一种石英舟的制作方法

文档序号:6980962阅读:514来源:国知局
专利名称:一种石英舟的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种载具,尤其涉及一种石英舟。
背景技术
扩散是太阳能硅电池片生产过程中关键的一步工序,扩散工艺通常采用扩散炉来 完成,石英舟是一种在扩散炉中用来固定硅电池片的夹具,其尺寸规格必须与相应的扩散 炉内的安装架相配套,而由于设备制造商技术的不断改进,不同设备制造商技术发展的不 均衡性,扩散车间内往往会购入不同型号的扩散炉,尤为可能的是同时安装有国内和国外 生产的扩散炉,不同型号的扩散炉导致需要准备多种型号的石英舟,使得生产安排极为麻 烦。最常用的扩散炉设置有如下两种石英舟安装架1、石英长舟,为两根间距固定、相 互平行的石英杆状物,石英舟的舟座从外侧卡于石英长舟上;2、SiC桨,为一 U形SiC制成 的架子,石英舟的舟座从外侧卡于SiC上。

实用新型内容本实用新型为解决现有技术问题,提供一种便于使用的石英舟。本实用新型的技术方案是一种石英舟,包括舟体,舟体下方设置有舟架,所述 舟体包括横架和纵杆,所述纵杆固定设置于横架壁,且与横架相互垂直;所述横架下方设置 有舟座,所述舟座有两个,且之间的距离小于舟架的宽度。移动舟座的位置,使得舟座恰好能从内侧卡于石英长舟,并能从外侧卡于SiC桨 上,生产时只需要使用一种石英舟,即可适用于多种规格的扩散炉;且本实用新型不改变石 英舟的材质等其他特性,方块电阻对比及效率均优于原石英舟。作为优选,所述纵杆设置于横架的内侧壁。作为优选,所述纵杆设置于横架的外侧壁。作为优选,所述纵杆上开有凹槽。作为优选,所述凹槽有多个,相邻凹槽之间的距离为3 6匪。作为优选,所述凹槽的深度方向与纵杆的中心轴线之间的角度为1 6度。作为优选,所述纵杆长度小于1080MM。作为优选,所述两个舟座之间的距离为100 120MM。综上所述,本实用新型具有以下优点1、可适用多种不同扩散炉内的石英舟架,便于生产;2、方块电阻对比和效率较高。

图1为本实用新型实施例一结构侧视图;图2为本实用新型实施例一结构俯视图;[0019]图3为本实用新型安装于石英长舟示意图;图4为本实用新型安装于SiC桨示意图。图中,1、横架,2、纵杆,3、舟座,4、石英长舟,5、SiC桨,6、凹槽。
具体实施方式
以下结合附图以实施例对本实用新型作进一步说明。实施例一一种石英舟,如图1、2所示,包括舟体,舟体下方设置有舟架,舟体包括横架1和纵 杆2,纵杆2固定设置于横架1内侧壁,且与横架1相互垂直;横架1下方设置有舟座3,舟 座3有两个,纵杆2上开有多个凹槽6,相邻凹槽6之间的距离为3匪,凹槽6与纵杆2之 间的角度为1度,纵杆2长度为1070MM,两个舟座3之间的距离为100MM,石英舟整体宽度 185MM。如图3所示,石英舟放置于石英长舟4上。如图4所示,石英舟放置于SiC桨5上。实施例二 一种石英舟,如图1、2所示,包括舟体,舟体下方设置有舟架,舟体包括横架1和纵 杆2,纵杆2固定设置于横架1外侧壁,且与横架1相互垂直;横架1下方设置有舟座3,舟 座3有两个,纵杆2上开有多个凹槽6,相邻凹槽6之间的距离为6匪,凹槽6与纵杆2之 间的角度为6度,纵杆2长度为1000MM,两个舟座3之间的距离为120MM,石英舟整体宽度 185MM。实施例三一种石英舟,如图1、2所示,包括舟体,舟体下方设置有舟架,舟体包括横架1和纵 杆2,纵杆2固定设置于横架1外侧壁,且与横架1相互垂直;横架1下方设置有舟座3,舟 座3有两个,纵杆2上开有多个凹槽6,相邻凹槽6之间的距离为4. 8匪,凹槽6与纵杆2之 间的角度为3度,纵杆2长度为1000MM,两个舟座3之间的距离为110MM,石英舟整体宽度 185MM。
权利要求1.一种石英舟,包括舟体,舟体下方设置有舟架,其特征在于所述舟体包括横架和纵 杆,所述纵杆固定设置于横架壁,且与横架相互垂直;所述横架下方设置有舟座,所述舟座 有两个,且之间的距离小于舟架的宽度。
2.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于所述纵杆设置于横架的内侧壁。
3.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于所述纵杆设置于横架的外侧壁。
4.根据权利要求2或3所述石英舟,其特征在于所述纵杆上开有凹槽。
5.根据权利要求4所述石英舟,其特征在于所述凹槽有多个,相邻凹槽之间的距离为 3 6MM。
6.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于所述凹槽的深度方向与纵杆的中心轴线 之间的角度为1 6度。
7.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于所述纵杆长度小于1080MM。
8.根据权利要求1所述石英舟,其特征在于所述两个舟座之间的距离为100 120MM。
专利摘要一种石英舟,包括舟体,舟体下方设置有舟架,所述舟体包括横架和纵杆,所述纵杆固定设置于横架壁,且与横架相互垂直;所述横架下方设置有舟座,所述舟座有两个,且之间的距离小于舟架的宽度。本实用新型可适用多种不同扩散炉内的石英舟架,便于生产;方块电阻对比和效率较高。
文档编号H01L21/673GK201868402SQ20102061162
公开日2011年6月15日 申请日期2010年11月18日 优先权日2010年11月18日
发明者刘鹏, 姚琪, 欧阳辉 申请人:浙江贝盛光伏股份有限公司
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