专利名称：具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于制造半导体元件的具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统。
背景技术：
众所周知，有机发光兀件(OLED:organic electro luminescent device)由平板显示元件中的一个在晶片上的阳电极层与阴电极层之间具备有机发光层，具有厚度很薄的矩阵形状。
这种有机发光元件上所形成的有机薄膜层容易与水分(H2O)及氧(O2)反应，对元件的寿命及特性产生诸多影响，因此在形成有有机发光元件的基板上通过密封盖或密封用薄膜等密封单元密封有机发光元件，从而使基板上所形成的有机发光元件的有机薄膜层与外部的水分及氧隔离而进行保护。但是，在密封有机发光元件的工序中也会从外部导入氧及水分，因此上述密封工序是在手套箱(glove box)内进行的，稳定地维持手套箱内氛围对有机发光元件的性能及产量会带来很大影响。如上所述在像有机发光元件这样的半导体元件的制造过程中所使用的手套箱包括手套箱主体、调节机构、真空泵等，手套箱主体由操作者放入手进行操作的手套及正面窗等构成，调节机构包括惰性气体及真空调节装置。上述手套箱为了执行一个工序而向腔室内部传送对象物(例如有机发光元件等)，通过预定的气体、压力、温度等进行设定及调节，根据需要利用手套箱通过操作者的手操作对象物。之后，若结束工序，则为了执行下一个工序而从该工序腔室向下一个工序腔室传送对象物来执行下一个工序。上述手套箱的内部可能存在污染对象物的灰尘(或粉尘)等，这会成为引起对象物的污染及相应工序产生严重错误的主要因素，由于灰尘等产生的静电存在产生更严重的错误的问题。
发明内容
本发明所要解决的课题本发明的目的在于提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，能够通过手套箱所具备的过滤机构使内部空气循环而过滤灰尘，具备静电防止机构，能够防止产生静电。本发明的目的还在于提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，延伸连接多个具备空气循环机构及静电防止机构的手套箱，能够从当前工序腔室向下一个工序腔室清洁地传送对象物。本发明的实施例的目的不限定于上述的目的，本领域技术人员能够根据以下记载明确理解上面未提及的其他目的。用于解决课题的手段
根据本发明的一个方面，提供一种具备洁净室功能的手套箱，去除氧及水分来提供清洁的工序环境，包括过滤机构110，设置于在上述手套箱所具备的工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使上述工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构120，设置于上述上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构130，为了进行工序作业而设置于上述工序腔室B。根据本发明的另一个方面，提供一种利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，从第I工序腔室向第2工序腔室传送对象物，包括第I手套箱100a，延伸连接有多个包括过滤机构110、静电去除机构120及腔室机构130的手套箱，上述过滤机构110设置于在工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使上述工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘，上述静电去除机构120设置于上述上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电，上述腔室机构130为了进行工序作业而设置于上述工序腔室B，上述第I手套箱IOOa与第I工序腔室连接，传送从该第I工序腔室排出的上述对象物；第3手套箱100c，具有与上述第I手套箱IOOa相同的结构，与上述第2工序腔室连接，向上述第2工序腔室送入所传送的上述对象物；第I升降部200a，使从上述第I手套箱IOOa传送的上述对 象物上升或下降，沿同一方向传送上述对象物，或使上述对象物旋转后进行传送；第2升降部200b，具有与上述第I升降部200a相同的功能，向上述第3手套箱IOOc传送上述对象物；以及第2手套箱100b，具有与上述第I手套箱IOOa相同的结构，连接上述第I升降部200a和上述第2升降部200b而传送上述对象物。发明效果在本发明中，使手套箱的工序腔室内部空气循环，在排出箱中对灰尘进行一次去除，在送风箱中对灰尘进行二次去除，通过静电防止机构去除从灰尘产生的静电，从而实现洁净室功能，能够提供清洁的工序环境。此外，在利用了具备洁净室功能的手套箱的系统中，延伸连接多个具有灰尘过滤功能和静电去除功能的手套箱，通过升降部的上下移动及旋转移动传送对象物，从而能够维持清洁的工序环境而从第I工序腔室向第2工序腔室传送对象物。
图I是本发明的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的上部立体图。图2是本发明的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的下部立体图。图3是本发明的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的剖视图。图4是例示本发明的一个实施例的手套箱的工序腔室所具备的底板的图。图5是本发明的另一个实施例的传送系统的升降部的上部立体图。图6是本发明的另一个实施例的传送系统的升降部的下部立体图。图7是例示本发明的另一个实施例的传送系统的图。标号说明100手套箱110过滤机构120静电去除机构130腔室机构200a第I升降部200b第2升降部
具体实施例方式本发明的实施例的优点、特点及实现上述实施例的方法可参照根据附图详细说明的后述实施例得以明确。但本发明不限定于以下说明的实施例，可通过彼此不同的各种方式来实现，以下实施例仅用于完整地公开本发明，并使本领域技术人员明确发明的范围，本发明是由权利要求书来确定的。在说明书中同一参照标号表不同一结构要素。在说明本发明的实施例时，认为对公知功能或结构的详细说明会混淆本发明的要旨的情况下，省略其详细说明。此外，后述的用语是在考虑了本发明的实施例中的功能而定义的用语，其可根据用户、操作者的意图或习惯而有所不同。因此，应根据本说明书整体的内容来下定义。以下，参照附图详细说明本发明的实施例。图I是本发明的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的上部立体图，图2是本发明的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的下部立体图，图3是本发明的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱的剖视图，图4是例示本发明的一个实施例的手套箱的工序腔室所具备的底板的图。现有的手套箱具备用于操作者用手操作的手套，还包括用于去除水分及氧的空气调节器等，但在说明本发明的实施例的手套箱时，不说明上述手套、水分及氧去除装置等，仅说明本发明的特征。当然，也可以不设置手套，即使在没有设置手套的情况下，也通常将在清洁的状态下能够执行工序作业的装置称为手套箱，因此以下命名为手套箱来进行说明。参照图I至图4，本发明的一个实施例的具备洁净室功能的手套箱包括过滤机构110、静电去除机构120及腔室机构130等。过滤机构110设置于手套箱所具备的工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造 物A及下部构造物C，能够使工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘。在此，过滤机构110可以包括送风箱111、循环配管112及排出箱113等。送风箱111在上部构造物A上成对地设置有多个送风器11 Ia和多个过滤器111b，能够从通过排出箱113 —次去除颗粒相对大的灰尘后所循环的内部空气中过滤颗粒相对小的灰尘之后送入工序腔室B。在此，过滤器Illb能够使用例如HEAP过滤器等，这种过滤器Illb设置于送风器Illa的下部而设置于与工序腔室B连接的送入口。循环配管112设置于工序腔室B的外部，连接设置有送风箱111的上部构造物A和排气箱113，能够使内部空气循环。在此，循环配管112可以与送风箱111直接连接，或者在包括送风箱111的上述上部构造物A具有密闭的空间时，可以与上部构造物A连接。多个排气箱113与上述工序腔室B相邻地设置于下部构造物C，能够排出上述内部空气。在此，排气箱113可以在内表面上具备吸附灰尘的吸附单元。这种吸附单元例如可以包括吸附布等，能够吸附颗粒大的灰尘而对灰尘进行一次去除。静电去除机构120设置于上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电，在静电去除机构112产生(-)电而能够去除从灰尘产生的(+ )电。以往开发并公开了多种这样的静电去除机构120，因此省略其具体说明。
腔室机构130是为了进行工序作业而设置于工序腔室B的，可以具备底板131，该底板131与排气箱113对应地具备多个排出部131a，通过排出部131a排出内部空气。此外，腔室机构130可以具备传送辊132，该传送辊132能够支撑并传送放置用于进行工序作业的对象物的工序板133。从而，在本发明的一个实施例的手套箱中，使手套箱的工序腔室内部空气循环，在排出箱中对灰尘进行一次去除，在送风箱中对灰尘进行二次去除，通过静电防止机构去除从灰尘产生的静电，从而实现洁净室功能，提供清洁的工序环境。接着，将具有上述结构的手套箱适用于工序腔室之间的对象物传送，说明实现了洁净室功能的利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统。图5是本发明的另一个实施例的传送系统的升降部的上部立体图。图6是本发明的另一个实施例的传送系统的升降部的下部立体图。 图7是例示本发明的另一个实施例的传送系统的图。参照图5至图7，本发明的另一个实施例的传送系统是从第I工序腔室向第2工序腔室传送对象物的系统，包括第I手套箱100a、第2手套箱IOOb、第3手套箱100c、第I升降部200a及第2升降部200b等。第I手套箱IOOa延伸连接有多个包括过滤机构110、静电去除机构120及腔室机构130的手套箱，上述过滤机构110设置于工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘，上述静电去除机构120设置于上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电，上述腔室机构130是为了进行工序作业而设置于工序腔室B的，第I手套箱IOOa与第I工序腔室连接，能够向第I升降部200a传送从第I工序腔室排出的对象物。第2手套箱IOOb具有与第I手套箱IOOa相同的结构，连接第I升降部200a和第2升降部200b，能够向第2升降部200b传送从第I升降部200a送入的对象物。第3手套箱IOOc具有与第I手套箱IOOa相同的结构，与第2工序腔室连接，向第2工序腔室送入从第2升降部200b送入的对象物。第I升降部200a能够使从第I手套箱IOOa传送的对象物上升或下降，沿同一方向朝向第2手套箱IOOb传送对象物，或使对象物旋转后向第2手套箱IOOb传送。第2升降部200b具有与第I升降部200a相同的功能，能够向第3手套箱IOOc传送从第2手套箱IOOb传送来的对象物。如图所示，图5至图7表示第I升降部200a将对象物向直角方向旋转后传送的情况，第2升降部200b向同一方向传送对象物，但并不限于此，当然第I升降部200a可以向同一方向传送对象物或将对象物向其他角度旋转后传送，第2升降部200b能够将对象物向其他角度旋转后传送。在此，第I升降部200a及第2升降部200b可以包括支撑杆202、支架204、上下驱动电机206、螺杆208、转盘支架210、转盘212、第2传送辊214及旋转驱动电机216等。支撑杆202固定设置于第I升降部200a及第2升降部200b各自的内部空间的一个侧面，在两侧设置两个支撑杆202而能够稳定地支撑其他构成部。支架204能够在两个支撑杆202之间沿横向固定设置。上下驱动电机206固定于支架204，能够向螺杆208传递驱动力。
转盘支架210与螺杆208结合，能够根据上下驱动电机的驱动沿上下方向移动转盘 212。旋转驱动电机216设置于转盘支架210的下部，能够提供使转盘212旋转的驱动力，并提供辊驱动力。第2传送辊214设置于转盘的上部，能够通过从上述旋转驱动电机216提供的辊驱动力旋转来传送对象物。另一方面，如上所述的第I手套箱100a、第2手套箱IOOb及第3手套箱IOOc具有与参照图I至图4说明的手套箱100的结构相同的结构，因此省略其具体说明。从而，在利用了本发明的实施例的具备洁净室功能的手套箱的系统中，延伸连接多个具有灰尘过滤功能和静电去除功能的手套箱而传送对象物，通过升降部的上下移动和 旋转移动传送对象物，从而能够维持清洁的工序环境而从第I工序腔室向第2工序腔室传送对象物。在以上说明中提示说明了本发明的各种实施例，但本发明不限定于此，本领域技术人员能够理解在不脱离本发明的技术思想的范围内可进行各种置换、变形及变更。用于实施发明的方式根据本发明的一个方面，提供一种具备洁净室功能的手套箱，去除氧及水分来提供清洁的工序环境，包括过滤机构110，设置于在上述手套箱所具备的工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使上述工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构120，设置于上述上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构130，为了进行工序作业而设置于上述工序腔室B。根据本发明的另一个方面，提供一种利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，从第I工序腔室向第2工序腔室传送对象物，包括第I手套箱100a，延伸连接有多个包括过滤机构110、静电去除机构120及腔室机构130的手套箱，上述过滤机构110设置于在工序腔室B的上部及下部所设置的上部构造物A及下部构造物C，使上述工序腔室B的内部空气向外部循环而过滤灰尘，上述静电去除机构120设置于上述上部构造物A，去除由于灰尘产生的静电，上述腔室机构130为了进行工序作业而设置于上述工序腔室B，上述第I手套箱IOOa与第I工序腔室连接，传送从该第I工序腔室排出的上述对象物；第3手套箱100c，具有与上述第I手套箱IOOa相同的结构，与上述第2工序腔室连接，向上述第2工序腔室送入所传送的上述对象物；第I升降部200a，使从上述第I手套箱IOOa传送的上述对象物上升或下降，沿同一方向传送上述对象物，或使上述对象物旋转后进行传送；第2升降部200b，具有与上述第I升降部200a相同的功能，向上述第3手套箱IOOc传送上述对象物；以及第2手套箱100b，具有与上述第I手套箱IOOa相同的结构，连接上述第I升降部200a和上述第2升降部200b而传送上述对象物。工业上的可利用性在本发明中，使手套箱的工序腔室内部空气循环，在排出箱中对灰尘进行一次去除，在送风箱中对灰尘进行二次去除，通过静电防止机构去除从灰尘产生的静电，从而实现洁净室功能，能够提供清洁的工序环境。此外，在利用了具备洁净室功能的手套箱的系统中，延伸连接多个具有灰尘过滤功能和静电去除功能的手套箱，通过升降部的上下移动及旋转移动传送对象物，从而能够维持清洁的工序环境而从第I工序腔室向第2工序腔室 传送对象物。
权利要求
1.一种具备洁净室功能的手套箱，去除氧及水分来提供清洁的工序环境，包括 过滤机构(110)，设置于在上述手套箱所具备的工序腔室(B)的上部及下部所设置的上部构造物(A)及下部构造物(C)，使上述工序腔室(B)的内部空气向外部循环而过滤灰/I、土 ； 静电去除机构(120)，设置于上述上部构造物(A)，去除由于灰尘产生的静电；以及 腔室机构(130)，为了进行工序作业而设置于上述工序腔室(B)。
2.根据权利要求I所述的具备洁净室功能的手套箱，其中， 上述过滤机构(110)包括 送风箱(111)，在上述上部构造物(A)上成对地设置有多个送风器(Illa)和多个过滤器(111b)，从所循环的上述内部空气中过滤上述灰尘之后送入上述工序腔室(B)； 多个排气箱(113)，与上述工序腔室(B)相邻地设置于上述下部构造物(C)，能够排出上述内部空气；以及 循环配管(112)，设置于上述工序腔室(B)的外部，连接上述送风箱(111)和上述排气箱(113)，使上述内部空气循环。
3.根据权利要求2所述的具备洁净室功能的手套箱，其中， 上述循环配管(112)与上述送风箱(111)直接连接，或者在包括上述送风箱(111)的上述上部构造物(A)具有密闭的空间时，上述循环配管(112)与上述上部构造物(A)连接。
4.根据权利要求3所述的具备洁净室功能的手套箱，其中， 上述排气箱(113)在内表面上具备吸附上述灰尘的吸附单元。
5.根据权利要求4所述的具备洁净室功能的手套箱，其中， 上述腔室机构(130)具备底板(131 )，该底板(131)与上述排气箱(113)对应地具备多个排出部(131a)，通过上述排出部(131a)排出上述内部空气。
6.一种利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，从第I工序腔室向第2工序腔室传送对象物，包括 第I手套箱(100a),延伸连接有多个包括过滤机构(110)、静电去除机构(120)及腔室机构(130)的手套箱，上述过滤机构(110)设置于在工序腔室(B)的上部及下部所设置的上部构造物(A)及下部构造物(C)，使上述工序腔室(B)的内部空气向外部循环而过滤灰尘，上述静电去除机构(120)设置于上述上部构造物(A)，去除由于灰尘产生的静电，上述腔室机构(130)为了进行工序作业而设置于上述工序腔室(B)，上述第I手套箱(100a)与第I工序腔室连接，传送从该第I工序腔室排出的上述对象物； 第3手套箱(100c)，具有与上述第I手套箱(IOOa)相同的结构，与上述第2工序腔室连接，向上述第2工序腔室送入所传送的上述对象物； 第I升降部(200a)，使从上述第I手套箱(IOOa)传送的上述对象物上升或下降，沿同一方向传送上述对象物，或使上述对象物旋转后进行传送； 第2升降部(200b)，具有与上述第I升降部(200a)相同的功能，向上述第3手套箱(IOOc)传送上述对象物；以及 第2手套箱(100b)，具有与上述第I手套箱(IOOa)相同的结构，连接上述第I升降部(200a)和上述第2升降部(200b)而传送上述对象物。
7.根据权利要求6所述的利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，其中，上述第I升降部(200a)及第2升降部(200b)包括 两个支撑杆(202 )，固定设置于上述第I升降部(200a)及第2升降部(200b )各自的内部空间的一个侧面； 支架(204 )，在上述支撑杆(202 )之间沿横向固定设置； 上下驱动电机(206 )，固定于上述支架(204 )，向螺杆(208 )传递驱动力； 转盘支架(210)，与上述螺杆(208)结合，根据上述上下驱动电机的驱动沿上下方向移动转盘(212)； 旋转驱动电机(216)，设置于上述转盘支架(210)的下部，提供使上述转盘(212)旋转的驱动力，并提供辊驱动力；以及 第2传送辊(214)，设置于上述转盘的上部，通过上述辊驱动力而旋转来传送上述对象物。
8.根据权利要求6或7所述的利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，其中， 上述过滤机构(110)包括 送风箱(111)，在上述上部构造物(A)上成对地设置有多个送风器(Illa)和多个过滤器(111b)，从所循环的所述内部空气中过滤上述灰尘之后送入上述工序腔室(B)； 多个排气箱(113)，与上述工序腔室(B)相邻地设置于上述下部构造物(C)，排出上述内部空气；以及 循环配管(112)，设置于上述工序腔室(B)的外部，连接上述送风箱(111)和上述排气箱(113)，使上述内部空气循环。
9.根据权利要求8所述的利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，其中， 上述循环配管(112)与上述送风箱(111)直接连接，或者在包括上述送风箱(111)的上述上部构造物(A)具有密闭的空间时，上述循环配管(112)与上述上部构造物(A)连接。
10.根据权利要求9所述的利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，其中， 上述排气箱(113)在内表面上具备吸附上述灰尘的吸附单元。
11.根据权利要求10所述的利用了具备洁净室功能的手套箱的传送系统，其中， 上述腔室机构(130)具备底板(131 )，该底板(131)与上述排气箱(113)对应地具备多个排出部(131a)，通过上述排出部(131a)排出上述内部空气。
全文摘要
本发明涉及一种去除氧及水分来提供清洁的工序环境的手套箱及利用该手套箱的传送系统，能够提供一种具备洁净室功能的手套箱及利用该手套箱的传送系统，上述手套箱包括过滤机构(110)，设置于在手套箱所具备的工序腔室(B)的上部及下部所设置的上部构造物(A)及下部构造物(C)，使工序腔室(B)的内部空气向外部循环而过滤灰尘；静电去除机构(120)，设置于上部构造物(A)，去除由于灰尘产生的静电；以及腔室机构(130)，为了进行工序作业而设置于工序腔室(B)。
文档编号H01L21/00GK102859644SQ201080053769
公开日2013年1月2日 申请日期2011年10月2日 优先权日2011年4月22日
发明者金哲永 申请人:莫泰克有限公司