔通道的内周面容易出现磨损，从而，导 致封闭空腔与盒体的连接不牢。
发明内容本发明所要解决的技术问题是提供一种连接方便，使用寿命长且结构简单的硅片 的气流冲洗机构。为了解决上述技术问题，本发明一种硅片的气流冲洗机构，包括盒体、封闭空腔， 所述盒体与所述封闭空腔通过连接装置活动连接成一体，所述连接装置包括设置在封闭空 腔上的通孔，所述通孔内周面上设有内螺纹，设置在所述盒体外周面上的外螺纹，所述盒体 与所述封闭空腔通过螺纹配合连接成一体。上述一种硅片气流冲洗机构，其中，所述盒体与所述封闭空腔之间设有密封垫圈。本发明可实现以下益效果1、由于所述连接装置包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上设有内螺 纹，设置在所述盒体外周面上的外螺纹，所述盒体与所述封闭空腔通过螺纹配合连接成一 体，使盒体与封闭空腔的连接更加牢固，且避免了封闭空腔由于多次使用被损坏，从而延长 了冲洗机构的使用寿命。2、由于所述盒体与所述封闭空腔之间设有密封垫圈，可起到缓冲作用，避免封闭 空腔磨损。
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明作进一步说明。如图所示，为了解决上述技术问题，本发明一种硅片的气流冲洗机构，包括盒体 5、封闭空腔1、气源6及气流通道7，所述盒体5与所述封闭空腔1通过连接装置连接成一 体，所述连接装置包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上设有内螺纹，设置在所 述盒体5外周面上的外螺纹，所述盒体5与所述封闭空腔1通过螺纹配合连接成一体。通 过螺纹配合连接盒体与封闭空腔，使盒体5与封闭空腔1的连接更加牢固，且避免了封闭空 腔1由于多次使用被损坏，从而延长了冲洗机构的使用寿命，且本发明结构简单。为了进一步提高冲洗机构的使用寿命，可在所述盒体5与所述封闭空腔1之间设 有密封垫圈51，由于所述盒体5与所述封闭空腔1之间设有密封垫圈，可起到缓冲作用，避 免封闭空腔磨损。综上所述，本发明与现有技术相比，具有结构简单、结实耐用、成本低廉且连接可 靠的优点。这里本发明的描述和应用是说明性的，并非想将本发明的范围限制在上述实施例 中，因此，本发明不受本实施例的限制，任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护 的范围内。
权利要求1.一种硅片的气流冲洗机构，包括盒体、封闭空腔，所述盒体与所述封闭空腔通过连接 装置活动连接成一体，其特征在于，所述连接装置包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔 内周面上设有内螺纹，设置在所述盒体外周面上的外螺纹，所述盒体与所述封闭空腔通过 螺纹配合连接成一体。
2.如权利要求1所述一种硅片的气流冲洗机构，其特征在于，所述盒体与所述封闭空 腔之间设有密封垫圈。
专利摘要本实用新型公开了一种硅片的气流冲洗机构，包括盒体、封闭空腔，所述盒体与所述封闭空腔通过连接装置活动连接成一体，所述连接装置包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上设有内螺纹，设置在所述盒体外周面上的外螺纹，所述盒体与所述封闭空腔通过螺纹配合连接成一体，由于所述连接装置包括设置在封闭空腔上的通孔，所述通孔内周面上设有内螺纹，设置在所述盒体外周面上的外螺纹，所述盒体与所述封闭空腔通过螺纹配合连接成一体，使盒体与封闭空腔的连接更加牢固，且避免了封闭空腔由于多次使用被损坏，从而延长了冲洗机构的使用寿命。
文档编号H01L21/00GK201904310SQ201020579548
公开日2011年7月20日 申请日期2010年10月27日 优先权日2010年10月27日
发明者聂金根 申请人:镇江市港南电子有限公司