专利名称：输送系统及其设定方法
技术领域：
本发明涉及具有向载置口(日语載置f 一卜)降下物品的输送装置的输送系统及其设定方法。
背景技术：
公知有这样的输送装置向载置被输送物的载置口降下被输送物(例如，参照专利文献1)。在专利文献1中，示出输送装置向设置于制造装置的载置口降下被输送物的情况。被输送物在被载置于制造装置的载置口之后，实施各种加工处理。在制造装置中，为了对被输送物恰当地实施加工处理，必须高精度地将被输送物载置于制造装置的载置口的规定的位置。因此，有时在被输送物与载置口上，设置用于使它们相互在水平方向上对位的定位突起和定位孔等定位机构(例如，参照专利文献2)。现有技术文献专利文献专利文献1 日本特开2002-270660号公报(图1)专利文献2 日本特开2009-105109号公报(图2)发明的概要发明要解决的技术问题为了设置专利文献2那样的定位机构，在输送装置上使被输送物相对于载置口严格地定位载置，必须预先严格地设定输送装置输送的被输送物的降下位置。如上述那样， 在制造装置的载置口上载置被输送物时，为了在制造装置中对被输送物恰当地实施加工处理，这种严格的对位是不可缺少的。另一方面，一直以来，在被输送物的整个输送工序中为了提高输送效率，经常设置临时保管被输送物的临时放置场所。若在这种临时放置场所中也必须与制造装置同样地设定严格的对位，则为了设置整个输送系统所需要的操作有可能过大。
发明内容
本发明的目的在于提供一种设置操作简单的输送系统和其设定方法。用于解决技术问题的手段以下，作为解决技术问题的手段说明多个方式。这些方式能够根据需要任意地组
I=I O本发明一观点的输送系统，具备第1载置口和第2载置口，分别具有从上方载置下表面形成有定位孔的物品的载置面；输送装置，使物品降下至第1载置口和第2载置口 ； 以及防滑部件，设置于第2载置口的载置面。在第1载置口的载置面上，设置有与定位孔对应的定位突起。在第2载置口的载置面上，没有设置定位突起。防滑部件具有这样的上表面上述防滑部件的上述上表面与物品的下表面之间产生的静摩擦力大于第2载置口的载置面与物品的下表面之间产生的静摩擦力。输送装置，在使物品降下至第1载置口时，使定位孔与定位突起相互对位，在使物品降下至第2载置口时，在防滑部件上载置物品。根据该输送系统，在第1载置口中在定位突起与物品的定位孔之间进行对位，但在第2载置口中没有设置定位突起，物品被载置于防滑部件上。因此，在输送装置中能够非常容易地设定用于使物品载置于第2载置口的对位，使设置输送系统整体所需要的操作变得简单。另外，优选使输送装置即将在第2载置口上载置物品之前的该物品的下表面相对于水平方向倾斜，第2载置口的载置面相对于水平方向倾斜，以使第2载置口的载置面与即将在第2载置口上载置物品之前的该物品的下表面之间的角度小于该下表面与水平方向之间的角度。根据物品的重心位置或输送装置中的物品的支撑方法，有不能水平地将物品向第 2载置口载置的情况。此时，若将物品强行载置于载置面，则有可能在物品上产生过大的负荷或冲击。根据上述情况，即使在这种情况下，由于也以物品的下表面与载置面之间的角度变小的方式使载置面倾斜，所以能够恰当地将物品载置于载置面。另外，优选物品的下表面包括第1面和配置于第1面上方的第2面，防滑部件的厚度使得在物品载置于第2载置口时，防滑部件的上表面抵接于第2面，并且第1面与第2 载置口的载置面分离。由此，即使在物品的下表面具有阶差的情况下，由于调整防滑部件的厚度以使第1 面与载置面分离，因此能够避免第1面直接抵接于载置面而对物品施加冲击或负荷。另外，输送装置也可以具有把持部，把持物品；以及移动部，在悬挂把持部的同时使其沿铅垂方向移动。在采用悬挂物品的同时使其降下的方式时，难于进行物品的水平方向相关的定位的情况较多。因此，上述构成与对位设定容易的本发明的一观点的输送系统的组合是有效的。而且，在悬挂物品的同时使其降下的方式的情况下，由于物品的重心位置的偏离等而物品容易倾斜。因此，上述的构成与使载置面倾斜而减小与物品的下表面的角度的构成的组合是特别有效的。另外，移动部也可以具有在悬挂把持部的同时沿水平方向移动的移动臂。若悬挂把持部的同时沿水平方向移动，则移动臂有可能向下方弯曲(日语撓& )。因此，物品水平方向的对位容易变得困难，物品容易倾斜。因而，该构成与对位设定容易的本发明的一观点的输送系统的组合是有效果的，与使载置面倾斜而减小与物品下表面的角度的构成的组合是特别有效果的。另外，也可以还具备对物品实施加工处理的处理装置；以及保管物品的保管装置，第1载置口为设置于处理装置的口，第2载置口为设置于保管装置的口。由此，由于在对物品实施加工处理的处理装置中必须严格地定位物品，因此在第1载置口设置有定位销。 另一方面，由于在保管物品的保管装置中不需要那样严格的定位，因此在第2载置口上没有设置定位销。通过在不需要这样严格的定位的部位使用没有设置定位销的载置口，作为系统整体能够大幅度地减少定位的设定操作。另外，本发明的其它观点的输送系统，具备对下表面形成有定位孔的物品实施加工处理的处理装置；保管装置，保管物品；第1载置口，具有从上方载置物品的载置面且设置于处理装置；第2载置口，具有从上方载置物品的载置面且设置于保管装置；轨道，架设于第1载置口的上方；输送台车，在悬挂物品的同时沿轨道行驶，并且在悬挂物品的同时使物品降下至第1载置口和第2载置口 ；以及防滑部件，设置于第2载置口的载置面。在第1 载置口的载置面上，设置有与定位孔对应的定位突起。在第2载置口的载置面上，没有设置定位突起。防滑部件具有这样的上表面防滑部件的上表面与物品的下表面之间产生的静摩擦力大于第2载置口的载置面与物品的下表面之间产生的静摩擦力。输送台车，在使物品降下至第1载置口时，使定位孔与定位突起关于水平方向相互对位，在使物品降下至第2 载置口时，在防滑部件上载置物品。在悬挂物品的同时输送并使其向处理装置降下的输送台车的情况下，为了载置于设置在处理装置上的载置口上，需要特别严格的定位。因而，在处理装置的第1载置口上设置有定位销。另一方面，由于在保管装置上不需要那样严格的对位，因此在第2载置口上没有设置定位销。这样通过在不需要严格的定位的部位使用没有设置定位销的载置口，作为系统整体能够使对位的设定操作大幅度地减少。本发明的其它观点的输送系统的设定方法，是分别设置多个第1载置口和第2载置口的输送系统的设定方法，具备如下的工序在第1载置口的各个第1载置口上调整水平方向的位置的同时使物品降下；在1个第2载置口上调整水平方向的位置的同时使物品降下；以及根据向第2载置口使物品降下的结果，取得用于控制物品相对于多个第2载置口的各个第2载置口的对位的信息。由此，虽然关于第1载置口需要分别使物品降下而取得控制信息，但是关于第2载置口，仅通过使物品降下至1个载置口，则关于其它的载置口也取得控制信息。因而，用于使物品降下的对位的设定变得容易。
图1是本发明的第1实施方式所涉及的输送系统所包含的轨道的剖面图和沿轨道行驶的输送台车的主视图。图2是通过输送台车输送的容器和载置口的立体图。图3A是轨道的剖面图和输送台车及保管装置的主视图。图;3B是载置于载置口的容器的主视图，是保管装置中的右侧面侧的图。图4是保管了 4个容器的状态的保管装置的立体图。图5A是载置口的立体图。图5B是载置口的立体图。图6A是本发明的第2实施方式的输送台车及保管装置的主视图。图6B是本发明的第2实施方式的输送台车及保管装置的主视图。图7是与用于通过输送台车使容器恰当地向载置口载置的设定方法相关的流程图。图8A是表示设置于制造装置上的载置口和容器的位置关系的俯视图。图8B是表示作为保管装置设置于轨道横向的载置口和轨道上的各位置的关系的俯视图。
具体实施方式
1.第1实施方式1(1)输送系统整体关于本发明的一实施方式即第1实施方式的输送系统1进行说明。图1是输送系统1所包含的轨道100的剖面图和沿轨道100行驶的输送台车200的主视图(移载中)。输送系统1是设置于半导体基板的制造工厂等、用于在工厂内输送作为被输送物的容器F的系统。容器F为大致长方体形状的中空部件，如图2所示，在下表面形成有阶差。该阶差从容器F的正面31的前方看分别形成在左右，由此下表面被划分为形成在阶差之间的第3下表面23、形成在一方的阶差与侧面32之间的第1下表面21、和形成在另一方的阶差与侧面33之间的第2下表面22。第1 第3下表面21 23均相互平行且平坦。 第3下表面23配置在第1下表面21及第2下表面22下方，构成后述的突出部A (图。 第1下表面21及第2下表面22在上下方向上配置于相同的位置。在某实施例中，阶差的高度差为2 3mm，在俯视图中第1平面21的宽度(在俯视形状中较短一方的长度)为约 15mm，第2下表面22也同样。在容器F内，收容有在制造过程中成为各种加工处理对象的多片半导体基板。在容器F的正面31设置有开闭自如的门，打开该门能够从容器F的内部取出半导体基板，或者向容器F的内部收容半导体基板。在工厂内设置有包含各种制造装置的各种处理装置或容器F的保管装置。处理装置对容器F内的半导体基板实施各种加工处理。在图2、图3A及图;3B中作为那样的处理装置或保管装置的一例，示出了制造装置99或保管装置300。在制造装置99上设置有第1载置口 98，在该第1载置口 98的上表面98a上载置容器F。第1载置口 98的上表面98a为平坦的平板部件，上表面98a水平地固定于制造装置99。轨道100在工厂的顶棚3附近沿通过第1载置口 98的上方附近的规定的输送路径架设，通过固定部件Iio固定于顶棚3。在图1中，示出在轨道100中与上述规定的输送路径正交的方向的剖面。即，面向图1从里侧朝向近前一侧的方向为轨道100延伸的方向。在轨道100内形成有空洞，后述的输送台车200的行驶机构210被收容于该空洞内。(2)输送台车输送台车200(输送装置)具有行驶机构210。行驶机构210是例如以直线马达 (linear motor)方式沿轨道100使输送台车200行驶的机构。在采用直线马达方式的情况下，行驶机构210通过与设置于轨道100内的2次侧永久磁铁101的磁性相互作用，在沿轨道100的方向上使输送台车200移动。在行驶机构210的下部设置有行驶车轮211，行驶车轮211与轨道100内的底面抵接而在其底面上支撑输送台车200。另外，也可以采用直线马达方式以外的行驶方式。例如，也可以通过以驱动马达驱动行驶车轮211，以沿轨道100行驶的方式构成行驶机构210。在行驶机构210上通过支架212悬挂主体罩201。另外，为了容易看图，在图1中用虚线表示主体罩201，在图2以后省略主体罩201的图示。在主体罩201内，设置有升降机构220及悬挂升降机构220的水平位置调整机构213。水平位置调整机构213是用于调整升降机构220的水平位置的机构。水平位置调整机构213具有臂213a及臂21 和驱动它们的驱动机构。臂213a及臂21 能够从图1所示的位置沿左右方向滑动移动，通过驱动机构沿左方或右方移动，或者返回图1的位置。图3A的虚线表示作为一例臂213a及臂 213b从图1的位置向右方移动的状态。通过臂213a及臂21 移动，升降机构220沿左右方向移动。另外，臂213a及臂21 也可以不是左右两个方向，而是仅能够沿左方或右方移动。另外，水平位置调整机构213上也设置有调整升降机构220的沿水平面的旋转方向的位置的机构。升降机构220具有4根悬挂带214。另外，在图1中仅图示出4根中的2根悬挂带 214。升降机构220通过这4根悬挂带214悬挂把持机构215。把持机构215具有臂21fe。 臂21 能够从左右夹住容器F的顶部法兰34而进行把持，或者放开把持的顶部法兰34。 由此，能够例如在容器F载置于第1载置口 98上后使把持机构215放开容器F，或者使把持机构215把持载置于第1载置口 98上的容器F。另外，只要是支撑容器F的机构，则也可以不是如把持机构215那样把持容器F的机构。另外，升降机构220具有将4根悬挂带214卷起、送出的驱动机构。通过驱动机构卷起悬挂带214，从而把持机构215上升，通过驱动机构送出悬挂带214，从而把持机构215 降下。由此，在图1中的虚线位置和实线位置之间升降把持机构215把持的容器F。在本实施方式中，水平位置调整机构213及升降机构220对应本发明的移动机构。 水平位置调整机构213及升降机构220的动作通过升降控制部230控制。升降控制部230 包括设置于主体罩201内的处理器电路或各种存储设备等硬件；和在这些硬件中执行控制水平位置调整机构213及升降机构220的动作的控制处理的软件。(3)制造装置的载置口制造装置99打开容器F的盖，从容器F内取出半导体基板而实施各种加工处理。 为了使制造装置99恰当地从容器F取出半导体基板实施加工处理，需要使容器F严格地载置于第1载置口 98上的规定位置。因此，为了使容器F相对于第1载置口 98严格地定位， 如图2所示，在容器F的第3下表面23上形成有3个定位孔11，在第1载置口 98的上表面 98a上形成有与3个定位孔11对应的3个定位突起12。通过以使定位突起12分别嵌入各定位孔11的方式在第1载置口 98上载置容器F，由此规定与容器F的水平方向相关的载置位置。为了以定位突起12嵌入定位孔11的方式使容器F恰当地载置于第1载置口 98， 需要使水平位置调整机构213及升降机构220的动作通过升降控制部230恰当地控制。即， 需要如下控制在升降机构220使把持机构215降下的同时，通过水平位置调整机构213恰当地微调整容器F的水平位置。因此，在本输送系统1设置时需要执行示教(teaching)处理，该示教处理是指引导水平位置调整机构213以使容器F被恰当地载置于第1载置口 98 的规定位置、由此取得恰当的水平移动距离和方向、并将该信息存储于升降控制部230。基于水平位置调整机构213的容器F的水平位置的调整，在各第1载置口 98执行。这是因为制造装置99等处理装置被分为多个种类，设置精度也各种各样。根据某个实施例，设置于处理装置的第1载置口 98合计为500 几千个。在关于1台输送台车200设定示教信息后，也可以对不同的输送台车200，如后所述，根据关于作为基准的第1载置口 98执行示教处理后得到的结果而执行示教处理。此时，需要执行至少输送台车200的台数的量的示教处理。另外，可以对各输送台车200关于所有的第1载置口 98执行示教处理。(4)保管装置的概略说明
另外，如上所述，在输送系统1中除了制造装置外，还设有临时保管容器F的保管装置。保管装置是为了输送工序的高效化等而设置的，在某个实施例中也以几千台的规模设置。图3A及图4表示作为该保管装置的一例的保管装置300a 300c。在输送系统 1中设置有保管装置300a 300c中的至少某一个。保管装置300a 300c分别具有大致同样的构成，具有底板322及支柱321。支柱321分别沿着铅垂方向，其上端固定于顶棚3。 在支柱321的下端水平固定有具有矩形的平面形状的平板部件即底板322。该支柱也可以被支撑于轨道100。在底板322的上表面水平设置有4个第2载置口 301。各第2载置口 301配置于轨道100的正下方，可从上方载置各1个的容器F。S卩，保管装置300能够保管合计4个容器F。在支柱321的下端附近，固定有用于防止载置于第2载置口 301的容器F从底板322 落下的落下防止部件302。落下防止部件302由4片平板部件构成，该4片平板部件由沿铅垂方向的平板部件3(^a、302b、302c、及302d构成。平板部件3(^a、302b、302c、及302d以包围载置于第2载置口 301的容器F的周围的方式，在俯视图中沿底板322的四边配置。保管装置300a以第2载置口 301位于轨道100的正下方的方式，配置于第1载置口 98没有位于下方的区域。在将容器F载置于保管装置300a上时，输送台车200如图3A 的箭头Pl所示，一边在在水平位置上进行微调整一边从轨道100向大致正下方降下把持容器F的把持机构215。保管装置300b和300c与保管装置300a的情况相比，以第2载置口 301配置于稍微上方的方式，在图3A中配置于轨道100的右邻和左邻。保管装置300b和 300c，设置于在下方没有设置制造装置99等处理装置的区域，或设置于即使在下方设置有处理装置、也由于装置的高度没有那么高、而在顶棚附近的空间中具有余量的区域。在保管装置300b和300c上载置容器F时，输送台车200如图3A的箭头P2所示那样，通过水平位置调整机构213使把持机构215水平移动，并且，如箭头P3所示那样使把持容器F的把持机构215降下。另外，在输送台车200的水平位置调整机构213具有能够仅向一侧移动升降机构220的结构时，可以仅设置保管装置300b和300c的任意一方。(5)保管装置的详细说明关于第2载置口 301，根据图3B、图4、图5A更详细地说明。第2载置口 301具有矩形的平面形状，上表面301b平坦。在第2载置口 301的上表面301b上固定有平板状的2 片防滑部件311。各防滑部件311具有沿第2载置口 301的边延伸的矩形的平面形状。一方的防滑部件311配置于第2载置口 301的端部附近，另一方的防滑部件311配置于其相反一侧的端部附近。2个防滑部件311以如下距离的量相互分离，即容器F中从第1下表面 21及第2下表面22之间向下方突出的突出部A (参照图3B)嵌合在2个防滑部件311之间那样的距离。容器F如图;3B所示那样载置于防滑部件311上，以使第1下表面21及第2下表面22抵接于防滑部件311的上表面301b上、并且突出部A嵌合在2个防滑部件311彼此之间。防滑部件311的铅垂方向的厚度，调整为容器F的第3下表面23离开第2载置口 301 的上表面301b。S卩，防滑部件311的厚度形成为大于第1下表面21及第3下表面23 (第2 下表面22及第3下表面23)的与铅垂方向相关的间隔距离。由此，能够避免面23直接抵接在第2载置口 301的上表面301b上而对容器F施加冲击或负载。
在上述的实施例的情况下，由于面21和面23的与铅垂方向相关的间隔距离，即阶差的高度差为2 3mm，因此防滑部件311形成为超过3mm的厚度。2个防滑部件311包括某种程度的余量地相互间隔，以使即使容器F的位置稍微沿水平方向偏离、突起部A也不会卡在防滑部件311上、而配置于防滑部件311之间。或者，也可以以面23的两端部附近分别载置于防滑部件311之上的方式配置防滑部件311。此时没有必要限制防滑部件311的厚度。防滑部件311由这样的原料构成防滑部件311与容器F的下表面之间产生的静摩擦力大于第2载置口 301的上表面301b与容器F的下表面之间产生的静摩擦力。例如， 由摩擦系数大的原料即橡胶等树脂构成。另外，若假定输送系统1在清洁室内使用的情况， 则优选使用难以产生排气、耐磨损性优良的氨基甲酸酯橡胶、硅橡胶和氟橡胶等。在第2载置口 301的上表面301b上，如图5A及图5B所示，形成有表示容器F的载置位置的标记301a。标记301a如图;3B那样，是在第2载置口 301上的恰当的位置载置容器F时、在俯视图中沿容器F的外形被配置的位置形成的矩形的平面形状的线。标记301a 在后述的示教处理中使用。如以上那样，在第2载置口 301上没有形成第1载置口 98的定位突起12那样的突起。并且，2个防滑部件311如上述那样包括某种程度的余量地相互间隔。因而，在将容器F载置于第2载置口 301上时，与载置于第1载置口 98上的情况不同，能够不在水平方向上进行严格的定位而恰当地载置于规定的部位。另外，由于被载置于防滑部件311上，因此若一旦被载置，则容器F在水平方向上难以偏离载置位置。而且，由于设置有落下防止部件302，所以即使万一容器F的载置位置偏离，也能够避免从保管装置300落下。(6)载置口的变形例另外，图5B是能够取代第2载置口 301而采用的载置口 401的立体图。载置口 401在平坦的上表面401b上设置有4片防滑部件411。2片防滑部件411在载置口 401的一方的端部附近沿端缘配置，剩余的2片防滑部件411在其相反一侧的端部附近沿端缘配置。若在载置口 401上载置容器F，则容器F的下表面的突起部A嵌入一方的2片防滑部件411与另一方的2片防滑部件411之间，第1下表面21及第2下表面22抵接于防滑部件411的上表面411a，并且，第3下表面23离开载置口 401的上表面401b。在2片防滑部件411彼此之间，分别形成有贯穿孔401a。该贯穿孔401a是用于从下方确认载置于载置口 401上的容器F的载置位置的孔。例如，在容器F的下表面的规定位置形成有作为记号的孔或标记等，此时通过贯穿孔401a从下方确认该记号，由此能够确认恰当地载置了容器F。(7)特征上述实施方式的特征如下。输送系统1，具备第1载置口 98和第2载置口 301，该第1载置口 98和第2载置口 301分别具有从上方载置下表面形成有定位孔11的容器F的上表面98a和上表面301b ； 使容器F降下至第1载置口 98和第2载置口 301的输送台车200 ；和设置于第2载置口 301的上表面301b上的防滑部件311。在第1载置口 98的上表面98a上设置有与定位孔 11对应的定位突起12，在第2载置口 301的上表面301b上没有设置定位突起12。防滑部件311具有上表面311a，该上表面311a与容器F的下表面之间产生的静摩擦力大于第2载置口 301的上表面301b与容器F的下表面之间产生的静摩擦力。输送台车200在使容器 F降下至第1载置口 98上时，使定位孔11与定位突起12相互对位，在使容器F降下至第2 载置口 301上时，将容器F载置于防滑部件311上。根据该输送系统1，在第1载置口 98中在定位突起12与容器F的定位孔11之间进行了对位，但在第2载置口 301中没有设置定位突起，容器F被载置于防滑部件311上。 因此，在输送台车200中能够非常容易地设定用于使容器F载置于第2载置口 301上的对位，设置输送系统1整体所需要的操作变得容易。另外，容器F的下表面包括第3下表面23和配置于第3下表面23上方的第1下表面21及第2下表面22，防滑部件311具有这样的厚度在容器F载置于第2载置口 301 上时，防滑部件311的上表面311a抵接于第1下表面21及第2下表面22，并且，第3下表面23离开第2载置口 301的上表面301b。由此，即使在容器F的下表面具有阶差的情况下，由于调整防滑部件311的厚度以使第3下表面23离开上表面301b，因此也能够避免第3下表面23直接抵接于上表面301b 而向物品施加冲击或负荷。2.第2实施方式以下，关于本发明的第2实施方式进行说明。第2实施方式与上述的第1实施方式在多数结构上相同。可是，第2实施方式与第1实施方式不同，如图6A或图6B所示，假定在输送台车200悬挂容器F时容器F的下表面从水平面倾斜的情况。这样容器F倾斜地悬挂例如是以下(a) (c)的情况。(a)容器F的重心位置从基于把持机构215的把持位置沿水平方向偏离(图6A)。(b)水平位置调整机构213的臂213a及21 沿水平方向滑动时，它们整体向下方弯曲(图6B)，因此升降机构220倾斜，通过升降机构220悬挂的把持机构215也倾斜。(c)也有容器F自身变形而下表面倾斜的情况。例如，在某个实施例中，在容器F处于图6B的状况时，容器F的下表面的倾斜角度与水平面成0. 5度 0. 7度。另外，在本说明书中，所谓面彼此的角度，相当于在面的法线彼此之间形成的锐角的角度。在这种情况下也如第1实施方式那样，若第2载置口 301水平地设置，则在由把持机构215把持容器F时，倾斜的把持机构215的臂21 碰撞容器F的顶部法兰34，有可能对容器F产生冲击或者产生很大的振动。另外，在使容器F离开第2载置口 301或者载置于第2载置口 301上时，由于容器F在倾斜的状态和水平的状态之间发生位移，因此防滑部件311与容器F的下表面相互摩擦，可能出现防滑部件311磨损而产生灰尘、或者耐久性渐渐地降低。因此，在第2实施方式中，与容器F的倾斜匹配地使第2载置口 301倾斜。具体而言，如图6A或图6B所示，以第2载置口 301的上表面301b与容器F的下表面平行的方式在第2载置口 301倾斜的状态下固定于保管装置300。例如，通过将第2载置口 301固定于底板322上的固定件312，使第2载置口 301的一侧从底板322离开，使第2载置口 301整体倾斜。如以上那样，通过使第2载置口 301倾斜，从而避免在把持机构215把持容器F时臂21 与顶部法兰34碰撞、或者在将容器F载置于第2载置口 301时容器F与防滑部件311相互摩擦等。另外，只要调整第2载置口 301的倾斜以使至少第2载置口 301的上表面 301b与容器F的下表面所成的角度小于在使第2载置口 301的上表面301b水平时第2载置口 301的上表面301b与容器F的下表面所成的角度，就能够抑制上述的问题。3.设定方法以下，关于上述的第1实施方式和第2实施方式，针对用于通过输送台车200使容器F恰当地向第1载置口 98和第2载置口 301载置的设定方法进行说明。图7是表示该设定方法的一系列的流程的流程图。另外，在第2实施方式的情况下，在输送系统整体的设计时，通过取得输送台车200悬挂的容器F的下表面从水平方向怎样倾斜，从而预先设定第 2载置口 301的倾斜。这里，由于只要容器F的形状或大小等确定就能够大体决定容器F的倾斜方向、倾斜角度的倾向，因此只要关于1个容器F来设定第2载置口 301的倾斜就大体足够。可是，也可以使容器F内的收纳物的数量、收纳状况、第2载置口 301的设置位置、第 2载置口 301与轨道100的位置关系等条件进行各种变化而取得容器F的倾斜，并考虑各条件下的倾斜角度而设定各第2载置口 301的倾斜。如图7所示，首先驱动作为基准的1台输送台车200 (以下称为输送台车A)，使容器F向第1载置口 98降下，实施示教处理(步骤Si)。示教处理是主要关于水平方向指示通过输送台车200使容器F降下的位置的处理。具体而言，如图8A所示，引导水平位置调整机构213，以使容器F向容器F的定位孔11被定位突起12嵌入的第1载置口 98上的位置载置。由此，通过输送台车200使容器F恰当地载置于第1载置口 98的规定位置的信息存储于未图示的控制装置。在该信息中包含用于通过水平位置调整机构213进行沿水平方向的微调整的Χ、Υ、Θ各方向的信息。该处理按照各第1载置口 98来驱动输送台车A而执行。即，反复进行与设置于输送系统1的第1载置口 98的数量相应的示教处理。由此，关于输送台车Α，取得所有与第1载置口 98相关的示教信息。接着，对于还没有结束示教处理的输送台车200(以下称为输送台车B)，对作为基准的1个第1载置口 98或专用设置的第1载置口 98执行示教处理(步骤S》。由此，关于成为基准的1个第1载置口 98，取得在输送台车A中取得的示教信息和在输送台车B中取得的示教信息之差。该差是在1个相同的第1载置口 98中、关于Χ、Υ、θ的各方向、在输送台车A与输送台车B的示教信息中产生的差。即，是基于输送台车200的个体差的差。因此，将向上述的Sl中取得的与输送台车A的各第1载置口 98相关的示教信息中加入通过上述Sl和S2取得的上述个体差信息而得到的示教信息，设定为输送台车B的各第1载置口 98相关的示教信息(步骤S； )。例如，当将输送台车B的各第1载置口 98相关的示教信息设为\、\、θ Α、将上述个体差信息设为ΔΧα、Δ ΥΑ、Δ θ Α时，以输送台车B的各第1载置口 98相关的示教信息)(BjB、θ Β分别满足以下关系的方式设定输送台车B的示教信息。另外，Δ)(β、ΔΑ、Δ θ 别为输送台车B的示教信息相对于输送台车A的示教信息的偏离。Xb = Xa+ Δ Xb, Yb = ΥΑ+ΔΥΒ, θ Β = θ Α+ Δ θ Β若关于1台输送台车B执行上述的处理，则判定是否还存在没有设定示教处理的输送台车200 (S4)。若判定为还存在没有设定示教处理的输送台车200 (S4，是)，则将该输送台车200作为下一台输送台车B而反复进行步骤S2和S3。若判定为已经不存在没有设定示教处理的输送台车200 (S4，否)，则移至步骤S5。
接着，执行对于第2载置口 301的示教处理(步骤S5、S6)。图8B作为一例表示邻接于轨道100设置的2个保管装置300b。各保管装置300b设置为与轨道100具有一定的位置关系，并以相对于轨道100上的位置Ql或位置Tl具有规定的位置关系的方式在某种程度上严格地定位设置。在步骤S5中，驱动1台的输送台车200，实施作为基准的任意一个第2载置口 301 相关的示教处理。即，通过输送台车200使容器F向作为基准的任意一个第2载置口 301 降下，使容器F载置于第2载置口 301上的标记301a上。作为成为基准的第2载置口 301 选择设置精度已经确认的第2载置口 301。例如，在图8B中以左侧的保管装置300b中设置于最左方的第2载置口 301作为基准。此时，首先在与成为基准的第2载置口 301邻接的轨道100上的位置Ql处配置1台输送台车200。然后，引导水平位置调整机构213，一边关于水平方向调整升降机构220的位置，一边使把持机构215降下而使容器F载置于第2载置口 301上。由此，将沿着从位置 Ql到第2载置口 301的位置的箭头Rl的、水平移动相关的示教信息，作为与X、Y及θ各方向相关的信息而取得。接着，将通过步骤S5的示教处理而取得的信息，复制为其它所有的输送台车200 中的向其它的第2载置口 301的示教信息(S6)。具体而言，首先将在步骤S5中取得的、水平移动Rl相关的示教信息，设定为从图8Β的位置Q2 Q4向第2载置口 301的、水平移动 R2 R4相关的示教信息。接着，将水平移动Rl相关的示教，设定为从图8Β的位置Tl Τ4向第2载置口 301的、水平移动Sl S4相关的示教信息。对于其它的所有的输送台车 200，也作为所有的第2载置口 301相关的示教信息而设定在步骤S5中取得的、水平移动Rl 相关的示教信息。这样，关于第2载置口 301，能够将关于1台输送台车200在1个第2载置口 301 中执行示教处理的结果，作为与其它输送台车200和/或其它第2载置口 301相关的示教处理的结果而使用。在保管装置300b等中不需要制造装置99那样的严格的定位，因此第2 载置口 301不使用定位突起，其原因是不要求将容器F载置于第1载置口 98上的处理那样的严格的对位。另外，在将保管装置300b等相同的保管装置相对于轨道100以相同的位置关系设置时，只要在某种程度上确保各保管装置的设置精度，就可以将1个第2载置口 301 相关的示教信息也复制在其它所有的第2载置口 301上。根据以上说明的第1实施方式和第2实施方式，对于不要求严格定位的第2载置口 301不必执行第1载置口 98那样的示教处理。例如，在第2载置口 301被设置1000处的某个实施例中，假定对于第2载置口 301也执行与第1载置口 98相同的严格的示教处理。 若设对于1处的第1载置口 98执行示教处理所需要的时间为10分钟，则每1台输送台车 200对于1000处的第2载置口 301执行示教处理所需要的合计的总时间为10000分钟，即约167小时。可是，根据上述的实施方式，由于在第2载置口 301上不使用定位突起，因此不用担心定位突起碰撞容器F的下表面等。因而，即使容器F的位置稍微偏离规定的载置位置也没有问题。即，关于第2载置口 301，没有必要进行像第1载置口 98那样的严格的对位。 因此，只要对于1台输送台车200执行示教处理、将由此得到示教信息复制到其它输送台车 200即可。另外，关于1处的第2载置口 301，示教处理所需要的时间也比第1载置口 98大幅度地减少。由此，与在所有的载置口使用定位突起的情况相比，能够大幅度地缩短示教处理所需要的时间。4.其它实施方式以上，虽然关于本发明的一实施方式进行了说明，但本发明不限定于上述实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内能够进行各种改变。特别地，本说明书所记载的多个实施方式及变形例根据需要能够任意地组合。(A)例如，在上述的实施方式中形成于第2载置口 301的标记301a，可以关于所有的第2载置口 301而形成。其目的例如为下述的(a) (b)。(a)在输送系统1设置完成后，在第2载置口 301自身的位置错误地偏离的情况下，在返回原位置时一边确认容器F的载置位置一边修复。(b)在维护时等，为了操作者从第2载置口 301拿起容器F后、将容器F放回第2 载置口 301上的原来位置时而作标记。另外，可以仅将标记301a形成在某个需要的第2载置口 301上，也可以均不形成。 对于使用载置口 401时的贯穿孔401a也与上述同样。(B)另外，在上述的实施方式中，假定在顶棚附近设置保管装置300a 300c，但是也可以将用于保管容器F的临时放置台设置于地面上。此时也在临时放置台的上表面固定第2载置口 301。另外，也可以如第2实施方式那样，使第2载置口 301通过固定件312倾斜，以第2载置口 301的上表面与容器F的下表面平行的方式将第2载置口 301固定于临时放置台上。符号说明I"输送系统；3-顶棚；11-定位孔；12-定位突起；21-第1下表面(第2面)； 22-第2下表面(第2面)；23-第3下表面(第1面)；31-正面；32-侧面；33-侧面；34-顶部法兰；98-第1载置口 ；98a-上表面(载置面)；99-制造装置；100-轨道；101-2次侧永久磁铁；110-固定部件；200-输送台车(输送装置)；201-主体罩；210-行驶机构；211-行驶车轮；212-支架；213-水平位置调整机构；213a-臂；213b_臂；214-悬挂带；215-把持机构；215a-臂；220-升降机构；230-升降控制部；300-保管装置；300a-保管装置；300b_保管装置；300c-保管装置；301-第2载置口 ；301a-标记；301b_上表面(载置面)；302-落下防止部件；302a-平板部件；302b-平面部件；302c_平面部件；302d_平面部件；311-防滑部件；312-固定件；321-支柱；322-底板；401-载置口 ；401a_贯穿孔；401b_上表面(载置面)；411-防滑部件；411a-上表面；F-容器。
权利要求
1.一种输送系统，其特征在于，具备第1载置口和第2载置口，分别具有从上方载置下表面形成有定位孔的物品的载置面；输送装置，使上述物品降下至上述第1载置口和上述第2载置口 ；以及防滑部件，设置于上述第2载置口的上述载置面，在上述第1载置口的上述载置面上，设置有与上述定位孔对应的定位突起， 在上述第2载置口的上述载置面上，没有设置上述定位突起，上述防滑部件具有这样的上表面上述防滑部件的上述上表面与上述物品的下表面之间产生的静摩擦力大于上述第2载置口的上述载置面与上述物品的下表面之间产生的静摩擦力，上述输送装置，在使上述物品降下至上述第1载置口时，使上述定位孔与上述定位突起相互对位，在使上述物品降下至上述第2载置口时，在上述防滑部件上载置上述物品。
2.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，上述输送装置，在即将在上述第2载置口上载置上述物品之前，使该物品的下表面相对于水平方向倾斜，上述第2载置口的上述载置面相对于水平方向倾斜，以使上述第2载置口的上述载置面与即将在上述第2载置口上载置上述物品之前的该物品的下表面之间的角度小于该下表面与水平方向之间的角度。
3.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，上述物品的下表面包括第1面和配置于上述第1面上方的第2面， 上述防滑部件的厚度使得在上述物品载置于上述第2载置口时，上述防滑部件的上表面抵接于上述第2面，并且上述第1面与上述第2载置口的上述载置面分离。
4.如权利要求2所述的输送系统，其特征在于，上述物品的下表面包括第1面和配置于上述第1面上方的第2面， 上述防滑部件的厚度使得在上述物品载置于上述第2载置口时，上述防滑部件的上表面抵接于上述第2面，并且上述第1面与上述第2载置口的上述载置面分离。
5.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于， 上述输送装置具有把持部，把持上述物品；以及移动部，在悬挂上述把持部的同时使上述把持部沿铅垂方向移动。
6.如权利要求5所述的输送系统，其特征在于，上述移动部具有在悬挂上述把持部的同时沿水平方向移动的移动臂。
7.如权利要求2所述的输送系统，其特征在于， 上述输送装置具有把持部，把持上述物品；以及移动部，在悬挂上述把持部的同时使上述把持部沿铅垂方向移动。
8.如权利要求7所述的输送系统，其特征在于，上述移动部具有在悬挂上述把持部的同时沿水平方向移动的移动臂。
9.如权利要求3所述的输送系统，其特征在于，上述输送装置具有 把持部，把持上述物品；以及移动部，在悬挂上述把持部的同时使上述把持部沿铅垂方向移动。
10.如权利要求9所述的输送系统，其特征在于，上述移动部具有在悬挂上述把持部的同时沿水平方向移动的移动臂。
11.如权利要求4所述的输送系统，其特征在于， 上述输送装置具有把持部，把持上述物品；以及移动部，在悬挂上述把持部的同时使上述把持部沿铅垂方向移动。
12.如权利要求11所述的输送系统，其特征在于，上述移动部具有在悬挂上述把持部的同时沿水平方向移动的移动臂。
13.如权利要求1所述的输送系统，其特征在于，还具备 对上述物品实施加工处理的处理装置；以及保管上述物品的保管装置，上述第1载置口为设置于上述处理装置的口，上述第2载置口为设置于上述保管装置的口。
14.如权利要求2所述的输送系统，其特征在于，还具备 对上述物品实施加工处理的处理装置；以及保管上述物品的保管装置，上述第1载置口为设置于上述处理装置的口，上述第2载置口为设置于上述保管装置的口。
15.如权利要求3所述的输送系统，其特征在于，还具备 对上述物品实施加工处理的处理装置；以及保管上述物品的保管装置，上述第1载置口为设置于上述处理装置的口，上述第2载置口为设置于上述保管装置的口。
16.一种输送系统，其特征在于，具备 处理装置；保管装置，保管下表面形成有定位孔的物品；第1载置口，具有从上方载置上述物品的载置面且设置于上述处理装置； 第2载置口，具有从上方载置上述物品的载置面且设置于上述保管装置； 轨道，架设于上述第1载置口的上方；输送台车，在悬挂上述物品的同时沿上述轨道行驶，并且在悬挂上述物品的同时使上述物品降下至上述第1载置口和第2载置口 ；以及防滑部件，设置于上述第2载置口的上述载置面，在上述第1载置口的上述载置面上，设置有与上述定位孔对应的定位突起， 在上述第2载置口的上述载置面上，没有设置上述定位突起，上述防滑部件具有这样的上表面上述防滑部件的上述上表面与上述物品的下表面之间产生的静摩擦力大于上述第2载置口的上述载置面与上述物品的下表面之间产生的静摩擦力，上述输送台车，在使上述物品降下至上述第1载置口时，使上述定位孔与上述定位突起关于水平方向相互对位，在使上述物品降下至上述第2载置口时，在上述防滑部件上载置上述物品。
17.如权利要求16所述的输送系统，其特征在于，上述输送装置，在即将在上述第2载置口上载置上述物品之前，使该物品的下表面相对于水平方向倾斜，上述第2载置口的上述载置面相对于水平方向倾斜，以使上述第2载置口的上述载置面与即将在上述第2载置口上载置上述物品之前的该物品的下表面之间的角度小于该下表面与水平方向之间的角度。
18.如权利要求16所述的输送系统，其特征在于，上述物品的下表面包括第1面和配置于上述第1面上方的第2面， 上述防滑部件的厚度使得在上述物品载置于上述第2载置口时，上述防滑部件的上表面抵接于上述第2面，并且上述第1面与上述第2载置口的上述载置面分离。
19.如权利要求17所述的输送系统，其特征在于，上述物品的下表面包括第1面和配置于上述第1面上方的第2面， 上述防滑部件的厚度使得在上述物品载置于上述第2载置口时，上述防滑部件的上表面抵接于上述第2面，并且上述第1面与上述第2载置口的上述载置面分离。
20.一种输送系统的设定方法，是权利要求1 19中任意一项所述的输送系统的设定方法，上述输送系统分别设置多个上述第1载置口和第2载置口，其特征在于，具备如下的工序在上述第1载置口的各个第1载置口上调整水平方向的位置的同时使上述物品降下的工序；在1个上述第2载置口上调整水平方向的位置的同时使上述物品降下的工序；以及根据向上述第2载置口使上述物品降下的结果，取得用于控制上述物品相对于多个上述第2载置口的各个第2载置口的对位的信息的工序。
全文摘要
在容器(F)的下表面形成有定位孔(11)。在制造装置(99)上的第1载置口(98)上形成有与容器(F)侧的定位孔(11)对应的定位突起(12)。在从输送台车(200)将容器(F)载置于第1载置口(98)上时，通过使第1载置口(98)的定位突起(12)嵌入定位孔(11)，从而规定容器(F)的载置位置。在保管装置(300)上设置有与制造装置(99)的第1载置口(98)不同的第2载置口(301)。在第2载置口上没有设置定位突起，在上表面(301b)上设置有防滑部件(311)。
文档编号H01L21/677GK102470982SQ20108003286
公开日2012年5月23日 申请日期2010年7月23日 优先权日2009年7月29日
发明者久米桥达也, 村田正直 申请人:村田自动化机械有限公司